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ポストシリコン半導体 : ナノ成膜ダイナミクスと基板・界面効果

資料種別:
図書
出版情報:
東京 : エヌ・ティー・エス, 2013.6
形態:
2, 10, 510, 15p, 図版18p ; 27cm
ISBN:
9784864690591 [4864690596]
書誌ID:
BB12654468
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