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Maskentechnik für Mikroelektronik-Bausteine : Tagung München, 9. Nov. 1989 / VDI/VDE-Gesellschaft Feinwerktechnik

資料種別:
図書
出版情報:
Düsseldorf : VDI Verlag, 1989
形態:
217 p. ; 23 cm
シリーズ名:
VDI-Berichte ; 795 <BA07558548>
著者名:
VDI/VDE-Gesellschaft Feinwerktechnik <DA03771335>  
ISBN:
9783180907956 [3180907959]
書誌ID:
BA07800814
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