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1.

学位論文

学位
清水勇
出版情報: 東京 : 東京工業大学, 1969
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2.

図書

図書
清水勇
出版情報: 東京工業大学, 1994
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3.

図書

図書
清水勇
出版情報: 東京 : 東京工業大学, 2000.3
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4.

図書

図書
日本化学会編
出版情報: 東京 : 講談社, 1986.10  226p ; 18cm
シリーズ名: ブルーバックス ; B-663
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化学がひらく世界 / 福井謙一 [執筆]
大気と海はどのようにしてできたか / 北野康 [執筆]
生命の誕生と進化の化学 / 大島泰郎 [執筆]
山紫水明論 : 環境破壊を防ぐ化学の原理 / 藤永太一郎 [執筆]
天然染料と染色 : 帝王紫の世界 / 吉岡常雄, 上野民夫 [執筆]
分子を彫る : 有機合成化学の新しい展望 / 向山光昭 [執筆]
生物体分子の構造をあかす / 角戸正夫 [執筆]
がんの引金・ラジカルの化学 / 永田親義 [執筆]
抗生物質とがん治療薬への挑戦 / 梅沢浜夫 [執筆]
光と物質のかかわり / 戸嶋直樹 [執筆]
ライフサイエンスをとりこむ化学工業 / 安井昭夫 [執筆]
ナイロンの新展開 / 緒方直哉 [執筆]
電気ではたらく新しいプラスチックス : 音を出し、色が変わり、電気を通す / 宮田清蔵 [執筆]
セラミック時代の幕開け / 柳田博明 [執筆]
超高純度シリコンの完全結晶をめざす / 安部靖彦 [執筆]
電気を使って絵を出す材料 : エレクトロクロミズム / 清水勇 [執筆]
化学がひらくエレクトロニクス / 高村勉 [執筆]
化学がひらく世界 / 福井謙一 [執筆]
大気と海はどのようにしてできたか / 北野康 [執筆]
生命の誕生と進化の化学 / 大島泰郎 [執筆]
5.

図書

東工大
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図書
東工大
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黒田晴雄 [ほか] 編
出版情報: 東京 : 丸善, 1993.8  xii, 595p ; 22cm
シリーズ名: 実験化学講座 / 日本化学会編 ; 13
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1 固体試料の作成と取り扱い 1
   1・1 単結晶表面試料の作成 [栃原 浩・山田太郎] 1
   はじめに 清浄表面とは (1)
   単結晶の製法と入手 (2)
   X線回折による結晶軸の決定 (4)
   結晶の切断と成型 (13)
   結晶面の研磨 (17)
   超高真空下の清浄化処理 (20)
   文献 (24)
   1・2 薄膜,多層膜の作成 [①小間 篤 ②清水 勇・半那純一・白井 肇] 25
   蒸着膜の作成 (25)①
   分子線エピタキシー (28)①
   CVD法 (46)②
   膜厚の測定 (74)②
   文献 (83)
   1・3 微粒子分散系 [①古澤邦夫 ②堤 和男・松本明彦 ③金子克美 ④上野晃史] 85
   超微粒子の作成 (85)①
   多孔性材料 (99)②
   粒径,孔度と比表面積 (117)③
   不均一系触媒の調製 (126)④
   文献 (139)
2 分子集合体試料の作成と状態分析 145
   2・1 有機薄膜 [①中原弘雄 ②川端康治郎・松本睦良 ③小山 昇] 145
   単分子膜 (145)①
   累積膜 (157)①
   有機薄膜の機能化 (175)②
   電解有機薄膜 (189)③
   文献 (195)
   2・2 分子組織体分散系 [①妹尾 学・篠塚則子 ②師井義清 ③国枝博信 ④児玉美智子 ⑤今栄東洋子 ⑥加藤 直・清宮 懋 ⑦山崎 巖] 200
   分子分散系の状態図 (200)①
   ミセル (208)②
   ミクロエマルション (217)③
   ゲル状態 (229)④
   分子組織体の構造解析(光散乱法⑤,核磁気共鳴吸収⑥,時間分解蛍光分光法⑦) (241)
   文献 (264)
3 固体表面の観察と構造解析 269
   3・1 電子顕微鏡による形態と構造の観察 [①八木克道 ②櫻井利夫・橋詰富博] 269
   透過型電子顕微鏡 (269)①
   走査型電子顕微鏡 (286)①
   走査型トンネル顕微鏡 (293)②
   FEMとFIM (304)②
   文献 (321)
   3・2 電子回折とX線吸収微細構造による構造解析 [①有賀哲也 ②大門 寛 ③二瓶好正 ④朝倉清高] 325
   低速電子回折 (325)①
   反射高速電子回折 (336)①
   光電子回折 (347)③
   広域X線吸収微細構造 (368)④
   表面EXAFS (385)④
   文献 (393)
4 表面状態分析 397
   4・1 表面の元素分析・状態分析 [①石谷 炯 ②原田義也・増田 茂 ③圦本尚義 ④黒崎和夫] 397
   Auger電子分光法 (397)①
   X線光電子分光法 (411)①
   Penningイオン化電子分光法 (432)②
   二次イオン質量分析 (439)③
   高速イオンを利用する表面分析 (451)④
   文献 (473)
   4・2 表面の振動分光 [①濱口宏夫 ②吉信 淳・西嶋光昭 ③堂免一成] 476
   赤外分光法 (476)①
   Raman分光法 (482)①
   高分解能電子エネルギー損失分光法 (490)②
   その他の振動分光法 (503)③
   文献 (511)
5 固体表面の反応性,物性の研究手法 515
   5・1 吸着量 [江川千桂司] 515
   気体分子(原子)の露出量 (515)
   低速電子回折 (516)
   昇温脱離法 (518)
   圧力変化による吸着量測定 (520)
   仕事関数 (520)
   Auger電子分光法 (521)
   光電子分光法 (523)
   参考文献 (523)
   文献 (523)
   5・2 昇温脱離法 [松島龍夫] 524
   真空装置の排気速度 (524)
   結晶の保持と加熱 (525)
   脱離分子の検出 (526)
   スペクトルの解析 (528)
   文献 (531)
   5・3 表面反応の研究方法 [岩澤康裕・中村潤児] 531
   表面反応の素過程の測定 (532)
   表面反応の速度論的解析 (535)
   触媒反応の研究 (538)
   分子線を用いた研究 (544)
   文献 (546)
   5・4 固体表面の光化学過程(1) [大西 洋] 547
   はじめに (547)
   真空槽と試料調製 (548)
   光源 (549)
   応答の検出 (552)
   文献 (557)
   5・5 固体表面の光化学過程(2) [安保正一] 557
   半導体表面での光触媒反応 (557)
   不活性(絶緑体)固体表面での光化学反応 (564)
   文献 (566)
   5・6 表面電位と仕事関数 [有賀哲也] 567
   表面電位と仕事関数とは (567)
   仕事関数の測定法 (570)
   文献 (575)
付録 [黒田晴雄] 577
   付録1:内殻準位の結合エネルギー (578)
   付録2:元素の主なAuger電子ピークのエネルギー (582)
索引 585
欧文索引 593
1 固体試料の作成と取り扱い 1
   1・1 単結晶表面試料の作成 [栃原 浩・山田太郎] 1
   はじめに 清浄表面とは (1)
6.

図書

東工大
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図書
東工大
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廣田榮治編
出版情報: 東京 : 学会出版センター, 1998.2  x, 267p ; 27cm
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   まえがき 廣田榮治 i
   執筆者一覧 iv
第1章 フリーラジカルの生成と構造
   1.1 はじめに 籏野嘉彦 3
   1.2 フリーラジカルの生成 高励起分子の解離ダイナミックス 4
   1.2.1 フリーラジカルを生成する諸過程について 籏野嘉彦 4
   1.2.2 放射光励起による高励起分子の解離ダイナミックスに関する研究 籏野嘉彦 5
   a) 光と原子・分子との相互作用 光学的振動子強度とその意味 5
   b) 原子・分子のイオン化・励起 超励起状態の生成と緩和 6
   c) 超励起分子の解離ダイナミックス 7
   1.2.3 電子・分子衝突による分子の解離 籏野嘉彦 9
   a) しきい電子衝撃分光 9
   b) 電子エネルギー損失分光 10
   文献 11
   1.2.4 レーザー光励起によるラジカルの生成と検出 本間健二 11
   a) 可視・紫外レーザーによるラジカルの検出 11
   b) 光解離により生成するラジカルの検出 15
   c) 反応により生成するラジカルの検出と反応ダイナミックス 18
   文献 23
   1.2.5 レーザー多重共鳴分光法を利用した電子高励起状態の構造と解離の研究 江幡孝之 23
   a) COの電子状態 23
   b) 高Rydberg状態の回転構造 25
   c) 前期解離 26
   d) 多重共鳴分光法 27
   e) Rydberg状態の回転構造の解析 30
   f) Rydberg状態の前期解離 30
   g) これからの展望 34
   文献 34
   1.3 フリーラジカルのエネルギー準位と高分解能分光 遠藤泰樹 35
   1.3.1 フリーラジカルの振動・回転エネルギー準位の特徴 35
   a) フリーラジカルの電子状態 35
   b) 微細相互作用を含む回転のHamiltonian 36
   c) 微細相互作用を含む回転エネルギー準位 37
   d) 分子振動との相互作用 39
   e) 微細相互作用定数の解釈 40
   f) 超微細相互作用 41
   1.3.2 フリーラジカルの高分解能分光の実際 41
   a) Fourier変換マイクロ波分光法とレーザー励起蛍光法 41
   b) 炭素鎖フリーラジカルのマイクロ波分光 43
   c) 炭素鎖フリーラジカルのレーザー分光 46
   d) ラジカル錯体およびイオン錯体の純回転スペクトル 50
   e) 遷移金属を含むフリーラジカル 51
   1.3.3 フリーラジカルと電波天文学 52
   文献 53
第2章 凝縮相におけるフリーラジカル
   2.1 はじめに 志田忠正 57
   文献 57
   2.2 マトリックス分離法によるフリーラジカルの研究 志田忠正・百瀬孝昌 57
   2.2.1 固体パラ水素マトリックスを用いた極低温化学反応 57
   a) フリーラジカル 57
   b) マトリックス分離法 58
   c) かご効果 59
   d) ヨウ化アルキルの光解離反応 これまでの研究 60
   e) 固体パラ水素マトリックス中のヨウ化メチルの光解離反応 61
   f) 固体パラ水素マトリックス中のヨウ化エチルの光解離反応 64
   g) まとめ 65
   2.2.2 固体パラ水素マトリックスを用いた高分解能分子分光 66
   a) 固体パラ水素の諸性質 66
   b) パラ水素マトリックス 67
   c) 実験方法 68
   d) 固体パラ水素中の捕捉分子の分光 71
   e) メタン 72
   f) まとめ 81
   文献 81
   2.3 固体表面におけるフリーラジカルの反応 松本吉泰 84
   2.3.1 表面反応の機構 85
   2.3.2 熱反応におけるホット原子 85
   a) ホット原子のエネルギー緩和 85
   b) ホット原子の引き起こす脱離 88
   2.3.3 光解離により生成されたホット原子の反応 90
   a) 酸素再結合反応 90
   b) メタン再結合反応 92
   c) CO酸化反応 94
   d) ホット酸素原子のエネルギー 94
   2.3.4 Eley-Rideal型反応 95
   a) H+Cl/Au(111) 96
   b) H+H/Cu(111) 97
   c) その他の例 99
   2.3.5 まとめ 99
   文献 99
第3章 大気の化学とフリーラジカル
   3.1 はじめに 鷲田伸明 103
   文献 105
   3.2 成層圏化学とフリーラジカル過程 山崎勝義 106
   3.2.1 成層圏化学と連鎖反応機構 106
   3.2.2 オゾン破壊連鎖過程の実証 108
   3.2.3 酸素原子[O(1Dおよび3P)]の生成過程 116
   3.2.4 CIOラジカルの高感度検出 119
   文献 120
   3.3 対流圏化学とフリーラジカル 鷲田伸明 121
   3.3.1 はじめに 121
   3.3.2 OHラジカル再生反応 ペルオキシラジカル(HO2,CH3O2)の検出とNOの反応 122
   3.3.3 大気中のOHラジカル濃度を支配する素反応 OH+CO反応の中間体HOCOラジカルの検出と反応 125
   3.3.4 置換メチルラジカルと酵素分子の反応 128
   3.3.5 6m3光化学チャンバーを用いた植物起源炭化水素の光酸化反応機構とグローバルCO放出量の見積り 130
   3.3.6 まとめ 134
   文献 134
   3.4 大気圏におけるラジカル計測 辻 和秀・渋谷一彦 135
   3.4.1 フリーラジカルの「その場」計測 135
   3.4.2 OHラジカルの「その場」計測 136
   3.4.3 赤外-紫外二重共鳴蛍光計測法(IR-UV LIF法) 137
   文献 138
   3.5 エアロゾル表面でのフリーラジカル過程 幸田清一郎 139
   3.5.1 はじめに 139
   3.5.2 エアロゾル表面の反応と物質移動 140
   a) エアロゾルへの取り込み係数 140
   b) 取り込み過程のモデルと取り込み係数 140
   3.5.3 取り込み係数の測定法 142
   3.5.4 SO2の取り込み係数とその意味 143
   3.5.5 OHラジカルの取り込み係数 145
   3.5.6 おわりに 145
   文献 145
   3.6 大気化学とフリーラジカル過程の今後 鷲田伸明 146
   文献 148
第4章 プラズマプロセスにおけるフリーラジカル
   4.1 はじめに 後藤俊夫 151
   文献 153
   4.2 フリーラジカルの計測技術 後藤俊夫 153
   4.2.1 計測法の概要 153
   4.2.2 レーザー吸収分光法 155
   a) 赤外半導体レーザー吸収分光法(IRLAS) 155
   b) イントラキャビティレーザー吸収分光法(ICLAS) 157
   c) リング色素レーザー吸収分光法(RLAS) 157
   4.2.3 レーザー誘起蛍光分光法 158
   a) レーザー誘起蛍光分光法(LIF) 158
   b) 変調レーザー誘起蛍光分光法(MLIF) 158
   c) 多光子励起レーザー誘起蛍光分光法(MPLIF) 159
   4.2.4 その他のレーザー分光法 159
   a) コヒーレント反Stokes-Raman分光法(CARS) 159
   b) レーザー共鳴イオン化分光法(RIS) 160
   c) レーザー光galvano分光法(LOGS) 160
   4.2.5 出現質量分析法(AMS) 160
   文献 161
   4.3 プラズマ中のフリーラジカルの特性と制御 後藤俊夫 162
   4.3.1 CFxラジカル 162
   a) プラズマ中のCFxラジカルの特性 162
   b) CFxラジカル制御およびエッチング特性との相関 163
   c) フリーラジカル注入によるエッチング反応制御 166
   d) AMSによるCFxラジカル特性解析 168
   4.3.2 SiHxラジカル 169
   a) プラズマ中のSiHxラジカル特性 169
   b) SiHxラジカルと微粒子形成 171
   4.3.3 CHxラジカル 173
   a) プラズマ中のCHxラジカル特性 173
   b) フリーラジカル注入による薄膜機能性制御 175
   4.3.4 その他のフリーラジカル 176
   文献 177
   4.4 フリーラジカルの表面反応 橘 邦英 178
   4.4.1 気相からのラジカル輸送と表面反応 178
   4.4.2 表面のインプロセス計測法 180
   4.4.3 プラズマプロセスにおける表面反応 181
   a) プラズマCVD 182
   b) プラズマエッチング 183
   文献 185
   4.5 プラズマプロセスのモデリング 真壁利明 186
   4.5.1 システム支配方程式 187
   4.5.2 負イオンの存在とRFプラズマ構造 188
   4.5.3 酸素-HFプラズマとシナジズム 191
   4.5.4 負イオン密度とエネルギーの制御 192
   文献 193
第5章 半導体物質表面の原子レベル観測とフリーラジカルによる構造制御プロセス
   5.1 はじめに 清水 勇 197
   5.2 固液界面のSTM 指方研二,板谷謹悟 197
   5.2.1 固液界面 197
   5.2.2 STMの基本原理 199
   5.2.3 電気化学STM装置 200
   5.3 シリコン表面 指方研二,板谷謹悟 202
   5.3.1 半導体/溶液界面 202
   5.3.2 Si(111)表面 203
   5.3.3 Si(110)表面 208
   5.3.4 Si(100)表面 211
   5.3.5 反応機構 213
   文献 214
   5.4 水素原子によるシリコン網目構造の緩和促進 化学アニーリング効果 清水 勇 214
   5.4.1 はじめに 214
   5.4.2 水素原子による「化学アニーリング効果」 216
   5.4.3 「化学アニーリング法」で作製したa-Si:H膜の性質 221
   5.5 分光エリプソメトリーによるシリコン構造形成プロセスの「その場観測」と水素原子による制御 清水 勇 223
   5.5.1 分光エリプソメトリーによる「その場観測」とシミュレーション 223
   a) 分光エリプソメトリーの測定装置 224
   b) 測定結果の解析 225
   5.5.2 低温エピタキシャル成長過程の観測 227
   5.5.3 ガラス基板上でのシリコン構造形成初期過程の観測 229
   5.5.4 水素原子によるシリコン構造緩和の促進(Layer-by-Layer:LBL法) 231
   5.5.5 多結晶シリコン膜のエピタキシャル成長 233
   5.5.6 多結晶シリコン薄膜デバイス作製 234
   文献 236
   <付録> フリーラジカル,分子イオンのマイクロ波,赤外スペクトル 廣田榮治 237
   表1 原子 238
   表2 水素原子を含む2原子分子 239
   表3 水素原子を含まない2原子分子 242
   表4 直線形多原子分子 247
   表5 対称コマ分子 252
   表6 非対称コマ分子 254
   表7 原子分子イオン 259
   索引 265
   まえがき 廣田榮治 i
   執筆者一覧 iv
第1章 フリーラジカルの生成と構造
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