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Structural properties of Al-N-M(M:Co,Fe) composite thin films prepared by two-facubg-target type sputtering system / Anup Ghosh Roy

資料種別:
学位論文
出版情報:
東京 : 東京工業大学, 2000
著者名:
Roy, Anup Ghosh  
書誌ID:
1000353004
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