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イオン工学ハンドブック : ナノテクノロジーへの道を拓く : 薄膜合成・加工・イオン注入・表面改質・デバイス応用・マイクロマシン等 / 平尾孝編集委員長 ; 岩本信也 [ほか] 編集委員

資料種別:
図書
出版情報:
枚方 : イオン工学研究所, 2003.5
形態:
xviii, 1126p ; 27cm
著者名:
平尾, 孝 <DA0549966X>
岩本, 信也 <DA04797119>
尾浦, 憲治郎(1941-) <DA14067214>
鯉沼, 秀臣 <DA07721055>
笹部, 馨
松波, 弘之(1939-) <DA01850066>
水野, 博之 <DA00719452>
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書誌ID:
BA63759670
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