| 1. マイクロ工学の基礎 1 |
| 1.1 オプティクスの新しい展開 （大木裕史） 1 |
| 1.1.1 結像型光学系における結像と超解像 1 |
| 1.1.2 走査型光学系における結像と超解像 5 |
| 1.1.3 マイクロ光学系の新展開 9 |
| 1.2 導波光学の基礎 （西原浩） 12 |
| 1.2.1 平面導波路 12 |
| 1.2.2 チャンネル導波路 14 |
| 1.2.3 光ファイバ 15 |
| 1.2.4 結合導波路 18 |
| 1.2.5 周期構造をもつ導波路 19 |
| 1.3 マイクロキャビティ光デバイスの基礎 （横山弘之） 22 |
| 1.3.1 マイクロキャビティによる自然放出の増強と制御 22 |
| 1.3.2 マイクロキャビティのレーザ動作 27 |
| 1.3.3 マイクロキャビティの構造 29 |
| 1.3.4 超低しきい値動作半導体マイクロキャビティレーザ 30 |
| 1.4 光発生の基礎 （河口仁司） 31 |
| 1.4.1 光の性質 : コヒーレンス 31 |
| 1.4.2 発光ダイオード 33 |
| 1.4.3 半導体レーザ 35 |
| 1.4.4 波長可変固体レーザ 40 |
| 1.4.5 極紫外レーザ 41 |
| 1.4.6 X線レーザ 43 |
| 1.5 光検出の基礎 （神戸宏） 45 |
| 1.5.1 光検出素子の種類 45 |
| 1.5.2 半導体光検出素子 47 |
| 1.5.3 光電管・光電子増倍管 54 |
| 1.5.4 新しい光検出素子－小型化と集積化 55 |
| 1.6 光制御の基礎 57 |
| 1.6.1 変調・偏向 （井筒雅之） 57 |
| 1.6.2 非線形光学材料 （皆方誠）64 |
| 2. マイクロマシニング 73 |
| 2.1 マイクロ材料学 （荒井賢一・本田崇） 73 |
| 2.1.1 圧電材料 74 |
| 2.1.2 磁歪材料 76 |
| 2.1.3 形状記億合金 78 |
| 2.1.4 熱膨張材料 79 |
| 2.1.5 その他の材料 81 |
| 2.2 シリコンのマイクロ加工 （佐藤一雄） 82 |
| 2.2.1 基本的な加工技術 82 |
| 2.2.2 バルクマイクロマシニング 83 |
| 2.2.3 表面マイクロマシニング 86 |
| 2.2.4 エッチング形状の型取り 87 |
| 2.2.5 エッチングした基板の拡散接合 88 |
| 2.3 光材料のマイクロ加工 （澤田廉士） 90 |
| 2.4 LIGAプロセスなどによる高アスペクト比の加工 （鈴木健一郎） 96 |
| 2.4.1 ウェットエッチングによるシリコンの加工 96 |
| 2.4.2 ドライエッチングによる加工 97 |
| 2.4.3 LIGAプロセスによる加工 98 |
| 2.4.4 X線を用いないLIGAプロセス 105 |
| 2.5 レーザなどを利用した3次元加工 （南和幸） 106 |
| 2.5.1 レーザなどを利用した3次元加工の特徴と分類 106 |
| 2.5.2 除去加工 108 |
| 2.5.3 付着加工 114 |
| 2.6 マイクロアセンブリ （江刺正喜） 119 |
| 2.6.1 一括組立 120 |
| 2.6.2 逐次組立 122 |
| 2.6.3 陽極接合にかかわる要素技術 123 |
| 3. マイクロオプテイカルセンサ 129 |
| 3.1 光応用センシング （服部肇） 129 |
| 3.1.1 光応用センシング技術の特徴 129 |
| 3.1.2 要素技術 131 |
| 3.1.3 レーザ利用センシング技術 132 |
| 3.2 固体光センサ 137 |
| 3.2.1 カラーセンサ （加藤久雄） 137 |
| 3.2.2 赤外線イメージャ （田畑修） 145 |
| 3.3 光集積回路センサ （大河正志・井筒雅之） 153 |
| 3.3.1 光導波路材料 153 |
| 3.3.2 導波型光学エレメントおよび光学素子 154 |
| 3.3.3 光集積回路センサの分類 156 |
| 3.3.4 光集積回路センサの試作例 157 |
| 3.4 光ファイバセンサ （服部肇） 162 |
| 3.4.1 光ファイバセンサの特徴と構成 163 |
| 3.4.2 各種光ファイバセンサ 165 |
| 3.4.3 光ファイバセンサの応用分野 171 |
| 3.5 新しい展開 （羽根一博） 172 |
| 3.5.1 マイクロ光学ベンチ 172 |
| 3.5.2 光熱現象の振動型センサヘの応用 173 |
| 4. マイクロメカニカルセンサ 181 |
| 4.1 シリコンの物性 （五十嵐伊勢美） 181 |
| 4.1.1 ピエゾ抵抗効果の物理的基礎 182 |
| 4.1.2 シリコンセンサの感度 188 |
| 4.2 集積化圧力センサ （杉山進） 192 |
| 4.2.1 ピエゾ抵抗型 192 |
| 4.2.2 容量型 202 |
| 4.3 加速度センサ （庄子習一） 206 |
| 4.3.1 加速度センサの原理 206 |
| 4.3.2 マイクロ加速度センサの種類 207 |
| 4.3.3 力フィードバックによるサーボ機構 212 |
| 4.3.4 パツケージング 212 |
| 4.3.5 シリコン加速度センサの実際例 212 |
| 4.4 トルクセンサ （野々村裕） 217 |
| 4.4.1 トルクの力学 218 |
| 4.4.2 トルクの検出原理 220 |
| 4.5 触覚センサ（大岡昌博） 225 |
| 4.5.1 触覚センサの定義 226 |
| 4.5.2 ヒトの触覚情報処理機構 226 |
| 4.5.3 触覚センサの仕様 227 |
| 4.5.4 触覚センサのハードウェア 227 |
| 4.5.5 触覚センサのソフトウェア 232 |
| 4.6 振動型センサ 237 |
| 4.6.1 小型ジャイロ （前中一介） 237 |
| 4.6.2 振動式圧力センサ （池田恭一） 245 |
| 5. マイクロアクチュエータ 253 |
| 5.1 静電アクチュエー夕 （藤田博之） 253 |
| 5.1.1 静電マイクロアクチュエータの特徴 253 |
| 5.1.2 各種の静電アクチュエータとモータ 255 |
| 5.1.3 各種の静電アクチュエータの利点と問題点 260 |
| 5.1.4 静電アクチュエータの応用 263 |
| 5.2 電磁アクチュェータ （桑野博喜） 268 |
| 5.2.1 マイクロ電磁アクチュエータ研究開発の背景 268 |
| 5.2.2 電磁アクチュエータの主な研突開発例 270 |
| 5.3 圧電アクチュエータ （黒澤実） 280 |
| 5.3.1 積層型アクチュエータ 280 |
| 5.3.2 バイモルフ素子/ユニモルフ素子 282 |
| 5.3.3 超音波モータ 283 |
| 5.3.4 流体駆動デバイス 288 |
| 5.4 熱型アクチュエータ （藤田博之） 291 |
| 5.4.1 熱バイモルフアクチュエータ 291 |
| 5.4.2 形状記憶合金アクチュエータ 294 |
| 5.4.3 熱膨張アクチュエータ 296 |
| 5.5 光歪アクチュエー夕 （内野研二） 297 |
| 5.5.1 光歪効果と測定方法 298 |
| 5.5.2 PLZTの光歪特性 299 |
| 5.5.3 光歪素子のデザインと駆動方法 305 |
| 5.5.4 光歪アクチュエータ 307 |
| 5.6 レーザマニピュレーション （三澤弘明） 310 |
| 5.6.1 微粒子に働く放射圧 311 |
| 5.6.2 レーザ走査型マニピュレーション 312 |
| 5.6.3 レーザマニピュレーション法を用いた単一微粒子の加工 315 |
| 5.6.4 レーザ走査型マニピュレーション法を利用した微小構造物の組立 317 |
| 6. マイクロオプテイクス 321 |
| 6.1 光ファイバとその部品 （山内良三） 321 |
| 6.1.1 光ファイバ 321 |
| 6.1.2 光ファイバケーブル 328 |
| 6.1.3 特殊光ファイバ 329 |
| 6.1.4 光ファイバ型部品 331 |
| 6.1.5 光ファイバの接続技術 332 |
| 6.2 光コンポーネント （浜中賢二郎） 335 |
| 6.2.1 マイクロレンズ 335 |
| 6.2.2 回折光学素子 340 |
| 6.2.3 光導波路デバイス 341 |
| 6.2.4 光集積化技術 342 |
| 6.2.5 その他の光コンポーネント 343 |
| 6.3 光IC型素子 （裏升吾・西原浩） 345 |
| 6.3.1 光路変換素子 345 |
| 6.3.2 集光素子 348 |
| 6.3.3 分岐/スイッチング素子 351 |
| 6.3.4 波長分波素子 354 |
| 6.3.5 偏光制御素子 355 |
| 6.3.6 アイソレータ 356 |
| 6.4 赤外線・サブミリ波素子 （綱脇恵章・山中正宣） 359 |
| 6.4.1 光学材料 359 |
| 6.4.2 光学素子 363 |
| 7. マイクロオプトメカトロニクス融合技術とその応用 381 |
| 7.1 メカトロニクスを基盤とした技術融合の進展 （板生清） 381 |
| 7.1.1 メカトロニクス技術の潮流 381 |
| 7.1.2 ミニチュアリゼーション技術 385 |
| 7.1.3 マイクロシステムの展開 388 |
| 7.2 情報分野への応用 395 |
| 7.2.1 光スキャナ （後藤博史） 395 |
| 7.2.2 ディジタル・マイクロミラー・デバイス（DMD） （新地修） 402 |
| 7.2.3 可変焦点ミラー （服部正） 409 |
| 7.2.4 マイクロ光へッド （片桐祥雅・板生清） 415 |
| 7.2.5 真空マイクロ応用デバイス （伊藤順司） 425 |
| 7.3 通信分野への応用 431 |
| 7.3.1 光スイッチ （長岡新二） 431 |
| 7.3.2 光コネクタとその加工法 （大平文和） 438 |
| 7.3.3 受動光部品アセンブリング （内田直也） 447 |
| 7.4 計測分野への応用 453 |
| 7.4.1 マイクロプローブ （佐々木実・羽根一博） 453 |
| 7.4.2 光へテロダイン干渉によるマスク位置合せ （鈴木雅則・石原直） 458 |
| 7.4.3 光エンコーダ,分光器 （澤田廉士） 463 |
| 7.5 分析分野への応用 470 |
| 7.5.1 集積化化学分析システム （三宅亮） 470 |
| 7.5.2 SOR光による材料分析 （尾嶋正治） 475 |
| 7.6 医療分野への応用 481 |
| 7.6.1 内視鏡 （内海厚） 481 |
| 7.6.2 医療機器 （矢田恒二） 487 |
| 索引 495 |
| 1. マイクロ工学の基礎 1 |
| 1.1 オプティクスの新しい展開 （大木裕史） 1 |
| 1.1.1 結像型光学系における結像と超解像 1 |
図書
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