1. 超精密マイクロ切削工とは 1 |
2. 超精切削加工のあらまし 5 |
2.1 回転工具と非回転工具 5 |
2.2 超精密切削加工機の要素 6 |
2.3 超精密切削加工機の自由度と加工可能形状 7 |
2.4 市販されている超精密切削加工機 10 |
3. 回転工具による加工 17 |
3.1 自由度1:マイクロ直線溝加工 17 |
3.1.1 様々なマイクロ溝 17 |
3.1.2 溝形状の加工 19 |
3.1.3 台形溝加工とマイクロ接合 22 |
3.2 自由度2:溝加工の応用 42 |
3.2.1 インプラントヘの複溝加工 42 |
3.2.2 フレネルレンズの加工 54 |
3.3 自由度3:複雑形状の加工 57 |
3.3.1 3次元CAD/CAMシステムとお面加工 57 |
3.3.2 マイクロ羽根車の加工 64 |
3.3.3 高アスペクト比形状の加工ら 69 |
3.4 自由度5:複雑立体形状の加工 83 |
3.4.1 仏像と弥勒菩薩の頭部加工 83 |
3.4.2 マイクロポンプの加工 97 |
3.4.3 ステッパ光学系のフライアイミラーの加工 105 |
4. 非阿聡r具による加工 117 |
4.1 自由度1:マイクロ溝と止り溝 117 |
4.1.1 マイクロ溝加工の基礎 117 |
4.1.2 複数本のマイクロV溝加工 126 |
4.1.3 マイクロ止り溝の加工 129 |
4.2 自由度2:マイクロパターンと形状創成 146 |
4.2.1 正面旋削 146 |
4.2.2 長手旋削 148 |
4.2.3 高速送りユニットによるパターン創成 148 |
4.3 自由度3:複雑マイクロ形状の加工 165 |
4.3.1 血液検査用マイクロ溝の形成 165 |
4.3.2 チゼル加工 177 |
4.3.3 多焦点フレネルレンズの創成 178 |
4.4 自由度6:自由曲線溝加工と止り溝 191 |
4.4.1 自由曲面上の自由曲線溝の加工 191 |
4.4.2 自由曲線の両端止り溝加工 205 |
5. 工具セッティング誤差と補正 219 |
5.1 はじめに 219 |
5.2 超精密加工機と使用工具 220 |
5.3 誤差の要因とその解決法 222 |
5.4 ボールエンドミル工具径の測定と評価 222 |
5.5 セッティング誤差補正法を適用する機械構造 223 |
5.6 工具セッティング誤差補正法 224 |
5.7 補正加工の効果 230 |
5.7.1 同時3軸制御加工による円筒面加工 230 |
5.7.2 同時5軸制御加工による菩薩頭部形状加工 231 |
6. 超精密切削加工の将来動向 235 |
6.1 はじめに 235 |
6.2 高硬度材や難削材の加工 236 |
6.2.1 楕円振動を付与した超精密切削加工 236 |
6.2.2 フライス工具の工夫 238 |
6.2.3 研削と切削の併用 240 |
6.3 自動加工システムの試み 241 |
6.3.1 システム開発の必要性 241 |
6.3.2 システムの概要 242 |
6.3.3 取付け面と使用軸数の決定 244 |
6.4 マイクロファクトリーの構想 245 |
索引 248 |
1. 超精密マイクロ切削工とは 1 |
2. 超精切削加工のあらまし 5 |
2.1 回転工具と非回転工具 5 |
2.2 超精密切削加工機の要素 6 |
2.3 超精密切削加工機の自由度と加工可能形状 7 |
2.4 市販されている超精密切削加工機 10 |