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1.

図書
図書
1. 金属の薄膜
カイス・リーヴァー, ブレイン・チャップマン著 ; 平田邦男訳
出版情報: 東京 : 共立出版, 1975.10  116p ; 21cm
シリーズ名: モダンサイエンスシリーズ
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2.

図書
図書
2. Glow discharge processes : sputtering and plasma etching
Brian Chapman
出版情報: New York : Wiley, c1980  xv, 406 p. ; 24 cm
シリーズ名: A Wiley-Interscience publication
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Gases
Gas Phase Collision Processes
Plasmas
DC Glow Discharges
RF Discharges
Sputtering
Plasma Etching
Appendices
Index
Gases
Gas Phase Collision Processes
Plasmas
3.

図書
図書
3. プラズマプロセシングの基礎
Brian N. Chapman著 ; 岡本幸雄訳
出版情報: 東京 : 電気書院, 1985.11  13, 391p ; 22cm
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