超微細加工の基礎 : 半導体製造技術 | 東京工業大学附属図書館蔵書検索

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超微細加工の基礎 : 半導体製造技術 / 麻蒔立男著

資料種別:: 図書
出版情報:: 東京 : 日刊工業新聞社, 1993.3
形態:: 2, viii, 261, ivp ; 21cm
著者名:: 麻蒔, 立男(1934-) <DA00869433>
ISBN:: 9784526032844 [4526032840]
書誌ID:: BN08854220

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書誌詳細

注記:	参考文献: 各章末
タイトルのヨミ:	チョウビサイカコウノキソ : ハンドウタイセイゾウギジュツ
著者名ヨミ:	アサマキ, タツオ
主題:	半導体
言語:	日本語

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