所蔵情報QRコード
半導体ドライエッチング技術 / 徳山巍編著
- 資料種別:
- 図書
- 出版情報:
- 東京 : 産業図書, 1992.10
- 形態:
- xiii, 394p ; 22cm
- シリーズ名:
- 集積回路プロセス技術シリーズ <BN00597860>
- 著者名:
- ISBN:
- 9784782856284 [4782856288]
- 書誌ID:
- BN08137616
類似資料:
技術評論社 |
日刊工業新聞社 |
産業図書 |
日経BP社, 日経BP出版センター (発売) |
シーエムシー出版 |
日刊工業新聞社 |
東京大学出版会 |
日刊工業新聞社 |
工業調査会 |
シーエムシー出版 |
日経BP社 |
エヌ・ティー・エス |