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EMLC 2005 : 21st European Mask and Lithography Conference : 31 January-3 February, 2005, Dresden, Germany / Uwe F.W. Behringer, chair/editor ; organized by VDE/VDI--the Society for Microelectronics, Micro- and Precision Engineering (Germany) [and] Institute for Microstructure Technology/Forschungszentrum Karlsruhe (Germany) ; cooperating organizations, SEMI Europe ... [et al.] ; copublished by, SPIE--the International Society for Optical Engineering and VDE Verlag GmbH (Germany)

資料種別:
図書
出版情報:
Bellingham, Wash., : SPIE
Berlin, Germany : VDE Verlag GmbH, c2005
形態:
xxx, 302 p. ; 28 cm
シリーズ名:
Proceedings / SPIE -- the International Society for Optical Engineering ; v. 5835 <BA0022700X>
著者名:
European Conference on Mask Technology for Integrated Circuits and Microcomponents
Behringer, Uwe F. W.
VDE/VDI-Gesellschaft für Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik
Institut für Mikrostrukturtechnik
SEMI-Europe
Society of Photo-optical Instrumentation Engineers <DA00848546>
さらに 1 件
ISBN:
9780819458308 [0819458309]
書誌ID:
BA8605470X
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