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Maskentechnik für Mikroelektronik-Bausteine : Tagung München, 13. November 1986 / VDI/VDE-Gesellschaft Feinwerktechnik

資料種別:
図書
出版情報:
Düsseldorf : VDI Verlag, c1986
形態:
168 p. ; 23 cm
シリーズ名:
VDI-Berichte ; 621 <BA07558548>
著者名:
VDI/VDE-Gesellschaft Feinwerktechnik  
ISBN:
9783180906218 [3180906219]
書誌ID:
BA45885695
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