| 注 : I[G]/I[D]の[G]、[D]は下つき文字 |
| 注 : C[+]の[+]は上つき文字 |
| 注 : sp[3]の[3]は上つき文字 |
| |
| 第１章 序論 |
| 1 DLCとは？ DLC標準化の試み 斎藤秀俊 1 |
| 1.1 DLC膜の広がり 1 |
| 1.2 DLC膜分類の歴史 2 |
| 1.3 これからのDLC膜の分類 3 |
| 1.4 DLC膜評価プロジェクト 4 |
| 1.5 リサーチクラスター事業の成果 6 |
| 2 プロセストライボロジーにおけるDLCの位置づけ 片岡征二 10 |
| 2.1 潤滑油に代わるDLC膜への期待 10 |
| 2.2 塑性加工工具へ適用するための必要条件 10 |
| 2.3 DLC膜の密着性向上への取組み状況 11 |
| 2.3.1 密着性評価試験法 11 |
| 2.3.2 トライボ試験による密着性評価試験結果 11 |
| 2.4 DLCコーテッドエ具のドライ絞り加工への適用 14 |
| 3 DLCのつくり方と評価手法の基礎 大竹尚登，黒田剛史，中川拓，大石竜輔，高島舞 19 |
| 3.1 はじめに 19 |
| 3.2 DLC合成の流れと必要な機材・材料 19 |
| 3.3 DLC成膜の条件 24 |
| 3.4 DLC膜の評価 24 |
| 第２章 機械的応用 |
| 1 DLCの機械的応用の概観 中東孝浩 29 |
| 1.1 はじめに 29 |
| 1.2 有害化学物質に関連する主な規制 29 |
| 1.3 DLCの用途とその機械的要求性能 32 |
| 1.4 DLCの摩擦・摩耗特性 32 |
| 1.5 無潤滑摺動を狙ったDLCコーティング 33 |
| 1.6 無潤滑切削を狙ったDLCコーティング 34 |
| 1.7 変形する高分子材料へのDLCコーティング 34 |
| 1.8 まとめ 36 |
| 2 DLCの応用についての最新動向 西口晃 37 |
| 2.1 金型への応用 37 |
| 2.2 切削工具への応用 38 |
| 2.3 機械部品への応用 38 |
| 2.4 自動車部品への応用 38 |
| 2.5 医療用部品への応用 39 |
| 2.6 太陽電池への応用 39 |
| 2.7 飲料容器への応用 39 |
| 2.8 装飾品への応用 40 |
| 2.9 まとめ 40 |
| 3 パルスDCプラズマCVD法によるDLC膜の合成とその応用 河田一喜 41 |
| 3.1 はじめに 41 |
| 3.2 量産型パルスDC-PCVD法で作成したDLC膜の特性 43 |
| 3.4 DLC膜の応用 48 |
| 3.5 おわりに 49 |
| 4 UBMS法によるDLCコーティングの各種応用例 赤理孝一郎 50 |
| 4.1 UBMS法の原理と特徴 50 |
| 4.2 UBMS法によるDLCコーティングの特徴 51 |
| 4.2.1 皮膜密着性 51 |
| 4.2.2 硬度制御性 52 |
| 4.2.3 組成制御性 53 |
| 4.3 UBMS法によるDLCコーティングの応用例 54 |
| 4.3.1 部品分野 54 |
| 4.3.2 金型・工具分野 55 |
| 5 ホローカソード放電を利用した穴内面へのDLCコーティングとその応用 寺山暢之 58 |
| 5.1 はじめに 58 |
| 5.2 装置開発の経緯 58 |
| 5.3 装置構成 60 |
| 5.4 内面DLCの皮膜特性 62 |
| 5.5 金型への適用 63 |
| 5.6 まとめ 65 |
| 6 直流プラズマCVD法によるDLC-Si膜のトライボ特性と低摩擦機構 森広行，中西和之，太刀川英男 67 |
| 6.1 はじめに 67 |
| 6.2 直流プラズマCVD法によるDLC-Si成膜技術 68 |
| 6.3 潤滑油中における低摩擦特性およびその機構 69 |
| 6.4 おわりに 74 |
| 7 プラズマブースター法によるDLC合成とその応用 熊谷泰 76 |
| 7.1 はじめに 76 |
| 7.2 成膜装置とプロセス 77 |
| 7.3 複合多層DLC（セルテスDLC）被膜の特性 79 |
| 7.3.1 複合多層構造 79 |
| 7.3.2 密着力 79 |
| 7.3.3 硬さとヤング率 81 |
| 7.3.4 摩擦係数と耐摩耗性 82 |
| 7.3.5 耐焼付性 83 |
| 7.3.6 耐熱性 84 |
| 7.3.7 電気的特性・光学的特性 87 |
| 7.4 おわりに 87 |
| 8 PBIID法によるDLC成膜と各種応用 鈴木泰雄 89 |
| 8.1 はじめに 89 |
| 8.2 プラズマイオン注入・成膜（PBIID）技術 89 |
| 8.2.1 PBIID技術 89 |
| 8.2.2 PBIID動作原理 90 |
| 8.2.3 PBIID装置 90 |
| 8.2.4 PBIID技術の特長 91 |
| 8.3 PBIID技術によるDLC成膜 92 |
| 8.3.1 PBIIDによるDLC成膜プロセス 92 |
| 8.3.2 PBIIDによるDLC膜の特性 93 |
| 8.3.3 DLC膜の特長 93 |
| 8.4 各種成膜加工法との比較 95 |
| 8.5 応用 95 |
| 8.5.1 自動車部品 95 |
| 8.5.2 金型部品 96 |
| 8.5.3 機械部品 96 |
| 8.6 技術課題 97 |
| 8.7 まとめ 98 |
| 9 DLC-Siコーティングの4WDカップリング用電磁クラッチへの応用 齊藤利幸，安藤淳二 99 |
| 9.1 はじめに 99 |
| 9.2 ITCCの作動原理と要求特性 101 |
| 9.3 電磁クラッチのトライボロジー特性 101 |
| 9.3.1 耐シャダー性評価試験 101 |
| 9.3.2 フルード潤滑下におけるμ-v特性 102 |
| 9.3.3 DLC-Siクラッチの摩耗特性 103 |
| 9.4 DLC-Siクラッチの大量処理技術 104 |
| 9.5 まとめ 105 |
| 10 ロータリーエンジンへのDLC薄膜合成の応用 中谷達行，岡本圭司 107 |
| 10.1 はじめに 107 |
| 10.2 ロータリーエンジンの摩耗問題 108 |
| 10.3 DLC膜の特性 108 |
| 10.4 DLC成膜条件 109 |
| 10.5 TOYO-DLCの耐熱性評価 110 |
| 10.5.1 耐熱特性 110 |
| 10.5.2 熱伝導率特性と耐熱特性との関係 111 |
| 10.6 TOYO-DLCの耐摩耗性評価 112 |
| 10.6.1 硬度 112 |
| 10.6.2 Si含有量と水素量の関係 113 |
| 10.6.3 Si含有量とI[G]/I[D]およびヤング率の関係 113 |
| 10.7 ロータリーエンジンへのDLC適応結果 115 |
| 10.8 おわりに 116 |
| 11 FCVA法によるDLC薄膜の作製と磁気ヘッドへのコーティング 稲葉宏 117 |
| 11.1 はじめに 117 |
| 11.2 FCVA装置 117 |
| 11.3 ta-C膜 118 |
| 11.4 C[+]イオンとta-C薄膜 118 |
| 11.4.1 C[+]イオンエネルギーとsp[3]結合比率 118 |
| 11.4.2 入射C[+]イオンの挙動 119 |
| 11.5 FCVA法における異物対策 120 |
| 11.5.1 中性異物対策 121 |
| 11.5.2 荷電性異物対策 121 |
| 11.5.3 リアルタイムバーティクルフィルタ 122 |
| 11.6 ta-C薄膜信頼性試験 123 |
| 11.6.1 耐摩耗性評価 123 |
| 11.6.2 耐燃焼性評価 123 |
| 11.6.3 耐腐食性評価 124 |
| 11.7 おわりに 125 |
| 12 切削工具における環境問題とドライ加工 安岡学 127 |
| 12.1 はじめに 127 |
| 12.2 ドライ加工用切削工具に適したDLC膜 128 |
| 12.3 各種被膜とアルミニウム合金の摺動特性 128 |
| 12.4 DLCコーティングドリルの切削事例 130 |
| 12.5 今後の切削工具用途の膜開発 133 |
| 第３章 電気的・光学的・化学的応用 |
| 1 屈折率変化a-C:H膜 松浦尚134 |
| 1.1 はじめに 134 |
| 1.2 回折光学素子 134 |
| 1.3 a-C:H膜の屈折率変化 135 |
| 1.4 屈折率変調型回折光学素子の設計 140 |
| 1.5 おわりに 141 |
| 2 アモルファス炭素系膜のLow-K膜としての特性 杉野隆，青木秀充，木村千春 142 |
| 2.1 はじめに 142 |
| 2.2 低誘電率膜への要求 143 |
| 2.3 各種カーボン系低誘電率材料 144 |
| 2.3.1 ダイヤモンドライクカーボン（DLC）膜 144 |
| 2.3.2 アモルファスカーボン 145 |
| 2.3.3 ナノダイヤモンド 145 |
| 2.3.4 CNx膜 145 |
| 2.3.5 BN，BCN膜 145 |
| 3 DLCコーティングのカテーテル，ステントヘの適用 長谷部光泉，鈴木哲也 152 |
| 3.1 はじめに 152 |
| 3.2 カテーテルおよびガイドワイヤー 152 |
| 3.3 ステント 155 |
| 3.4 おわりに 158 |
| 4 DLCのガスバリア性とその応用 大竹尚登，西英隆 160 |
| 4.1 PETボトルへのガスバリア機能付与技術 160 |
| 4.2 a-C:H膜の利用 161 |
| 4.3 PETフイルムへのアモルファス炭素膜の成膜 162 |
| 4.4 まとめ 166 |
| 第４章 次世代応用のためのＤＬＣ基盤技術 |
| 1 PBII法によるマイクロ部材へのDLCコーティング 馬場恒明 167 |
| 1.1 はじめに 167 |
| 1.2 細管内壁用PBII装置の構成 168 |
| 1.3 細管内壁へのイオン注入とDLC膜作製 168 |
| 1.4 おわりに 171 |
| 2 大気圧DLC成膜技術 齊藤隆雄 173 |
| 3 真空アーク蒸着（VAD）法による低ドロップレットDLC膜の合成と特性評価 平田敦 177 |
| 3.1 はじめに 177 |
| 3.2 低ドロップレットDLC膜の合成 177 |
| 3.2.1 磁場によるアークプラズマの輸送 178 |
| 3.2.2 磁場による陰極放電点の操舵 179 |
| 3.2.3 物理的・電気的シールドの設置 180 |
| 3.2.4 アーク放電生成条件の制御 180 |
| 3.3 真空アーク蒸着DLC膜の特性評価 180 |
| 4 Si－DLC膜の水中でのトライボロジー特性 大花継頼 184 |
| 4.1 はじめに 184 |
| 4.2 水中におけるSi-DLC膜のトライボロジー特性 185 |
| 4.3 DLC膜とSi-DLC膜の多層化膜 186 |
| 4.4 摩耗面の評価 187 |
| 4.5 まとめ 190 |
| 5 セグメント構造DLC膜の合成と機械部材への応用 大竹尚登，青木佑一，松尾誠，岩本喜直 192 |
| 5.1 はじめに 192 |
| 5.2 セグメント構造DLC膜の合成 192 |
| 5.3 セグメント構造DLC膜の評価 195 |
| 5.4 DLCの機能複合化 197 |
| 5.5 まとめ 199 |
| 6 DLC皮膜の機械的性質と原子構造 藤本真司 200 |
| 6.1 はじめに 200 |
| 6.2 DLC皮膜の機械的性質と原子構造 201 |
| 6.2.1 皮膜の作製 201 |
| 6.2.2 皮膜の構造 201 |
| 6.2.3 皮膜中の水素量 202 |
| 6.2.4 皮膜の硬度 202 |
| 6.2.5 皮膜の摺動特性 203 |
| 6.3 おわりに 205 |
| 7 DLCの耐摩耗性評価法の基礎 佐々木信也 207 |
| 7.1 はじめに 207 |
| 7.2 摩擦・摩耗メカニズムから見たDLCの特徴 207 |
| 7.2.1 摩擦のメカニズム 207 |
| 7.2.2 摩耗のメカニズム 208 |
| 7.3 摩耗評価方法 210 |
| 7.3.1 一般的な摩耗評価方法 210 |
| 7.3.2 摩耗特性評価試験で注意すべき点 211 |
| 7.3.3 耐摩耗性と密着性 212 |
| 7.4 おわりに 214 |
| 8 プロセス・トライボロジーとしてのDLC膜の適用可能性評価 北村憲彦 216 |
| 8.1 塑性加工プロセスにおけるトライボロジー条件 216 |
| 8.2 最近のDLCの適用例 217 |
| 8.3 鍛造加工へのDLC工具適用の可能性評価 218 |
| 8.4 ボール通し試験 219 |
| 8.5 まとめ 221 |
| 9 マイクロ成形加工用金型へのコーティングとその特性評価 楊明 223 |
| 9.1 はじめに 223 |
| 9.2 マイクロ金型へのコーティング 223 |
| 9.3 静押込み荷重試験によるマイクロ領域での密着性評価 225 |
| 9.4 マイクロトライボロジー特性評価 226 |
| 9.5 マイクロ金型に適した多層構造DLC膜 228 |
| 9.6 まとめ 229 |
| 10 DLCおよびその関連物質の水素脱吸着特性 斎藤秀俊 230 |
| 10.1 DLC膜のクラスターモデル 230 |
| 10.2 DLC膜からの水素離脱 231 |
| 10.3 DLC膜の吸蔵水素 232 |
| 10.3.1 吸蔵水素測定法 232 |
| 10.3.2 DLCおよび関連物質の水素吸蔵特性 232 |
| 11 DLC膜の生体適合性評価 大越康晴，平栗健二 236 |
| 11.1 はじめに 236 |
| 11.2 生体内留置試験によるDLC膜の病理組織学的評価 237 |
| 11.3 生体内留置試験によるDLC膜の安定性評価 239 |
| 11.4 まとめ 241 |
| 12 DLC合成用パルス電源 玉置賀宣 243 |
| 12.1 パルス電源の基礎と特徴 243 |
| 12.2 パルス電源の方式と特徴 245 |
| 12.3 DLC合成用パルス電源の現状 247 |
| 第５章 次世代応用のためのＤＬＣ先端技術 |
| 1 フイルタードアーク蒸着法によるDLC膜の合成と特性評価 滝川浩史 251 |
| 1.1 はじめに 251 |
| 1.2 フイルタードアーク蒸着法 252 |
| 1.3 T-FAD生成のDLC膜 256 |
| 1.4 おわりに 258 |
| 2 DLC系ナノコンポジット膜の合成とそのトライボロジー特性 渡部修一 260 |
| 2.1 はじめに 260 |
| 2.2 ナノ粒子分散構造膜 260 |
| 2.3 ナノ積層構造膜 261 |
| 2.4 DLC/硫化物系ナノコンポジット膜 262 |
| 2.5 まとめ 266 |
| 3 DLC薄膜の水素遮断性 八田章光 268 |
| 3.1 はじめに 268 |
| 3.2 水素遮断性評価試料の作製 268 |
| 3.3 透過法による水素遮断性の評価 270 |
| 3.4 水素透過量測定結果 272 |
| 3.5 拡散方程式による検討 274 |
| 3.6 まとめ 276 |
| 4 セグメント構造DLC膜の超音波モータの摩擦駆動面への応用 高崎正也 277 |
| 4.1 はじめに 277 |
| 4.2 弾性表面波リニアモータ 277 |
| 4.3 DLC膜の導入 280 |
| 4.4 駆動特性 280 |
| 4.5 おわりに 282 |
| 5 FIBによる自立体DLC膜の加工と応用 竹内貞雄 284 |
| 5.1 はじめに 284 |
| 5.2 内部応力を低減したDLC自立体の製作 284 |
| 5.3 DLC自立体の加工特性 287 |
| 5.4 FIBによるマイクロギヤの加工と組み立て 289 |
| 6 集束イオンビームによる立体ナノ構造形成技術とその応用 松井真二 293 |
| 6.1 はじめに 293 |
| 6.2 立体ナノ構造形成方法 294 |
| 6.3 ナノエレクトロメカニクスヘの応用 295 |
| 6.3.1 空中配線の作製と評価 295 |
| 6.3.2 静電ナノマニピュレータ 297 |
| 6.3.3 ナノスプリング 298 |
| 6.4 ナノオプティクス（自然生物の擬似ナノ構造作製とその光学的評価） 299 |
| 6.5 ナノバイオへの応用 301 |
| 6.6 まとめ 302 |
| 第６章 総括 |
| 1 DLCの未来 305 |
| 注 : I[G]/I[D]の[G]、[D]は下つき文字 |
| 注 : C[+]の[+]は上つき文字 |
| 注 : sp[3]の[3]は上つき文字 |
図書
