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エピタキシャル成長したパワーデバイス用4H-SiCの結晶欠陥評価とその制御に関する研究 / 大野俊之

資料種別:
学位論文
出版情報:
東京 : 東京工業大学, 2006
著者名:
大野, 俊之  
書誌ID:
TT00008128
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