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VLSIの薄膜技術 / 伊藤隆司, 石川元, 中村宏昭共著

資料種別:
図書
出版情報:
東京 : 丸善, 1986.9
形態:
xii, 250p ; 22cm
シリーズ名:
電子材料シリーズ <BN00201165>
著者名:
ISBN:
9784621031124 [4621031120]
書誌ID:
BN00435789
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