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Maskentechnik für Mikroelektronik-, Mikrotechnik-Bauteile : Tagung München, 19. und 20. Oktober 1994 / VDI/VDE-Gesellschaft Mikro- und Feinwerktechnik

資料種別:
図書
出版情報:
Düsseldorf : VDI-Verlag, c1994
形態:
119 p. ; 21 cm
シリーズ名:
VDI-Berichte ; 1172 <BA07558548>
著者名:
VDI/VDE-Gesellschaft Mikro- und Feinwerktechnik <DA07199667>  
ISBN:
9783180911724 [3180911727]
書誌ID:
BA23893907
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