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プロセスの低温化 / 西澤潤一編

資料種別:: 図書
出版情報:: 東京 : 工業調査会, 1985.3
形態:: 10, 331p, 挿図 ; 27cm
シリーズ名:: 半導体研究 / 半導体研究振興会編 ; 21巻 . 超LSI技術||チョウ LSI ギジュツ ; 8 <BN00178314>
著者名:: 西澤, 潤一(1926-) <DA00235944>
ISBN:: 9784769310433 [4769310439]
書誌ID:: BN00282757

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書誌詳細

注記:	執筆: 石川潔ほか各章末: 参考文献
タイトルのヨミ:	プロセスノテイオンカ
著者名ヨミ:	ニシザワ, ジュンイチ
主題:	半導体
言語:	日本語

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