| はじめに安永暢男i |
| 序章超精密加工が今なぜ求められるのか安永暢男・ 1 |
| 1現代社会における超精密加工技術の二一ズ 2 |
| 2加工技術高精度化の進展 4 |
| 3精密加工法の分類と特性比較 6 |
| 第1章切削加工帯川利之・ 13 |
| 1.1超精密切削とは 14 |
| 1.2切削理論および微小切削機構 16 |
| 1.2.1切りくずの生成形態 16 |
| 1.2.2せん断面モデル 18 |
| 1.2.3せん断面モデルの力学 19 |
| 1.2.4切削エネルギー 22 |
| 1.2.5切削状態の予測 23 |
| 1.2.6微小切削機構 25 |
| 1.3超精密切削加工 30 |
| 1.3.1超精密旋削 30 |
| 1.3.2微小工ンドミル切削 35 |
| 1.4切削温度と熱変形 38 |
| 1.4.12次元切削の温度解析 38 |
| 1.4.2ダイヤモンド切削における切削温度 40 |
| 1.4.3熱変形 42 |
| 1.5切削工具 43 |
| 1.5.1工具に必要な特性 43 |
| 1.5.2使用分類 47 |
| 1.5.3各種工具材料の特徴 48 |
| 第2章研削加工厨川常元・ 57 |
| 2.1研削加工の基礎 58 |
| 2.1.1加工原理と特徴 58 |
| 2.1.2研削砥石 58 |
| 2.1.3研削理論 59 |
| 2.1.4各種研削方式 64 |
| 2.2超砥粒ホイールのドレッシングとツルーイング 69 |
| 2.2.1ツルーイング、ドレッシングとは 69 |
| 2.2.2従来のツルーイング、ドレッシング 71 |
| 2.2.3カップツルア 73 |
| 2.3超精密鏡面研削 75 |
| 2.3.1超精密鏡面研削と研削条件 75 |
| 2.3.2極微粒ホイールのツルーイングと問題点 76 |
| 2.3.3極微粒ダイヤモンドホイール用GCツルア砥石の開発 81 |
| 2.3.4ツルーイング性能 82 |
| 2.3.5砥粒切れ刃密度と研削性能の関係 84 |
| 2.4高精度化を目指した新しい非球面研削法 89 |
| 2.4.1円弧包絡研削法とパラレル研削法 89 |
| 2.4.2超安定・超精密非球面研削法 91 |
| 第3章研磨加工渡邉純二・ 95 |
| 3.1研磨加工の意味と必要性 97 |
| 3.1.1製造技術のプロセスとしての意昧と位置付け 97 |
| 3.1.2精度の高い研磨加工がもたらす効果から見た研磨加工の意味 99 |
| 3.2研磨加工技術の発展の過程 101 |
| 3.3研磨加工の現状 106 |
| 3.3.1加工対象材料から見た研磨加工の分類 106 |
| 3.3,2研磨の加工原理から見た分類 108 |
| 3.3.3到達性能から見た分類 109 |
| 3.4実際の研磨加工技術と適用事例 110 |
| 3.4.1ラッピング 111 |
| 3.4.2ポリシング 117 |
| 3.4.3メカノケミカルポリシング(MCP) 119 |
| 3.4.4ケミカルメカニカルポリシング(CMP) 122 |
| 3.4.5EEM 127 |
| 3.4.6その他の研磨技術 131 |
| 第4章高工ネルギービーム加工渡部武弘・ 135 |
| 4.1機械加工と高エネルギービーム加工 136 |
| 4.1.1機械加工 136 |
| 4.1.2高エネルギービーム加工の種類と特徴 136 |
| 4.1.3高エネルギービーム加工の発展経緯 138 |
| 4.2放電加工 139 |
| 4.2.1加工原理 139 |
| 4.2.2パルス性放電発生方式 141 |
| 4.2.3加工特性 143 |
| 4.2.4加工への応用 143 |
| 4.3レーザ加工 151 |
| 4.3.1発振原理 152 |
| 4.3.2レーザ光の種類 156 |
| 4.3.3光伝送 160 |
| 4.3.4レーザ洗の特徴 161 |
| 4.3.5各種レーザ加工 162 |
| 4.3.6他の加工法との比較 163 |
| 4.3.7加工への応月 164 |
| 4.4電子ビーム加工 176 |
| 4.4.1加工原理 177 |
| 4.4,2加工の特徴 178 |
| 4.4.3加工の実際 180 |
| 4.4.4レーザ加工と電子ビーム加工の比較 183 |
| 4.5イオンビーム加工 185 |
| 4.5.1加工原理 185 |
| 4.5.2加工の特徴と加工装置 185 |
| 4.5.3加工への応用 186 |
| 4.6ウオータージェット加工 191 |
| 4.6.1加工原理 191 |
| 4,6.2加工の特徴 192 |
| 4.6.3加エシステムおよび機械装置 192 |
| 4.6.4応用加工例 193 |
| 4.7化学加工 195 |
| 4.7.1化学加工の種類と加工手順 196 |
| 4.7.2加工への応用 197 |
| 第5章マイクロ・ナノ加工森田昇・ 203 |
| 5.1各種マイクロ・ナノ加工法の特性 204 |
| 5.1.1機械加工 204 |
| 5.1.2フォトリソグラフィ 205 |
| 5.1.3エネルギービーム加工 206 |
| 5.1.4走査型プローブ顕微鏡による加工 206 |
| 5.2マイクロ・ナノ加工の先進技術 207 |
| 5.2.1マイクロ切削 207 |
| 5.2.2マイクロ穴あけ 210 |
| 5.2.3マイクロミリング 213 |
| 5.2.4マイクロ研削 215 |
| 5.3ナノテクノロジーヘの応用の可能性 217 |
| 5.3.1シリコンモールドによるダイヤモンドマイクロ工具の創成 217 |
| 5.3.2マイクロミリング工具への適用 219 |
| 5.3.3加工用カンチレバーへの適用 221 |
| 索引 225 |
| はじめに安永暢男i |
| 序章超精密加工が今なぜ求められるのか安永暢男・ 1 |
| 1現代社会における超精密加工技術の二一ズ 2 |
| 2加工技術高精度化の進展 4 |
| 3精密加工法の分類と特性比較 6 |
| 第1章切削加工帯川利之・ 13 |
