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16th European Conference on Mask Technology for Integrated Circuits and Microcomponents : 15-16 November 1999, Munich, Germany / Uwe F.W. Behringer, chair/editor ; organized by VDE/VDI-Society Microelectronics, Micro- and Precision Engineering (GMM) (Germany) ; cooperating organization, Institute for Microstructure Technology/Forschungszentrum Karlsruhe GmbH (Germany)

資料種別:
図書
出版情報:
Bellingham, Wash. : SPIE, c2000
形態:
xii, 252 p. ; 28 cm
シリーズ名:
Proceedings / SPIE -- the International Society for Optical Engineering ; v. 3996 <BA0022700X>
著者名:
ISBN:
9780819436146 [0819436143]
書誌ID:
BA60711099
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