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1.

図書

図書
泉弘志著
出版情報: 東京 : 誠文堂新光社, 2002.4  167p, 図版[4]p ; 21cm
シリーズ名: 入門エレクトロニクス ; 5
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2.

図書

図書
豊田太郎著
出版情報: 東京 : 裳華房, 2001.10  vii, 153p ; 21cm
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3.

図書

図書
松波弘之, 尾江邦重著
出版情報: 東京 : 岩波書店, 2001.7  xiii, 186p ; 21cm
シリーズ名: 岩波講座現代工学の基礎 ; 材料系 ; 7
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4.

図書

図書
保母, 敏行(1940-)
出版情報: 東京 : フジ・テクノシステム, 2001.8  30, 1145p ; 27cm
シリーズ名: 高純度化技術 ; 第1巻
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5.

図書

図書
電子情報通信学会編
出版情報: 東京 : 電子情報通信学会 , 東京 : コロナ社 (取次販売所), 1999.12  x, 316p, 図版2枚 ; 22cm
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6.

図書

図書
臼田昭司, 奥田昌宏著
出版情報: 東京 : 森北出版, 1999.12  vi, 108p ; 22cm
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7.

図書

図書
茂木健一郎, NHK「プロフェッショナル」制作班編
出版情報: 東京 : 日本放送出版協会, 2006.12  171p ; 19cm
シリーズ名: プロフェッショナル仕事の流儀 / 茂木健一郎, NHK「プロフェッショナル」制作班編 ; 8
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8.

図書

東工大
目次DB

図書
東工大
目次DB
水野文夫著
出版情報: 東京 : 工業調査会, 2008.3  238p ; 21cm
シリーズ名: ビギナーズブックス ; 45
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第1章 計測
   1.1 計測とは 8
   1.1.1 計測の定義と範囲 8
   1.1.2 計測と社会 9
   1.1.3 計測の基礎になる考え方 : 物理量・測定・単位 13
   1.1.4 半導体計測とは 18
   1.2 計測の機能 21
   1.2.1 計測の機能 21
   1.2.2 計測の分類 26
   1.2.3 能動的計測 29
   1.2.4 半導体計測では 30
   1.3 ラ測の性能 31
   1.3.1 計測の性能 31
   1.3.2 不確かさ 39
   1.3.3 半導体計測では 44
   1.4 トレーサビリティ 45
   1.4.1 トレーサビリティと計量標準と校正 45
   1.4.2 半導体計測では 47
第2章 半導体計測
   2.1 半導体計測の種類 54
   2.1.1 使われる目的と半導体計測の種類 54
   2.1.2 使われる形態と半導体計測の種類 56
   2.1.3 使われる製造工程と半導体計測の種類 58
   2.1.4 計測される物理量と半導体計測の種類 60
   2.1.5 計測されるデバイスの構成要素と半導体計測の種類 66
   2.1.6 計測の手法と半導体計測の種類 67
   2.1.7 ウェーハ加工を例として見る半導体計測の種類 68
   2.2 半導体計測の特徴 70
   2.2.1 国際半導体技術ロードマップ“ITRS” 70
   2.2.2 ITRSにおけるハーフピッチとその意義 72
   2.2.3 ITRSにおける計測精度の目標設定 74
   2.2.4 ITRSにおける主な計測項目の目標値 84
   2.3 半導体計測の手法 89
   2.3.1 主なプローブと信号粒子 92
   2.3.2 主な計測手法 126
第3章 主な半導体計測
   3.1 パターン寸法・LER(LWR)・形状の観測 168
   3.1.1 CD-SEM l71
   3.1.2 スキャトロメータとエリプソメータ 186
   3.1.3 CD-SPM(CD-AFM) 191
   3.2 微粒子・パターン欠陥の検査 195
   3.2.1 散乱光検出方式 197
   3.2.2 画像比較方式 209
   3.2.3 補足 : SEM式パターン欠陥検査装置 212
   3.3 膜厚の測定 213
   3.3.1 分光エリプソメータ 214
   3.3.2 GI-XRR 216
   3.3.3 ISTS 218
   3.3.4 超音波ソナー 221
   3.3.5 膜厚測定におけるAMCの影響 225
   3.4 ウェーハ表面汚染物質の分析 225
   3.5 補足 : 既成概念からの脱却…超高エネルギー電子ビームの使用 227
第1章 計測
   1.1 計測とは 8
   1.1.1 計測の定義と範囲 8
9.

図書

図書
大幸秀成著
出版情報: 東京 : CQ出版, 2008.4  255p ; 21cm
シリーズ名: 半導体シリーズ
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10.

図書

図書
和保孝夫 [ほか] 共著
出版情報: 東京 : 日新出版, 2008.4  vi, 172p ; 21cm
シリーズ名: 実用理工学入門講座
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