多層積層構造超LSI形成時の残留応力解析と超音波を用いた信頼性評価技術の開発 | 東京科学大学図書館　蔵書検索（大岡山図書館、すずかけ台図書館）

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多層積層構造超LSI形成時の残留応力解析と超音波を用いた信頼性評価技術の開発 / 小林英男

資料種別:: 図書
出版情報:: 東京工業大学, 1993
著者名:: 小林, 英男
書誌ID:: 1000272700

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書誌詳細

注記:	平成 4年度科研試験研究(B) 課題番号:0255022
タイトルのヨミ:	タソウセキソウコウゾウチョウ LSI ケイセイジノザンリュウオウリョクカイセキトチョウオンパオモチイタシンライセイヒョウカギジュツノカイハツ 0255022
著者名ヨミ:	コバヤシヒデオ

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