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半導体・MEMSのための超臨界流体 / 近藤英一編著 ; 上野和良 [ほか] 著

資料種別:
図書
出版情報:
東京 : コロナ社, 2012.9
形態:
vii, 227p ; 21cm
著者名:
近藤, 英一 <DA15179916>
上野, 和良 <DA1758895X>
内田, 寛
曽根, 正人 <DA17588960>
生津, 英夫
服部, 毅
堀, 照夫
森口, 誠
さらに 3 件
分担著者名:
曽根, 正人  
ISBN:
9784339008371 [4339008370]
書誌ID:
BB10243699
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