1.
図書
G.K. Hall & Company
出版情報:
Boston, Mass. : G.K. Hall & Co., 1983-1988 v. ; 29 cm
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2.
図書
Nenad Trinajstić
出版情報:
Boca Raton, Fla. : CRC Press, c1983 2 v. ; 27 cm
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3.
図書
Mohsen Shahinpoor, editor
出版情報:
Clausthal-Zellerfeld, Federal Republic of Germany : Trans Tech Publications , Houston : Gulf Pub. Co., 1983 2 v. (xxx, 975 p.) ; 25 cm
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4.
図書
[edited by] J.R. Pfafflin, E.N. Ziegler
出版情報:
New York ; Tokyo : Gordon and Breach Science Publishers, c1983 3 v. (xxiii, 1254 p.) ; 28 cm
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5.
図書
Elaine Rich
目次情報:
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Preface
Problems and Search / I:
What Is Artificial Intelligence? / 1:
The AI Problems / 1.1:
The Underlying Assumption / 1.2:
What Is an AI Technique? / 1.3:
The Level of the Model / 1.4:
Criteria for Success / 1.5:
Some General References / 1.6:
One Final Word / 1.7:
Exercises / 1.8:
Problems, Problem Spaces, and Search / 2:
Defining the Problem as a State Space Search / 2.1:
Production Systems / 2.2:
Problem Characteristics / 2.3:
Production System Characteristics / 2.4:
Issues in the Design of Search Programs / 2.5:
Additional Problems / 2.6:
Summary / 2.7:
Heuristic Search Techniques / 2.8:
Generate-and-Test / 3.1:
Hill Climbing / 3.2:
Best-First Search / 3.3:
Problem Reduction / 3.4:
Constraint Satisfaction / 3.5:
Means-Ends Analysis / 3.6:
Knowledge Representation / 3.7:
Knowledge Representation Issues / 4:
Representations and Mappings / 4.1:
Approaches to Knowledge Representation / 4.2:
Issues in Knowledge Representation / 4.3:
The Frame Problem / 4.4:
Using Predicate Logic / 4.5:
Representing Simple Facts in Logic / 5.1:
Representing Instance and Isa Relationships / 5.2:
Computable Functions and Predicates / 5.3:
Resolution / 5.4:
Natural Deduction / 5.5:
Representing Knowledge Using Rules / 5.6:
Procedural versus Declarative Knowledge / 6.1:
Logic Programming / 6.2:
Forward versus Backward Reasoning / 6.3:
Matching / 6.4:
Control Knowledge / 6.5:
Symbolic Reasoning under Uncertainty / 6.6:
Introduction to Nonmonotonic Reasoning / 7.1:
Logics for Nonmonotonic Reasoning / 7.2:
Implementation Issues / 7.3:
Augmenting a Problem Solver / 7.4:
Implementation: Depth-First Search / 7.5:
Implementation: Breadth-First Search / 7.6:
Statistical Reasoning / 7.7:
Probability and Bayes' Theorem / 8.1:
Certainty Factors and Rule-Based Systems / 8.2:
Bayesian Networks / 8.3:
Dempster-Shafer Theory / 8.4:
Fuzzy Logic / 8.5:
Weak Slot-and-Filler Structures / 8.6:
Semantic Nets / 9.1:
Frames / 9.2:
Strong Slot-and-Filler Structures / 9.3:
Conceptual Dependency / 10.1:
Scripts / 10.2:
CYC / 10.3:
Knowledge Representation Summary / 10.4:
Syntactic-Semantic Spectrum of Representation / 11.1:
Logic and Slot-and-Filler Structures / 11.2:
Other Representational Techniques / 11.3:
Summary of the Role of Knowledge / 11.4:
Advanced Topics / 11.5:
Game Playing / 12:
Overview / 12.1:
The Minimax Search Procedure / 12.2:
Adding Alpha-Beta Cutoffs / 12.3:
Additional Refinements / 12.4:
Iterative Deepening / 12.5:
References on Specific Games / 12.6:
Planning / 12.7:
An Example Domain: The Blocks World / 13.1:
Components of a Planning System / 13.3:
Goal Stack Planning / 13.4:
Nonlinear Planning Using Constraint Posting / 13.5:
Hierarchical Planning / 13.6:
Reactive systems / 13.7:
Other Planning Techniques / 13.8:
Understanding / 13.9:
What Is Understanding? / 14.1:
What Makes Understanding Hard? / 14.2:
Understanding as Constraint Satisfaction / 14.3:
Natural Language Processing / 14.4:
Introduction / 15.1:
Syntactic Processing / 15.2:
Semantic Analysis / 15.3:
Discourse and Pragmatic Processing / 15.4:
Parallel and Distributed AI / 15.5:
Psychological Modeling / 16.1:
Parallelism in Reasoning Systems / 16.2:
Distributed Reasoning Systems / 16.3:
Learning / 16.4:
What Is Learning? / 17.1:
Rote Learning / 17.2:
Learning by Taking Advice / 17.3:
Learning in Problem Solving / 17.4:
Learning from Examples: Induction / 17.5:
Explanation-Based Learning / 17.6:
Discovery / 17.7:
Analogy / 17.8:
Formal Learning Theory / 17.9:
Neural Net Learning and Genetic Learning / 17.10:
Connectionist Models / 17.11:
Introduction: Hopfield Networks / 18.1:
Learning in Neural Networks / 18.2:
Applications of Neural Networks / 18.3:
Recurrent Networks / 18.4:
Distributed Representations / 18.5:
Connectionist AI and Symbolic AI / 18.6:
Common Sense / 18.7:
Qualitative Physics / 19.1:
Commonsense Ontologies / 19.2:
Memory Organization / 19.3:
Case-Based Reasoning / 19.4:
Expert Systems / 19.5:
Representing and Using Domain Knowledge / 20.1:
Expert System Shells / 20.2:
Explanation / 20.3:
Knowledge Acquisition / 20.4:
Perception and Action / 20.5:
Real-Time Search / 21.1:
Perception / 21.2:
Action / 21.3:
Robot Architectures / 21.4:
Conclusion / 21.5:
Components of an AI Program / 22.1:
References / 22.2:
Acknowledgements
Author Index
Subject Index
Preface
Problems and Search / I:
What Is Artificial Intelligence? / 1:
6.
図書
Graham Walker
目次情報:
Pt. 1: Fundamentals
Pt. 2: Applications
Pt. 1: Fundamentals
Pt. 2: Applications
7.
図書
edited by A. Strub, P. Chartier, and G. Schleser
出版情報:
London ; New York : Applied Science Publishers , New York, N.Y. : Sole distributor in USA and Canada, Elsevier Science Pub. Co., c1983 xxxii, 1148 p. ; 23 cm
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8.
図書
ボイヤー [著] ; 加賀美鉄雄, 浦野由有訳
出版情報:
東京 : 朝倉書店, 1983-1985 5冊 ; 21cm
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9.
図書
東工大 目次DB
南原利夫, 池川信夫編著
出版情報:
東京 : 廣川書店, 1983-1988 3冊 ; 27cm
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理論編
第1章 理論
1.1 緒言 1
1.1.1 クロマトグラフィーの相と分類 2
1.1.2 検出と定量 5
1.2 カラムの設計 7
1.2.1 ピークの広がり 7
1.2.2 ピークの分離率 22
1.2.3 高速化に関する考察 33
1.3 分離の作用様式 38
1.3.1 物質相互作用の種類とクロマトグラフィーの種類 38
1.3.2 場 流動分画法 38
1.3.3 ゲル浸透クロマトグラフィー 40
1.3.4 コバレントクロマトグラフィー 49
1.3.5 イオン交換クロマトグラフィー 51
1.3.6 吸着・分配(逆相)クロマトグラフィー 57
1.3.7 複合型のクロマトグラフィー 73
1.3.8 クロマトグラフィーの系の選択策 79
1.4 定性と定量 80
1.4.1 溶離の保持体積による定性 80
1.4.2 勾配溶離と保持体積 81
1.4.3 濃度勾配法 84
第2章 装置
2.1 装置の分類 95
2.2 送液 96
2.2.1 送液ポンプ 96
2.2.2 グラジェント溶出装置 117
2.2.3 送液システムのいくつかの例 124
2.2.4 特殊な送液系 145
2.3 試料導入部 149
2.3.1 緒言 149
2.3.2 マニュアルインジェクタ 149
2.3.3 オートインジェクタ 151
2.3.4 その他 153
2.3.5 特殊な導入部 155
2.4 検出部 157
2.4.1 緒言 157
2.4.2 検出器の種類と概要 157
2.4.3 共通の問題 158
2.4.4 紫外(可視)吸光光度計検出器 162
2.4.5 フォトダイオードアレイ検出器 176
2.4.6 蛍光検出器 183
2.4.7 屈折率計検出器 191
2.4.8 電気化学検出器 196
2.4.9 化学反応検出器 200
2.4.10 その他の検出器 214
2.4.11 将来の展望 218
2.5 カラムおよび配管部 221
2.5.1 カラムの材質と寸法 221
2.5.2 カラムの形状 225
2.5.3 カラム恒温部 238
2.6 システム制御 243
2.6.1 緒言 243
2.6.2 システムの形態 244
2.6.3 システム化の実際 250
2.7 データ処理装置 256
2.7.1 データ処理装置の構成 256
2.7.2 波形処理 257
2.7.3 定量計算 259
2.7.4 タイムプログラム 260
2.7.5 分析レポート 261
2.7.6 クロマトグラムの記憶と再解析,バックグラウンド補正 261
2.7.7 BASICプログラミング機能 263
2.7.8 GPCのデータ処理 264
2.8 専用LC 267
2.8.1 GPC 267
2.8.2 アミノ酸分析計 270
2.8.3 イオンクロマトグラフ 273
第3章 充填剤および溶離液
3.1 緒言 281
3.2 充填剤 282
3.2.1 はじめに 282
3.2.2 高速液体クロマトグラフィー用充填剤の考え方 284
3.2.3 分離様式からみた充填剤 298
3.2.4 カラムの作り方 309
3.2.5 実験上の一般的問題 313
3.3 溶離液 320
3.3.1 はじめに 320
3.3.2 高速液体クロマトグラフィー用移動相の考え方 326
3.4 分離条件の選定 335
3.4.1 固定相および移動相の選定 335
3.4.2 段階溶出法と勾配溶出法 336
3.4.3 カラム温度 338
日本語索引 343
外国語索引 352
応用編 1
第1章 糖類
1.2 中性単糖,オリゴ糖 1
1.2.1 ホウ酸錯イオンによるイオン交換クロマトグラフィー 2
1.2.2 イオン交換樹脂による分配クロマトグラフィー 8
1.2.3 高分離能を有する充填剤の開発と分析の高速化 12
1.2.4 前処理による吸収を持つ誘導体に変換した後分析する方法 17
1.2.5 その他の方法 24
1.2.6 糖質の単糖成分の分析 24
1.2.7 糖自動分析計による臨床分析 25
1.3 中性オリゴ糖,多糖 31
1.3.1 ゲルクロマトグラフィーによる分離 31
1.3.2 活性炭によるオリゴ糖の吸着クロマトグラフィー 37
1.3.3 オリゴ糖,多糖の糖鎖分析 38
1.4 アミノ糖,グリカミン 41
1.5 ウロン酸,アルドン酸,糖酸 43
1.6 ムコ多糖 45
1.7 配糖体 46
1.8 その他の糖誘導体 49
第2章 脂肪酸および脂質
2.1 緒言 52
2.2 誘導体による脂肪酸の分析 52
2.2.1 あらかじめ誘導体を調製した後に分離分析する方法 53
2.3 分離後に指示薬や選択的反応により発色し検出する方法 61
2.4 直接脂肪酸を分離分析する方法 67
2.5 脂肪酸分析の充填剤 75
2.6 プロスタグランジンの分析 78
2.7 脂質の分析 88
2.8 結語 106
2.9 最近の進歩 106
第3章 ステロイド
3.1 緒言 112
3.2 女性ホルモン 113
3.3 男性ホルモン 123
3.4 副腎皮質ホルモン 124
3.5 胆汁酸 129
3.6 Vitamin D 133
3.7 強心性ステロイド 138
3.8 昆虫変態ホルモン 142
3.9 その他のステロイドの分離 143
3.10 結語 144
第4章 カテコールアミンおよびその代謝物
4.1 緒言 148
4.2 カテコールアミンそのもののHPLCによる分析 149
4.2.1 イオン交換クロマトグラフィーによる分離 149
4.2.2 イオン交換クロマトグラフィーによる分離とボルタンメトリーによる検出・定量 149
4.2.3 イオン交換クロマトグラフィーによる分離と発蛍光反応による検出 151
4.2.4 逆相クロマトグラフィーによる分離と蛍光検出 153
4.2.5 イオン対クロマトグラフィー 155
4.3 標識カテコールアミンのHPLCによる分析 155
4.3.1 DNS化カテコールアミンのHPLC分析 156
4.3.2 フルオレッサミンで標識したカテコールアミンのHPLCによる定量 158
4.3.3 標識化合物のHPLC 158
4.4 カテコールアミン硫酸抱合体 166
4.4.1 DM抱合体のHPLC 166
4.5 バニリルマンデル酸(VHA)およびホモバニリン酸(HVA) 168
第5章 アミノ酸
5.1 緒言 172
5.2 アミノ酸 172
5.2.1 スルホン化ポリスチレンゲルを用いるイオン交換クロマトグラフィー 172
5.2.2 その他のクロマトグラフィー 201
5.3 アミノ酸誘導体 206
5.3.1 PTHアミノ酸 206
5.3.2 DNS-アミノ酸 206
5.3.3 光学活性誘導体によるL-およびD-アミノ酸の分離 208
5.4 最近の進歩 209
5.4.1 Low Pressure High Performance Liquid ChromatographyとTETPの概念 209
5.4.2 アミノ酸の光学分割 212
第6章 ペプチド・タンパク質
6.1 緒言 215
6.2 イオン交換クロマトグラフィー 216
6.2.1 ポリスチレン系イオン交換樹脂を用いるクロマトグラフィー 216
6.2.2 イオン交換シリカゲルを用いるクロマトグラフィー 222
6.2.3 ペリキュラー型イオン交換樹脂を用いるクロマトグラフィー 223
6.3 分配クロマトグラフィー 225
6.3.1 C18-シリカゲルなどのシリカゲル系樹脂を用いるクロマトグラフィー 225
6.3.2 向流分配クロマトグラフィー 236
6.4 吸着クロマトグラフィー 236
6.5 ゲルパーミエーションクロマトグラフィー 238
6.6 ペプチド,タンパク質の検出法 239
6.6.1 Ninhydrin法 239
6.6.2 Fluorescamine法 239
6.6.3 o-Phthalaldehyde法 241
6.6.4 Pyridoxal-Zn法 241
6.6.5 UV吸収法 242
6.6.6 並列同時多検出法 243
6.6.7 その他 245
6.7 最近の進歩 245
第7章 核酸
7.1 緒言 249
7.2 核酸の構成 249
7.2.1 DNAの構造 249
7.2.2 RNAの構造 251
7.3 核酸の加水分解 251
7.3.1 DNAの加水分解 252
7.3.2 RNAの加水分解 254
7.4 核酸成分のHPLCに関連する諸性質と実験条件 255
7.4.1 核酸成分の解離 255
7.4.2 核酸成分の紫外部吸収 256
7.4.3 カラムの種類と移動相 256
7.4.4 実験条件の設定 266
7.5 各論 266
7.5.1 遊離塩基 266
7.5.2 スクレオシド 272
7.5.3 スクレオチド 282
7.5.4 その他の核酸関連物質への応用 289
第8章 医薬品
8.1 緒言 293
8.2 解熱鎮痛剤,消炎剤 301
8.3 抗ヒスタミン剤,鎮咳剤および去痰剤 308
8.4 感冒剤 313
8.5 向精神剤,催眠剤 329
8.6 降圧剤,利尿剤,糖尿病治療薬 343
8.7 サルファ剤,抗結核剤 354
8.8 抗生物質 358
8.9 ビタミン 366
8.10 アルカロイド,配糖体など 372
8.11 その他 380
索引 1
応用編〔II〕・主要目次
第9章 生体試料中薬物およびその代謝物
第10章 食品添加物
第11章 農薬
第12章 化粧品およびその関連物質
第13章 天然物
第14章 高分子
第15章 無機化合物
応用編 2
第9章 生体試料中薬物およびその代謝物
9.1 緒言 405
9.2 前処理 405
9.2.1 除タンパク 406
9.2.2 抽出 407
9.2.3 クロマトグラフィー 408
9.2.4 各種Sephadexによる分離 408
9.2.5 その他 410
9.3 カラム 413
9.4 測定例 414
9.4.1 解熱・鎮痛・抗炎症薬 414
9.4.2 抗てんかん・抗うつ・催眠鎮静薬 419
9.4.3 強心・抗不整脈薬 430
9.4.4 化学療法剤・抗生物質 434
9.4.5 降圧・利尿・糖尿病治療薬 441
9.4.6 その他 443
9.4.7 光学活性薬物 445
第10章 食品添加物
10.1 緒言 451
10.2 保存料 452
10.2.1 イオン交換型カラムの応用 453
10.2.2 ポリアミド系充?剤 458
10.2.3 ホーラスポリマーによる分離 459
10.2.4 逆相分配型カラム 463
10.2.5 シリカゲルカラムによる分析 468
10.2.6 ジフェニル,オルトフェニルフィノールおよびサイアベンダゾール 469
10.2.7 クロラミンT 472
10.2.8 検出器および紫外部吸収波長について 473
10.3 酸化防止剤 473
10.3.1 緒言 473
10.3.2 アスコルビン酸およびエリソルビン酸 476
10.3.3 油溶性酸化防止剤 477
10.3.4 トコフェロール類 485
10.3.5 EDTA 487
10.4 甘味料 488
10.4.1 緒言 488
10.4.2 サッカリンおよび関連物質 490
10.4.3 グリチルリチン 493
10.4.4 その他の甘味物質 496
10.5 着色料 504
10.5.1 緒言 504
10.5.2 水溶性色素 507
10.5.3 水溶性天然色素 524
10.5.4 油溶性色素の分離 531
10.6 その他の食品添加物 539
10.6.1 強化剤,特にビタミン類 539
10.6.2 調味料 548
10.6.3 着香料 552
10.6.4 防虫剤 553
第11章 農薬
11.1 緒言 558
11.2 原体および製剤の分析 559
11.2.1 殺虫剤 559
11.2.2 除草剤 562
11.2.3 その他の化合物 563
11.3 残留分析 565
11.3.1 定性定量分析 565
11.3.2 精製 586
11.4 代謝物,分解物への応用 589
11.5 HPLCの検出器 592
11.6 結語 597
第12章 化粧品およびその関連物質
12.1 緒言 610
12.2 殺菌剤 610
12.3 香料 614
12.4 ホルモン,ビタミン 616
12.5 色素類 618
12.6 界面活性剤など 627
12.7 その他 634
第13章 天然物
13.1 緒言 637
13.2 テルペン 638
13.2.1 Iridoid and secoiridoid glucosides 639
13.2.2 Digitalis glycoside 640
13.2.3 Triterpene 641
13.3 フェノール性化合物 644
13.3.1 Flavonoid 644
13.3.2 Anthraquinone 648
13.3.3 Xanthone 649
13.3.4 Furocoumarine 650
13.3.5 その他 653
13.4 アルカロイド 659
13.4.1 Strychnos alkaloid 659
13.4.2 Tropane alkaloid 659
13.4.3 Caffeine 661
13.4.4 Rauwolfia alkaloid 661
13.4.5 Catharanthus alkaloid 663
13.4.6 Ergot alkaloid 663
13.4.7 Colchicine 663
13.4.8 Steroidal alkaloid 667
13.4.9 Opium alkaloid 667
13.4.10 Dansyl derivatives 669
13.5 話題の天然物 671
13.5.1 Aflatoxin 671
13.5.2 Cannabinoid 673
13.5.3 Doxorubicin 673
13.5.4 Ecdysone 673
13.5.5 Plant pigment 675
13.5.6 Prenyl quinone 676
13.5.7 Prostaglandin 677
13.5.8 民間薬カナクギノキの実 678
第14章 高分子
14.1 高分子の分子量と分子量分布の測定 682
14.1.1 ゲルパーミエーションクロマトグラフィーの基礎 682
14.1.2 高分子のゲルパーミエーションクロマトグラフィー 685
14.1.3 共重合体の組成不均一性の測定 695
14.2 オリゴマーの分離分析 697
14.2.1 ゲルパーミエーションクロマトグラフィーによる分離 697
14.2.2 吸着および分配クロマトグラフィーによる分離 716
14.3 高分子添加剤の分析 721
第15章 無機化合物
15.1 緒言 724
15.2 装置 725
15.3 検出法 726
15.3.1 発色反応を併用する吸光光度検出法 726
15.3.2 多波長分光光度検出法 727
15.3.3 フレーム法 729
15.3.4 原子吸光法 731
15.3.5 電気化学的検出法 731
15.3.6 放射能測定法 732
15.3.7 その他の検出法 733
15.4 高速液体クロマトグラフィーによる無機化合物の分離 734
15.4.1 金属イオン 735
15.4.2 非金属陰イオン 745
15.4.3 錯体および有機金属化合物 749
15.5 結語 758
応用編〔I〕・主要目次
第1章 糖類
第2章 脂肪酸・脂質
第3章 ステロイド
第4章 カテコールアミンおよびその代謝物
第5章 アミノ酸
第6章 ペプチド・タンパク質
第7章 核酸
第8章 医薬品
10.
図書
ed. by Elliot Elson, William Frazier & Luis Glaser
出版情報:
New York : Plenum Press, c1983- 3 v. ; 24 cm
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所蔵情報:
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11.
図書
edited by M. Borissov
出版情報:
Singapore : World Scientific, c1983 483 p. ; 22 cm
子書誌情報:
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12.
図書
edited by David G. Lovering and Robert J. Gale
出版情報:
New York : Plenum Press, c1983-c1991 v. ; 24 cm
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13.
図書
中村嘉男, 酒田英夫編
出版情報:
東京 : 朝倉書店, 1983.6-1983.9 2冊 ; 22cm
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14.
図書
ノーマン・G.エインズプラチ編 ; 岩田倫典 [ほか] 訳
出版情報:
東京 : 現代工学社, 1983.7-1983.10 7冊 ; 23cm
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15.
図書
compiled by Angela E. Pritchard
16.
図書
edited by Alan G. Walton and Sharon K. Hammer
出版情報:
Amsterdam : Elsevier, 1983- v. ; 25 cm
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17.
図書
edited by Erdoğan Alper
18.
図書
editors, A.A. Galeev, R.N. Sudan
出版情報:
Amsterdam ; New York : North-Holland Pub. , New York, N.Y. : Sole distributors for the U.S.A. and Canada, Elsevier Science Pub., 1983-1984 2 v. ; 25 cm
シリーズ名:
Handbook of plasma physics ; v. 1-2
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Preface
MHD description of plasma / R.M. Kulsrud
Linear wave propagation in ideal magnetohydrodynamics / H. Weitzner
Kinetic theory of waves / V.N. Oraevsky
Theory of fluctuations in plasma / C.R. Oberman ; E.A. Williams
Propagation and mode-conversion for waves in nonuniform plasmas / T.H. Stix ; D.G. Swanson
The variational principle for problems of ideal magnetohydrodynamic stability / I.B. Bernstein
Kinetic waves and instabilities in a uniform plasma / R.C. Davidson
Instabilities in inhomogeneous plasma / A.B. Mikhailovsky
Resistive instabilities and field line reconnection / R.B. White
Wave-particle and wave-wave interaction / A.A. Galeev ; R.Z. Sagdeev
Collapse and self-focusing of Langmuir waves / V.E. Zakharov
Particle simulation / J.M. Dawson ; A.T. Lin
Author index
Subject index
Preface
MHD description of plasma / R.M. Kulsrud
Linear wave propagation in ideal magnetohydrodynamics / H. Weitzner
19.
図書
東工大 目次DB
西永頌執筆
目次情報:
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1.デバイスプロセスの基礎
1.1 自由エネルギーの概念 1
1.2 化学平衡 9
1.3 偏析と固溶限界 12
1.4 デバイスプロセスで出合ら重要な結晶欠陥 24
1.4.1 結晶構造 24
1.4.2 結晶欠陥 32
演習問題 32
2.結晶成長
2.1 融液からの結晶成長 35
2.2 気相および溶液相からの単結晶成長 43
2.3 結晶成長の考え方 50
演習問題 62
3.シリコン酸化膜および窒化膜
3.1 熱酸化 64
3.1.1 熱酸化の方法 64
3.1.2 熱酸化の考え方 68
3.2 化学反応を利用した酸化膜と窒化膜の形成(CVD法) 71
3.2.1 薄膜の形成方法 71
3.2.2 CVD法による薄膜成長の考え方 72
3.2.3 新しい形のCVD 74
3.3 電気的性質に影響を与える酸化膜および界面の欠陥 75
演習問題 79
4.不純物拡散とイオン注入
4.1 不純物拡散法によるpn接合の形成 80
4.2 不純物拡散の理論 84
4.2.1 表面密度一定の場合 85
4.2.2 有限な拡散源からの拡散 86
4.2.3 半導体結晶から外部への拡散(out-diffusion) 89
4.3 拡散の考え方 90
4.4 化合物半導体への不純物拡散 93
4.5 イオン注入 95
4.5.1 イオン注入装置 95
4.5.2 イオン注入の考え方 98
4.5.3 イオン注入の応用 107
演習問題 110
5.真空下での薄膜形成技術
5.1 真空蒸着法 113
5.1.1 蒸着の原理 113
5.1.2 蒸発源 114
5.1.3 真空の作り方と計測法 116
5.1.4 膜形式の考え方 120
5.2 スパッタリング法 121
5.3 分子線エピタキシー法 123
演習問題 124
6.リソグラフィー
6.1 ホトリソグラフィー 125
6.1.1 ホトリソグラフィー(光食刻,photo-lithography)の原理 125
6.1.2 ホトマスクの作製 129
6.1.3 ホトレジスト 132
6.1.4 ホトリソグラフィーの精度 133
6.2 サブミクロン加工のためのリソグラフィー技術 136
6.2.1 遠紫外ホトリソグラフィー 136
6.2.2 X線リソグラフィー 137
6.2.3 電子線リソグラフィー 138
演習問題 140
7.デバイス作製の周辺技術
7.1 オーム性接触の形成 142
7.2 ボンディング 144
7.3 ケースへの封止 146
演習問題 149
8.結晶の評価
8.1 結晶欠陥の評価 151
8.1.1 線欠陥および面欠陥 151
8.1.2 点欠陥の観察 156
8.2 不純物の評価 158
8.2.1 質量分析 158
8.2.2 発光分光分析 160
8.2.3 X線マイクロアナライザ 160
8.2.4 オージェ電子分光 161
8.2.5 放射化分析 162
8.2.6 backscattering法 162
8.3 電気的性質 166
8.3.1 四点法(four-point probe method) 166
8.3.2 ホール効果 167
8.3.3 van der Pauw の方法 169
8.3.4 伝導形の決定 170
8.3.5 キャリヤの寿命(carrier lifetime) 171
8.4 評価の考え方 172
演習問題 173
付録
1.高純度水素精製法 175
2.高純度水の製造法 176
3.三次元結晶での回折条件 177
参考文献 182
演習問題略解 182
索引 185
1.デバイスプロセスの基礎
1.1 自由エネルギーの概念 1
1.2 化学平衡 9
20.
図書
Siekmann, Jörg H., 1941- ; Wrightson, Graham
21.
図書
[redaktor shkencor Skënder Dede]
出版情報:
Tiranë : Shtëpia Botuese "8 Nëntori", 1983 531 p., [8] leaves of plates ; 25 cm
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22.
図書
edited by James D. Morrison
23.
図書
山藤馨著
出版情報:
東京 : 朝倉書店, 1983.4-1985.4 2冊 ; 22cm
シリーズ名:
物理学ライブラリー ; 10-11
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24.
図書
Becker, Wentworth [著] ; 木下實 [ほか] 訳
出版情報:
東京 : 東京化学同人, 1983 2冊 ; 22cm
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25.
図書
edited by Erich E. Kunhardt and Lawrence H. Luessen
26.
図書
organised by the International of Chemical Engineers in association with the Royal Institution of Naval Architects, held at Harrogate, England 12-16 September 1983
27.
図書
エリ・デ・ランダウ, イェ・エム・リフシッツ著 ; 佐々木健, 好村滋洋訳
出版情報:
東京 : 東京図書, 1983.7-1983.12 2冊 ; 22cm
シリーズ名:
ランダウ=リフシッツ理論物理学教程
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28.
図書
P.H. エーベルソン, M. ドーフマン編 ; 堂山昌男, 山本良一訳
出版情報:
東京 : 東京大学出版会, 1983.3-1984.3 2冊 ; 21cm
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29.
図書
G.S. ステント, R. カレンダー著 ; 長野敬訳
出版情報:
東京 : 岩波書店, 1983 2冊 ; 22cm
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30.
図書
大阪大学レーザー核融合研究センター
出版情報:
吹田 : 大阪大学レーザー核融合研究センター, 1983.5-10 2冊 ; 21cm
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31.
図書
岩堀長慶著
出版情報:
東京 : 岩波書店, 1983.4 x, 290p ; 19cm
シリーズ名:
数学入門シリーズ ; 4
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32.
図書
editors, R.M. Osgood, S.R.J. Brueck, and H.R. Schlossberg
33.
図書
Gustav Niemann , H. Winter
34.
図書
edited by Shyama P. Sinha
35.
図書
Quang Tho Pham, Roger Petiaud, Hugues Waton
出版情報:
Chichester ; New York : J. Wiley, <c1983- > v. ; 22 x 31 cm
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Introduction
List of Spectra
Spectra
Acrylics
Amides
Dienes
Esters
Ethers
Miscellaneous
Olefins
Siloxanes
Styrene and derivatives
Urethanes
Vinyls and vinylidenes
References
Bibliography
Introduction
List of Spectra
Spectra
36.
図書
general editor, Gy. Striker ; editors, Karolina Havrilla, Judit Solt, T. Kemény
37.
図書
sponsored by the Lubrication Division, ASME ; edited by Steve M. Rohde
出版情報:
New York, N.Y. (345 E. 47th St., New York 10017) : American Society of Mechanical Engineers, c1983 v, 217 p. ; 26 cm
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38.
図書
講談社 ; 都留, 重人(1912-2006) ; Reischauer, Edwin O. (Edwin Oldfather), 1910-1990
出版情報:
Tokyo ; New York, N.Y. : Kodansha, 1983.11-1986.11 9 v. ; 29 cm.
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39.
図書
A.Manuila[ほか]編 ; 相磯貞和等訳
出版情報:
東京 : メヂカルフレンド社, 1983.12 6冊 ; 29cm
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40.
図書
Avron Barr, Edward A. Feigenbaum編 ; 田中幸吉, 淵一博監訳
出版情報:
東京 : 共立出版, 1983.4-1993.6 4冊 ; 22cm
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41.
図書
B.L.N. Kennett
42.
図書
Norman Balabanian, Theodore A. Bickart ; with contributions from the work of the late Sundaram Seshu
出版情報:
Malabar, Fla. : R. E. Krieger Pub. Co., 1983, c1969 xix, 931 p. ; 24 cm
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43.
図書
James L. Nuckolls
44.
図書
Simon Haykin
出版情報:
New York : Wiley, c1983 xvi, 653 p. ; 24 cm
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45.
図書
Dirk van Dalen
出版情報:
Berlin ; New York : Springer-Verlag, c1983 x, 207 p. ; 25 cm
シリーズ名:
Universitext
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46.
図書
Douglas V. Hall
出版情報:
New York : McGraw-Hill, c1983 vi, 474 p. ; 26 cm
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47.
図書
coordinating author, Geoffrey Zubay
出版情報:
Reading, Mass. : Addison-Wesley, c1983 xxv, 1268 p. ; 26 cm
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48.
図書
Porter, Ruth
49.
図書
Lewis C. Epstein
出版情報:
San Francisco : Insight Press, c1983 561 p. ; 23 cm
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50.
図書
Vaclav Smil