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デュアルイオンビームスパッタ法による鉄薄膜の作製とその特性の堆積エネルギー依存性に関する研究 / 岩坪聡

資料種別:
学位論文
出版情報:
東京 : 東京工業大学, 2000
著者名:
岩坪, 聡  
書誌ID:
1000355840
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