JME材料科学 刊行によせて i |
JME材料科学 刊行委員会から iii |
編訳者序文 v |
第1章 イオンビームを用いた材料表面層と薄膜の分析法 |
1・1 はじめに 3 |
1・2 分析法の基礎概念 4 |
1・2・1 表面分析 5 |
1・2・2 深さ方向分析 5 |
1・2・3 面分析 6 |
1・3 分析装置の共通事項 7 |
1・3・1 真空系 7 |
1・3・2 イオン源 8 |
1・3・3 イオンスパッタリング 9 |
1・4 分析法 11 |
1・4・1 オージェ電子分光法 11 |
1・4・2 X線光電子分光法 14 |
1・4・3 高エネルギーイオンビーム法 17 |
1・4・4 低速イオン散乱法 21 |
1・4・5 2次イオン質量分析法 23 |
1・4・6 その他の分析法 29 |
1・4・7 分析法の将来 30 |
1・5 分析法の比較 32 |
1・5・1 感度 32 |
1・5・2 マトリックス効果 35 |
1・5・3 試料の変質と消耗 36 |
1・5・4 定量化 37 |
1・5・5 化学結合に関する情報 41 |
1・5・6 分析速度 42 |
1・5・7 絶縁物の分析 43 |
1・6 結論 45 |
SELF-TEST 1 49 |
ANSWER & STUDY 1 51 |
参考文献 53 |
第2章 オージェ電子分光法入門 |
2・1 はじめに 61 |
2・2 コアーレベルのイオン化 64 |
2・3 オージェ緩和過程 67 |
2・4 特性電子放出 68 |
2・5 脱出深さλ(E) 69 |
2・6 オージェスペクトル表示 71 |
2・7 エネルギーの測定 77 |
2・8 実験例の紹介 78 |
SELF-TEST 2 85 |
ANSWER & STUDY 2 87 |
参考文献 89 |
第3章 低速イオン散乱分光法入門 |
3・1 はじめに 93 |
3・2 原理 95 |
3・3 古典力学の妥当性 96 |
3・4 熱効果と2体衝突近似 99 |
3・5 散乱イオンのエネルギーとターゲット原子の質量との関係 100 |
3・6 散乱イオン収量に及ぼす因子 101 |
3・7 装置 105 |
3・8 試料室と試料保持台 105 |
3・9 イオン源とイオンビーム 106 |
3・10 エネルギー分析器 107 |
3・11 典型的なスペクトル 108 |
3・12 単原子層検出感度 109 |
3・13 構造に関する情報 110 |
3・14 アイソトープ検出(同位体検出) 111 |
3・15 深さ分析 112 |
3・16 化学結合の情報 113 |
3・17 分解能 113 |
3・18 他の因子 114 |
3・19 まとめ 116 |
SELF-TEST 3 117 |
ANSWER & STUDY 3 118 |
参考文献 119 |
第4章 材料科学と電子顕微鏡法 |
4・1 はじめに 123 |
4・2 半導体への応用 123 |
4・2・1 工業的応用例 123 |
4・2・2 科学的応用例 127 |
4・2・3 界面の研究 135 |
4・3 金属学への応用 138 |
4・3・1 工業的応用例 138 |
4・3・2 インコネル600の応力腐食割れ 141 |
4・3・3 科学的応用例(規則合金中の逆位相域境界チューブ) 143 |
4・4 放射線損傷 145 |
4・5 その場研究 146 |
4・6 おわりに 149 |
参考文献 151 |
付録 |
(1) 基礎物理定数 157 |
(2) 単位換算表 157 |
(3) 元素の周期表 158 |
(4) 本書で取り上げた分析法の名称と略語 159 |
(5) 材料のキャラクタリゼーションと分析法の関係 160 |
(6) 主な表面分析法の比較 161 |
(7) エネルギー分析器 162 |
索引 169 |
JME材料科学 刊行によせて i |
JME材料科学 刊行委員会から iii |
編訳者序文 v |
第1章 イオンビームを用いた材料表面層と薄膜の分析法 |
1・1 はじめに 3 |
1・2 分析法の基礎概念 4 |