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MEMS・NEMSの最新動向 : マイクロマシンの基礎と応用 / 東レリサーチセンター調査研究部門

資料種別:
図書
出版情報:
東京 : 東レリサーチセンター, 2004.5
形態:
8, 4, 383p ; 30cm
シリーズ名:
TRC R&D library <BN03390472>
著者名:
東レリサーチセンター調査研究部門 <DA09273716>  
書誌ID:
BA70523925
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