Maskentechnik für Mikroelektronik-Bausteine : Tagung München, 13. November 1986 | 東京工業大学附属図書館蔵書検索

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Maskentechnik für Mikroelektronik-Bausteine : Tagung München, 13. November 1986 / VDI/VDE-Gesellschaft Feinwerktechnik

資料種別:: 図書
出版情報:: Düsseldorf : VDI Verlag, c1986
形態:: 168 p. ; 23 cm
シリーズ名:: VDI-Berichte ; 621 <BA07558548>
著者名:: VDI/VDE-Gesellschaft Feinwerktechnik
ISBN:: 9783180906218 [3180906219]
書誌ID:: BA45885695

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注記:	Includes bibliographies
主題:	Integrated circuits--Masks--Congresses
言語:	ドイツ語

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