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図書

東工大
目次DB

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東工大
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二瓶公志, 柴田進著
出版情報: 東京 : 早稲田大学出版部, 1991.2  x,168p ; 21cm
シリーズ名: エレクトロニクスと材料 / 犬塚直夫, 伊藤糾次編 ; 2
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第1章薄膜形成用材料
   1-1CVD用材料 1
   1-2スパッタ用材料 3
   1-3蒸着用材料 6
   1-4薄膜微細パターン形成技術とその材料 11
第2章SiICデバイス
   2-1シリコンデバイスの発達 17
   2-2シリコンデバイスと薄膜技術 20
   2-3MOSデバイスプロセス 25
   2-4次世代Si-VLSIに要求される薄膜技術 28
   2-4-1極薄絶縁膜 31
   2-4-2配線金属 34
   2-4-3サリサイドプロセス 37
第3章GaAsICデバイス
   3-1基本素子構造と動作原理 42
   3-1-1GaAsMESFET 42
   3-1-2HEMT 45
   3-1-3将来のデバイス 49
   3-2GaAsIC製作のためのプロセス技術 50
   3-2-1エピタキシャル成長技術 52
   3-2-2耐熱ゲートセルフアラインプロセス 53
   3-2-3イオン注入とアニール技術 54
   3-2-4ショットキーゲート 56
   3-3GaAsデバイスの応用 59
第4章光デバイス
   4-1発光素子 69
   4-2光増幅器 76
   4-3受光素子 76
   4-4光機能回路素子 77
第5章センサデバイス
   5-1光センサ 83
   5-2温度センサ 85
   5-3圧力センサ 86
   5-4磁気センサ 87
   5-5ガスセンサ 88
   5-6湿度センサ 89
第6章表示デバイス
   6-1液晶ディスプレイ(LCD) 93
   6-1-1液晶ディスプレイの原理 93
   6-1-2LCDの分類 93
   6-2プラズマディスプレイ(PDP) 99
   6-2-1PDPの原理 99
   6-2-2PDPの特徴 99
   6-2-3PDPの分類 100
   6-2-4DC型PDPの動作原理と駆動方法 100
   6-2-5AC型PDPの動作原理と駆動方法 107
   6-2-6カラーPDP 110
   6-3エレクトロルミネッセンス 112
   6-3-1二重絶縁膜構造薄膜EL素子 113
   6-3-2カラー化の検討 115
第7章入力と記録・記憶デバイス
   7-1入力デバイス 119
   7-2磁気記憶デバイス 124
   7-2-1光磁気メモリの記録原理 124
   7-2-2光磁気メモリの特徴 126
   7-2-3記録媒体(光磁気ディスク)の構造 126
   7-2-4光磁気メモリの展望 129
   7-3最近の記録デバイス 129
   7-3-1サーマルヘッド 130
   7-3-2LEDヘッド 135
   7-3-3インクジェットヘッド 136
第8章エレクトロニクス部品
   8-1エレクトロニクスと部品 139
   8-2基板 140
   8-3パッケージ 142
   8-4光実装 145
   8-5磁気シールド 148
第9章将来のデバイス
   9-1超電導デバイス 151
   9-1-1超電導の歴史 151
   9-1-2電子デバイス応用 153
   9-1-3コンピュータ応用 155
   9-1-4計測器応用 155
   9-1-5将来展望 158
   9-2バイオエレクトロニクス 158
   9-2-1バイオエレクトロニクスの範囲 158
   9-2-2バイオセンサ 158
   9-2-3分子素子バイオ素子 160
   9-2-4LB膜 163
   9-2-5バイオコンピュータの開発 163
   索引 166
第1章薄膜形成用材料
   1-1CVD用材料 1
   1-2スパッタ用材料 3
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図書
中村哲郎校閲 ; 根本邦治, 岩木龍一, 大山英典共著
出版情報: 東京 : 森北出版, 1991.4  x, 216p ; 22cm
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3.

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図書
相田洋著
出版情報: 東京 : 日本放送出版協会, 1991.8-1992.5  4冊 ; 20cm
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図書
富士総合研究所編
出版情報: 東京 : 丸善, 1991.8  x, 368p ; 22cm
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泉弘志著
出版情報: 東京 : 誠文堂新光社, 1991.10  167p ; 21cm
シリーズ名: 入門エレクトロニクス ; 10
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図書
安永均, 岡本孝太郎, 森崎弘共著
出版情報: 東京 : 近代科学社, 1991.1  ix, 269p ; 22cm
シリーズ名: 電子・情報基礎シリーズ ; 2
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7.

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図書
生駒俊明, 生駒英明共著
出版情報: 東京 : 培風館, 1991.9  v, 211p ; 22cm
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8.

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図書
K.ジーガー著 ; 山本恵一, 林真至, 青木和徳共訳
出版情報: 京都 : 吉岡書店, 1991.6  2冊 ; 22cm
シリーズ名: 物理学叢書 / 小谷正雄 [ほか] 編 ; 60-61
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9.

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図書
御子柴宣夫著
出版情報: 東京 : 培風館, 1991.11  x, 360p ; 22cm
シリーズ名: 半導体工学シリーズ / 西澤潤一編 ; 2
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