| 第1章 地球環境・エネルギー・情報化社会 |
| 1・1 地球環境問題 1 |
| 1・2 エネルギー問題と太陽電池技術 5 |
| 1・3 情報化社会とディスプレイ技術 10 |
| 1・4 透明導電膜素材資源 14 |
| 参考文献 16 |
| 第2章 透明導電膜は何に使われるか |
| 2・1 透明導電膜とは―ITO膜開発の歴史― 17 |
| 2・2 液晶ディスプレイ 22 |
| 2・3 プラズマディスプレイ 25 |
| 2・4 そのほかのディスプレイ 27 |
| 2・5 太陽電池用透明導電ガラス 29 |
| 2・6 機能性ガラス 33 |
| 2・7 導電性フィルム 41 |
| 2・8 透明導電膜を利用するそのほかの技術 42 |
| 参考文献 45 |
| 第3章 透明導電膜材料の基礎的な性質は何か |
| 3・1 透明導電性材料の基礎物性 49 |
| 3・2 欠陥と電子状態 60 |
| 3・3 電気的性質 67 |
| 3・4 光学的性質 72 |
| 参考文献 78 |
| 第4章 透明導電膜の新しい展開 |
| 4・1 透明酸化物半導体としての展開 81 |
| 4・2 デバイス応用 87 |
| 4・3 アモルファス透明酸化物半導体のフレキシブルデバイスへの応用 95 |
| 4・4 ナノ透明酸化物半導体 103 |
| 4・5 全く新規の物質の探索:12CaO.7Al₂O₃ 105 |
| 参考文献 108 |
| 第5章 透明導電膜の材料にはどんなものがあるか |
| 5・1 透明導電膜材料の特質 113 |
| 5・2 酸化インジウム(スズ添加酸化インジウム:ITO) 116 |
| 5・3 酸化スズ 153 |
| 5・4 酸化亜鉛 165 |
| 5・5 酸化チタン(Ti系ペロブスカイトを含む) 173 |
| 5・6 アモルファスIZO(酸化インジウム・亜鉛) 184 |
| 参考文献 193 |
| 第6章 透明導電膜をどのようにして作るか |
| 6・1 各種の作製方法 207 |
| 6・2 スパッタ法 210 |
| 6・3 ターゲット材料 235 |
| 6・4 真空蒸着法とイオンプレーティング法 243 |
| 6・5 パルスレーザ堆積法 250 |
| 6・6 化学的作製法 260 |
| 参考文献 265 |
| 第7章 透明導電膜をいかに微細加工するか |
| 7・1 フォトリソグラフィーによる電極加工方法 273 |
| 7・2 ウェットエッチングによる電極加工方法 275 |
| 7・3 ドライエッチングによる電極加工方法 287 |
| 参考文献 303 |
| 第8章 透明導電膜はどのように評価するか |
| 8・1 測定法の概要 307 |
| 8・2 力学的特性の測定法 309 |
| 8・3 光学的特性の測定法 316 |
| 8・4 電気的特性の測定法 318 |
| 8・5 国際標準 321 |
| 参考文献 323 |
| 付録 業務資料 325 |
| 索引 333 |
