MEMS・NEMSの最新動向 : マイクロマシンの基礎と応用 | 東京工業大学附属図書館蔵書検索

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MEMS・NEMSの最新動向 : マイクロマシンの基礎と応用 / 東レリサーチセンター調査研究部門

Format:: Book
Published:: 東京 : 東レリサーチセンター, 2004.5
Description:: 8, 4, 383p ; 30cm
Series:: TRC R&D library <BN03390472>
Authors:: 東レリサーチセンター調査研究部門 <DA09273716>
NCID:: BA70523925

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Reading of Title:	MEMS NEMS ノサイシンドウコウ : マイクロマシンノキソトオウヨウ
Reading of Author:	トウレリサーチセンターチョウサケンキュウブモン
Subject:	マイクロマシン
Language:	Japanese

Tokyo Tech Book Review

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