close
1.

図書

図書
飯島徹穂, 村田信義著
出版情報: 東京 : 日刊工業新聞社, 2001.7  iv, 174p ; 21cm
所蔵情報: loading…
2.

図書

図書
田畑三郎, 黄燕清編著
出版情報: 東京 : 日刊工業新聞社, 1987.12  x, 278, vp ; 22cm
所蔵情報: loading…
3.

図書

東工大
目次DB

図書
東工大
目次DB
辻泰, 齊藤芳男著
出版情報: 東京 : アグネ技術センター, 2008.4  vi, 177p ; 21cm
所蔵情報: loading…
目次情報: 続きを見る
まえがき i
1 真空技術発展の軌跡 1
   1.1 はじめに 1
   1.1.1 哲学から自然科学へ 1
   1.1.2 経験から実験へ 2
   1.1.3 気体の状態方程式 2
   1.1.4 分子の運動と電子・原子の発見 4
   1.2 真空技術の発展 5
   1.2.1 真空技術のはじまり 5
   1.2.2 原子物理学とともに 5
   1.2.3 電子管に至る封止系の発展 9
   1.2.4 表面物理の始まり 10
   1.3 排気系の大形化 11
   1.3.1 近代的真空ポンプと真空計の開発 11
   1.3.2 油拡散ポンプと加速器の登場 14
   1.4 超高真空から極高真空へ 16
   1.4.1 超高真空の確認 16
   1.4.2 真空の質の認識 17
   1.4.3 極高真空系の開発 20
   コラム テプラー・ポンプの使い方 25
2 クヌーセンとスモルコフスキー-分子流領域における長い導管のコンダクタンス- 31
   2.1 はじめに 31
   2.2 クヌーセンの方法 32
   2.3 スモルコフスキーの方法 34
   2.4 おわりに 37
   Appendix 任意な形状を持つ導管での流量と内部の圧力分布 39
3 1919年の真空計の論文を読む 41
   3.1 世界への窓の再開 41
   3.2 電離真空計 42
   3.3 ピラニ真空計 44
4 ブリアース効果を知っていますか? 48
   4.1 油拡散ポンプの誕生 48
   4.2 ブリアース効果 49
   4.3 拡散ポンプ油分子 53
5 真空装置の中の水に気付いたのは誰か? 57
   5.1 テプラー・ポンプの頃 57
   5.2 質量分析計の応用 62
6 電離真空計の発振現象の検討 70
   6.1 超高真空の幕開け 70
   6.2 イオン電流の異常と発振現象 73
7 バルクハウゼン-クルツ発振管見学記-電離真空計の発振現象解明のルーツ 78
   7.1 はじめに 78
   7.2 1941年のイースターエツグフ 78
   7.3 1917年の真空管技術 80
   7.4 バルクハウゼン-クルツ発振 82
   7.5 おわりに 84
8 電離真空計の残留電流と逆X線効果 85
   8.1 電離真空計の残留電流 85
   8.2 軟X線効果とその対策 85
   8.3 変調電極付きB-A真空計に関する思い出 89
   8.4 逆X線効果 91
9 真空ポンプの排気速度測定とテスト・ドーム 95
   9.1 排気速度測定へのテスト・ドームの導入 95
   9.2 現在の規格 99
   9.3 デイトン博士と日本真空協会 100
10 昇温脱離法スタートの頃 104
   10.1 昇温脱離法開発の背景 104
   10.2 フラッシュ・フィラメント法 106
   10.3 昇温脱離法 107
11 ピラニ真空計を高真空で使う 112
   11.1ピラニ真空計による圧力測定 112
   11.2 熱的適応係数について 117
12 ガラス細工の周辺 120
   12.1 はじめに 120
   12.2 ガラス細工との出合い 122
   12.3 軟質ガラスで手ほどきを受ける 123
   12.4 硬質ガラスに移る 124
   12.5 グリースレス・コック 126
   12.6 生産技術研究所に戻って 129
   12.7 水銀の問題その他 132
13 真空の教科書-私の1950年代 124
   13.1 1950年代の状況 134
   13.2 気体分子運動論 135
   13.3 真空技術 137
   13.4 真空用材料 140
   13.5 1960年代以降についての補足 142
14 CERNとジュネーブの気圧計 145
   14.1 CERNの加速器 145
   14.2 17・18世紀の水銀柱気圧計 148
コラム 「アンペールの家」見学記 155
付表1 年表(真空に関連する科学・技術・産業の主なできごと) 163
付表2 圧力単位換算表 167
初出一覧 168
人名索引 169
事項索引 171
まえがき i
1 真空技術発展の軌跡 1
   1.1 はじめに 1
4.

図書

図書
日本真空工業会編
出版情報: 東京 : 工業調査会, 1999.7  274p ; 21cm
所蔵情報: loading…
5.

図書

図書
T.A.Delchar著 ; 石川和雄訳
出版情報: 東京 : 丸善, 1995.9  xi, 265p ; 21cm
所蔵情報: loading…
6.

図書

図書
飯島徹穂著
出版情報: 東京 : 秀和システム, 2009.6  215p ; 21cm
シリーズ名: How-nual図解入門
所蔵情報: loading…
7.

図書

図書
飯島徹穂著
出版情報: 東京 : 日刊工業新聞社, 2016.4  221p ; 21cm
シリーズ名: Mechatronics series
所蔵情報: loading…
目次情報: 続きを見る
第1章 : 真空技術へのファーストステップ
第2章 : 真空技術を活用するために知っておきたい基礎知識
第3章 : 真空環境をつくるための基本的な考え方
第4章 : 真空状態を生成するためのポンプ
第5章 : 真空状態を評価するための真空計
第6章 : 真空排気システムの実際
第1章 : 真空技術へのファーストステップ
第2章 : 真空技術を活用するために知っておきたい基礎知識
第3章 : 真空環境をつくるための基本的な考え方
8.

図書

図書
関口敦著
出版情報: 東京 : 日刊工業新聞社, 2019.9  159p ; 21cm
シリーズ名: B&Tブックス ; . 今日からモノ知りシリーズ||キョウ カラ モノシリ シリーズ
所蔵情報: loading…
目次情報: 続きを見る
第1章 : 真空っていったいどういうこと?
第2章 : 真空の分類とその特徴
第3章 : 家庭の中にある真空
第4章 : 真空は産業の宝箱
第5章 : “真空”はどうやって作るのか
第6章 : “真空”は何でどうやって測る?
第7章 : これからの真空技術
第1章 : 真空っていったいどういうこと?
第2章 : 真空の分類とその特徴
第3章 : 家庭の中にある真空
概要: 真空状態だと何が起こる?超高真空ってどんなこと、真空ポンプってどんなもの、真空を測る真空計って?知りたいことがよくわかる。
9.

図書

図書
堀越源一著
出版情報: 東京 : 東京大学出版会, 1994.9  x, 246p ; 21cm
シリーズ名: 物理工学実験 ; 4
所蔵情報: loading…
10.

図書

東工大
目次DB

図書
東工大
目次DB
小宮宗治著
出版情報: 東京 : オーム社, 2002.1  xi, 160p ; 21cm
所蔵情報: loading…
目次情報: 続きを見る
1章 真空とは 1
   1.1 真空のはたらき 1
   1. 真空とはどういうものか 1
   2. なぜ真空が必要か 2
   1.2 真空技術の基礎(気体分子の運動) 5
   1. 真空の定義と圧力の単位 5
   2. 気体分子の密度と圧力 6
   3. 気体分子の衝突と平均自由行程 9
   4. 真空容器の寸法と平均自由行程 11
   5. 壁にぶつかる気体分子の数と圧力 12
   1.3 気体の通り抜けやすさ:コンダクタンス 14
   1. コンダクタンスの定義 14
   2. 長い円管のコンダクタンス 15
   3. オリフィスのコンダクタンス(分子流) 16
   4. 短い円管のコンダクタンス(分子流) 17
   5. 曲がり管のコンダクタンス 18
   6. 直列と並列のコンダクタンスとモンテカルロ法による計算 19
   参考文献 20
2章 真空中で起こる物理現象 21
   2.1 真空中の蒸発・昇華 21
   1. 水の蒸発・氷の昇華 21
   2. 金属の蒸発・真空蒸着 24
   3. 高分子油の蒸発・真空蒸留 28
   2.2 真空と熱 28
   1. 対流と分子熱伝導 28
   2. 真空中の熱ふく射 31
   3. 真空と低温 33
   2.3 吸着と脱離 34
   1. 壁面での凝縮と物理吸着 35
   2. 滞留時間 38
   2.4 真空中の放電現象 41
   1. 電 子 42
   2. イオンと高速中性粒子 45
   3. プラズマと真空 49
   4. スパッタリング 51
   参考文献 54
3章 真空をつくる 55
   3.1 大気圧から排気するあらびきポンプ 55
   1. 油回転ポンプ 55
   2. あらびきポンプの排気時間 58
   3.2 あらびきポンプを増強するポンプ 59
   3.3 油拡散ポンプ 61
   1. 理想排気速度とHoの係数 61
   2. 排気の機構の原理 62
   3. 実用の油拡散ポンプ 63
   4. 油拡散ポンプのブレークダウン 64
   5. 油拡散ポンプの排気速度曲線(S-Pカーブ) 65
   3.4 ターボ分子ポンプ 67
   1. 排気機構の原理 67
   2. 排気速度 70
   3. ターボ分子ポンプの圧縮比 70
   3.5 排気系の組合せ 71
   1. 総合排気特性 71
   2. ダイナミックな高真空排気系 74
   参考文献 76
4章 真空をはかる 77
   4.1 大気圧から低真空領域をはかる真空計 77
   1. 水銀マノメータ 77
   2. 機械式圧力計 78
   3. マクラウド真空計 78
   4.2 低真空領域の実用真空計 80
   1. 微小変異を電気的信号に変換するようにして測定下限を広げたダイヤフラム真空計 80
   2. 分子熱伝導を利用した真空計 80
   3. スピニングロータ真空計 82
   4.3 電離真空計 82
   1. 三極管型熱陰極電離真空計 82
   2. ペニング真空計 85
   4.4 真空計の取付け方 87
   参考文献 88
5章 真空系の構成部品 89
   5.1 フランジとガスケット 89
   1. 高真空フランジ 89
   2. エラストマーガスケット 91
   3. メタルガスケットフランジ 92
   5.2 真空バルブ 94
   1. 高真空用L型バルブ 94
   2. 高真空用ゲートバルブ 94
   3. 超高真空用バイトンシールバルブ 94
   4. 超高真空用全金属製ベーカブルバルブ 99
   5.3 真空端子 100
   1. エラストマーシール電流導入端子 101
   2. メタルガスケットシール電流導入端子 102
   3. エラストマーシール液体導入端子 102
   4. 超高真空用液体導入端子と接手 103
   5. エラストマー軸シール回転導入端子 104
   6. 超高真空用回転導入端子 105
   7. 超高真空用直線導入端子 105
   参考文献 105
6章 漏れ探しの技術 107
   6.1 漏れかガス放出かの見分け方 107
   6.2 漏れやすい部分 109
   6.3 確実な漏れ探し 110
   1. 袋掛けする方法(hood method) 110
   2. プローブ法(probe method) 111
   6.4 ヘリウムリークディテクター 112
   1. ヘリウムリークディテクターと標準リーク 113
   2. 漏れ検出の時定数 113
   3. 漏れが発見できたら 114
   6.5 質量分析計による真空の質のモニタリング 115
   参考文献 117
7章 超高真空と清浄な真空 119
   7.1 高真空と超高真空の質的な違い 119
   7.2 超高真空をつくる 121
   1. スパッタイオンポンプとチタンゲッタポンプ 121
   2. 機械式クライオポンプ 125
   7.3 超高真空をはかる 127
   1. 三極管型電離真空計の軟X線下限 127
   2. 逆転の発想B-Aゲージ 128
   7.4 放出ガス特性 131
   1. ステンレス鋼の放出ガス特性 131
   2. ベークアウトとエラストマー 133
   3. セラミックス 134
   4. ベークアウトと放出ガス量の低減のモデル 135
   7.5 超高真空系での特殊な構成部品 136
   1. のぞき窓 136
   2. 超高真空系での潤滑 136
   7.6 清浄な真空とはなにか 137
   参考文献 138
8章 真空工業のひろがり 139
   8.1 真空技術の木 139
   8.2 先端的な成膜加工装置の一例 142
   参考文献 143
付録Ⅰ マクスウェルの分布則 145
   1. 圧 力 145
   2. 速度分布 146
   3. 音速との関係 147
付録Ⅱ 気体分子の平均自由行程 148
   1. 気体分子衝突間の平均自由行程 148
   2. 平均自由行程と分子直径との関係 149
   3. √2の真の意味 149
付録Ⅲ 壁にぶつかる気体分子の数 150
   参考文献 151
おわりに 153
   1. 専門著者 153
   2. 定期刊行雑誌 154
   3. 真空国際会議 154
   4. 日本の真空技術関連団体 154
索 引 157
1章 真空とは 1
   1.1 真空のはたらき 1
   1. 真空とはどういうものか 1
文献の複写および貸借の依頼を行う
 文献複写・貸借依頼