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シリコン : 結晶成長とウエーハ加工 / 阿部孝夫著

資料種別:
図書
出版情報:
東京 : 培風館, 1994.5
形態:
xii, 361p ; 22cm
シリーズ名:
アドバンストエレクトロニクスシリーズ / 菅野卓雄 [ほか] 監修 ; カテゴリーI . エレクトロニクス材料・物性・デバイス||エレクトロニクス ザイリョウ ブッセイ デバイス ; 5 <BN10717539>
著者名:
阿部, 孝夫 <DA00407176>  
ISBN:
9784563036058 [4563036056]
書誌ID:
BN10742751
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