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MEMS・NEMSの最新動向 : マイクロマシンの基礎と応用 / 東レリサーチセンター調査研究部門
- 資料種別:
- 図書
- 出版情報:
- 東京 : 東レリサーチセンター, 2004.5
- 形態:
- 8, 4, 383p ; 30cm
- シリーズ名:
- TRC R&D library <BN03390472>
- 著者名:
- 書誌ID:
- BA70523925
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