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スパッタ法によるペロブスカイト型強誘電体膜の形成技術に関する研究 / 深海龍夫

資料種別:
学位論文
出版情報:
東京工業大学, 1985
著者名:
深海, 龍夫  
書誌ID:
1000269363
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