基板上に形成された薄膜の残留応力と構造 | 東京工業大学附属図書館蔵書検索

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基板上に形成された薄膜の残留応力と構造 / 野村秀史

資料種別:: 学位論文
出版情報:: 東京 : 東京工業大学, 2013
著者名:: 野村, 秀史
書誌ID:: TT00014543

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書誌詳細

注記:	報告番号:甲第9069号/博士(工学)/授与年月日:平成25年3月26日
タイトルのヨミ:	キバンジョウニケイセイサレタハクマクノザンリュウオウリョクトコウゾウ
著者名ヨミ:	ノムラ, ヒデシ
言語:	日本語

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