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1.

学位論文
学位
1. アーク放電プラズマジェットによるダイヤモンド気相合成に関する研究
大竹尚登
出版情報: 東京 : 東京工業大学, 1992
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2.

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東工大
目次DB
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東工大
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2. プラズマ・イオンビーム応用とナノテクノロジー
上條榮治監修
出版情報: 東京 : シーエムシー出版, 2002.3  316p ; 26cm
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総論 プラズマ・イオンビーム技術の新展開 上條榮治
   1 プラズマ・イオンビーム技術とナノテクロノジー 1
   2 ナノテクロノジーに関連した日本の動き 2
   3 ナノテクノロジーに関連した世界の動き 3
   4 本書の内容 4
   5 まとめ 5
基礎編
第1章 プラズマの物理化学 橘 邦英
   1 はじめに 9
   2 プラズマ中での反応過程 10
   3 反応場としてのプラズマ源 17
   4 プラズマ反応場の制御 28
第2章 イオンビームの物理化学 石川順三
   1 イオンの発生とイオン源 31
   1.1 イオン源プラズマを生成する方法 32
   1.2 表面効果法 33
   2 イオンビームの輸送 34
   2.1 ビーム輸送における各機能 34
   2.2 大電流イオンビームの発散抑制 35
   3 イオンビームと固体表面相互作用 36
   3.1 イオンビーム蒸着 38
   3.2 イオンビームエッチング 40
   3.3 イオン注入 41
第3章 プラズマ装置
   1 プラズマ溶射装置 45
   1.1 プラズマ溶射装置　佐々木光正 45
   1.1.1 はじめに 45
   1.1.2 プラズマ溶射装置の特徴 47
   1.1.3 プラズマ溶射装置の構成 49
   1.1.4 プラズマ溶射ガン 50
   1.1.5 プラズマ溶射制御装置 53
   1.1.6 プラズマ電源 53
   1.1.7 冷却水循環装置 53
   1.1.8 粉末供給装置 53
   1.1.9 種類 54
   1.1.10 応用 57
   1.1.11 まとめ 59
   1.2 電磁加速プラズマ溶射装置　北村順也、薄葉州 61
   1.2.1 はじめに 61
   1.2.2 原理 61
   1.2.3 B4C溶射実験 63
   1.2.4 考察および結論 65
   2 プラズマCVD装置　鈴木正康 67
   2.1 はじめに 67
   2.2 PCVDの産業利用 67
   2.3 PCVDの特徴 68
   2.4 PCVDによる薄膜 69
   2.5 PCVD装置の要素技術 69
   2.5.1 プラズマ励起方法 70
   2.5.2 ガス導入、流れ制御方法 74
   2.6 産業用PCVD装置 74
   2.6.1 太陽電池反射防止膜成膜装置 74
   2.6.2 ECR-CVDによるDLC膜 75
   2.7 その他のPCVD 78
   2.7.1 リモートプラズマCVD 78
   2.8 ガスの安全性 79
   3 スパッタリング装置　圷 繁 82
   3.1 はじめに 82
   3.2 光ディスク 82
   3.3 単層膜用スパッタリング装置 84
   3.4 スパッタ源 86
   3.5 装置の高速化 89
   3.6 さいごに 89
   4 電子サイクロトロン共鳴プラズマスパッタ装置　廣野 滋 90
   4.1 はじめに 90
   4.2 ECRプラズマスパッタ装置の原理と成膜装置 90
   4.2.1 ECRスパッタ法の成膜原理 90
   4.2.2 最近のECR成膜装置 92
   4.3 高品質薄膜の形成 93
   4.3.1 酸化膜 93
   4.3.2 窒化膜(絶縁膜) 97
   4.3.3 金属膜 97
   4.3.4 カーボン膜 98
   4.4 おわりに 100
   5 イオンプレーティング装置　安岡 学 101
   5.1 はじめに 101
   5.2 プラズマガンの特性とHCDイオンプレーティング装置 103
   5.3 HCDイオンプレーティング装置の特長と性能 105
   5.4 おわりに 106
   6 アークイオンプレーティング装置　玉垣 浩 108
   6.1 AIP法による皮膜形成の原理 108
   6.2 AIP装置とその発展 110
   6.2.1 AIP装置 110
   6.2.2 マクロパーティクル制御 110
   6.2.3 円筒ターゲット型AIP装置 112
   6.2.4 インライン型AIP装置 112
   6.2.5 複合型AIP装置 112
   6.3 AIP法の応用事例 113
   6.3.1 切削工具への応用 113
   6.3.2 自動車部品への応用 113
   7 熱陰極PIGプラズマCVD装置　寺山暢之 115
   7.1 はじめに 115
   7.2 装置の原理と構成 115
   7.2.1 PIG-PECVD装置の構成 115
   7.2.2 プラズマの安定化 116
   7.2.3 基板のバイアス方法 117
   7.3 DLCの厚膜コーティング技術 119
   7.3.1 成膜方法 119
   7.3.2 密着性 119
   7.3.3 シリコン添加の効果 120
   7.4 トライボロジー特性 120
   7.5 まとめ 122
   8 プラズマエッチング　中野博彦、平本道広 123
   8.1 はじめに 123
   8.2 トルネードICP-エッチング装置 123
   8.3 プラズマエッチングの基礎-シリコンを中心にして- 125
   8.4 難削材料のエッチング 127
   8.4.1 石英エッチング 127
   8.4.2 化合物半導体への応用 128
   8.4.3 白金エッチング 128
   8.5 今後の展望 129
   9 プラズマイオンプレーティング装置　粟井 清、酒見俊之 131
   9.1 はじめに 131
   9.2 高安定プラズマイオンプレーティング法 131
   9.3 膜特性 134
   9.4 大面積基板への高速成膜技術 136
   9.5 むすび 138
第4章 イオンビーム装置
   1 イオン注入装置　松田耕自 140
   1.1 イオン注入装置の機能と構成 140
   1.2 イオン注入装置発展の経緯 141
   1.3 中電流イオン注入装置 141
   1.3.1 装置の仕様 141
   1.3.2 イオン源部 143
   1.3.3 イオン質量分析部 143
   1.3.4 イオン加速部 143
   1.3.5 ビームライン部 144
   1.3.6 イオン注入室部 144
   1.3.7 主制御部 145
   1.4 大電流イオン注入装置 145
   1.4.1 イオン源およびイオン引き出し部 145
   1.4.2 イオン質量分析部 146
   1.4.3 イオン注入室部 146
   1.4.4 制御部 146
   1.5 高エネルギーイオン注入装置 146
   1.5.1 RF型加速 146
   1.5.2 静電型加速 147
   2 集束イオンビーム装置　八坂行人 148
   2.1 はじめに 148
   2.2 FIB装置の構成と性能 149
   2.3 応用例 150
   2.3.1 断面SIM像観察 150
   2.3.2 TEM試料作製 152
   2.3.3 断面側長 152
   2.3.4 三次元ナノ立体構造 153
   2.4 まとめ 153
   3 プラズマソースイオン注入装置　馬場恒明 155
   3.1 はじめに 155
   3.2 PSII法の原理 155
   3.3 PSII装置 157
   3.4 PSII法に関する研究 158
   3.5 おわりに 160
   4 イオンビームパッタ装置　石川 靖、清野知之 162
   4.1 はじめに 162
   4.2 イオンビームスパッタ装置の特徴 163
   4.3 イオンビームスパッタ装置の問題点 165
   4.4 おわりに 168
機能材料応用編
第5章 イオン注入による表面機能材料 岩木正哉
   1 イオン注入の概要 171
   2 イオン注入装置の構成と特色 172
   3 注入イオンの深さ分布 173
   4 表面の高機能化事例 174
   5 金属へのイオン注入 176
   6 ダイナミックミキシングとPBII 178
   7 イオン注入の利用法 180
第6章 薄膜誘電体材料 田中克彦
   1 強誘電体薄膜・高誘電率薄膜 182
   1.1 スパッタリング法 183
   1.2 MOCVD法 185
   1.3 エピタキシャル成膜 187
   1.4 応用例 188
   2 PZT薄膜 189
   2.1 スパッタリング法 191
   2.2 MOCVD法 191
   2.3 エピタキシャル成膜 192
   2.4 応用例 193
第7章 ダイヤモンドおよび関連材料
   1 半導体ダイヤモンドの電子素子応用　橘 武史 195
   1.1 緒言 195
   1.2 ダイヤモンド薄膜の気相合成技術 196
   1.3 ダイヤモンドを用いた電子素子 203
   1.4 結言 208
   2 DLC　中東孝浩 211
   2.1 はじめに 211
   2.2 DLCの特徴・製法 211
   2.3 DLCの用途開発 213
   2.4 まとめ 220
   3 プラズマジェットを用いるフッ素を含むガスからのcBNの合成　松本精一郎 222
   3.1 はじめに 222
   3.2 合成法 222
   3.3 膜の生成状況の性状 223
   3.4 本プロセスの特徴 228
   3.5 おわりに 228
   4 窒化炭素　青井芳史 230
   4.1 はじめに 230
   4.2 窒化炭素 230
   4.3 窒化炭素薄膜の合成技術 232
   4.4 おわりに 236
   5 炭素化ホウ素　大竹尚登 239
   5.1 はじめに 239
   5.2 B-C-N膜の合成と評価 240
   5.3 まとめ 245
第8章 フラーレン 三重野哲
   1 合成方法 248
   2 合成過程 249
   3 フラーレンファミリーの合成 252
   3.1 金属内包フラーレンの合成 252
   3.2 炭素ナノオニオンの合成 252
   3.3 炭素ナノカプセルの合成 252
   4 高効率合成 253
   5 誘導体のプラズマ合成 253
   6 フラーレンの応用 254
第9章 光機能材料
   1 透明誘電性材料
   1.1 SnO2系　菊池直人、草野英二 256
   1.1.1 SnO2 256
   1.1.2 SnO2系薄膜の作製プロセス 258
   1.1.3 SnO系薄膜の物性 261
   1.1.4 おわりに 262
   1.2 ZnO系　菊池直人、草野英二 265
   1.2.1 ZnO 265
   1.2.2 ZnO系薄膜の作製プロセスと物性 266
   1.2.3 ZnOへのⅢ属元素のドーピングとそのキャリア生成効率 269
   1.2.4 おわりに 270
   1.3 ITO薄膜の低温形成　臼杵辰朗、小倉盛生 273
   1.3.1 はじめに 273
   1.3.2 ITOの作製方法 273
   1.3.3 イオンビームスパッタリング法 274
   1.3.4 成膜条件と膜特性 275
   1.4 新規透明誘電性材料系　細野秀雄 278
   1.4.1 深紫外透明β-Ga2O3薄膜 278
   1.4.2 バイポーラーCulnO2を用いたp-nホモ接合 280
   1.4.3 新しい透明p型誘電性薄膜:LaCuOS 281
   1.4.4 ヘテロエピタキシャルp-n接合をベースとしたUV-LED 282
   2 光触媒材料　安保正一、竹内雅人 286
   2.1 紫外光のみでなく可視光の照射でも機能する酸化チタン光触媒開発の意義 286
   2.2 可視光の照射でも機能する酸化チタン光触媒 287
   3 光学薄膜材料　小川倉一 294
   3.1 はじめに 294
   3.2 光学薄膜形成プロセスにおけるイオン・プラズマの役割 294
   3.2.1 イオンのエネルギー 294
   3.2.2 プラズマによるその他の効果 296
   3.3 イオン・プラズマを利用した光学薄膜形成装置 296
   3.3.1 イオンビームアシス蒸着法(IAD法) 296
   3.3.2 プラズマIAD法 297
   3.4 イオン・プラズマアシスト法による高機能光学薄膜の形成 299
   3.5 おわりに 303
第10章 薄膜積層多層材料 中山 明
   1 緒言 304
   2 エレクトロニクス材料 304
   2.1 誘電体超格子材料 304
   2.2 有機ヘテロ接合光デバイス 309
   3 硬質耐摩分野用多層膜(超格子膜)材料 311
   4 熱電変換材料 313
   5 結言 315
総論 プラズマ・イオンビーム技術の新展開 上條榮治
   1 プラズマ・イオンビーム技術とナノテクロノジー 1
   2 ナノテクロノジーに関連した日本の動き 2
3.

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東工大
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3. 最新機械機器要素技術
吉川, 昌範(1938-) ; 太田, 稔 ; 大竹, 尚登 ; 武田, 行生 ; 野澤, 龍介
出版情報: 立川 : エヌジーティー, 2008.6  xii, 659p ; 31cm
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発刊にあたって　吉川昌範
序説　吉川 昌範
【第1章　機械機器要素技術の戦略】
   1.1.　ものづくりの技術戦略　渡邉政嘉 1
   1.2.　自動車におけるものづくり技術戦略　太田稔 9
   1.3.　医療機器における技術戦略　野澤龍介 15
   1.4.　力ラクリ人形と自動化技術　鈴木一義 23
   1.5.　生産技術の見える化　日比野弘勝 28
【第2章　機械機器要素のいろいろ】
   2.1.　締結要素
   2.1.1.　ねじ　萩原正弥 35
   2.1.2.　キー,スプライン　立矢宏 38
   2.1.3.　止め輪　立矢宏 41
   2.1.4.　ピン,コッタ　立矢宏 42
   2.1.5.　接着継手　杉林俊雄／木原幸一郎 43
   2.1.6.　リベット　立矢宏 47
   2.1.7.　焼きばめ,冷しばめ　磯野宏秋 50
   2.1.8.　スナップフィット　綿貫啓一 53
   2.2.　軸および軸間連要素
   2.2.1　軸　立矢宏 58
   2.2.2.　軸継手　立矢宏 72
   2.3.　案内および支持要素
   2.3.1.　 滑り軸受（sliding bearing）　野口昭治 74
   2.3.2.　転がり軸受（rolling bearing）　野口昭治 80
   2.3.3.　直動案内（Linear guide）　野口昭治 88
   2.4　伝動要素
   2.4.1.　歯車および歯車列　小森雅晴 92
   2.4.2.　ベルト　龍谷正則 96
   2.4.3.　チェーン　高橋秀雄 101
   2.4.4.　機械式無段変速機　山中将 104
   2.4.5.　送りねじ　下田博一 108
   2.4.6.　クラッチ　樋口勝 113
   2.5.　運動変換要素
   2.5.1.　リンク機構　武田行生 117
   2.5.2.　カム機構　西岡雅夫 127
   2.6.　緩衝・制振・制動要素
   2.6.1.　ばね　大谷功 136
   2.6.2.　緩衝器およびダンパ　塚本修民 143
   2.6.3.　ブレーキ　樋口勝 149
   2.6.4.　フライホイール　樋口勝 154
   2.7.　配管要素　辻裕一 160
   2.8.　密封要素
   2.8.1.　オイルシール　大沼恒久 168
   2.8.2.　パッキン　平野学 171
   2.8.3.　Oリング　大宅健司 175
   2.9.　アクチュエータ
   2.9.1.　固体アクチュエータ　古谷克司 179
   2.9.2.　流体アクチュエータ　吉田和弘 183
   2.9.3.　静電アクチュエータ　服部正 187
   2.9.4.　高分子アクチュエータ　伊東謙吾 191
   2.9.5.　ラバーアクチュエータ　鈴森康一 195
   2.10.　センサ技術　三田吉郎 199
【第3章　機械機器要素の加工技術】
   3.1.　加工技術の基礎　吉川昌範 217
   3.2.　ねじの加工　小沢順造 260
   3.3.　軸受の加工　前田喜久男／山田郁夫 270
   3.4.　歯車の加工　加藤昭悟 280
   3.5.　カムの加工　西岡雅夫 292
   3.6.　ばねの加工　大谷功 301
   3.7.　円管の加工（チューブフォーミング）村田眞 308
   3.8.　金型の加工　平林巧造 325
   3.9.　鋼板の加工　井関日出男 332
   3.10.　光ファイバの加工　石川真二 342
   3.11.　光学部品の加工　瀧野日出雄 348
   3.12.　ポリゴンミラの加工　田中克敏 356
   3.13.　センサ,アクチュエータの加工（光学リソ含む）　三田吉郎 362
【第4章　最近の実例からみる機械機器要素のものづくりとその機能】
   4.1.　締結要素
   4.1.1.　油圧式ホルダ　久保治明 383
   4.1.2.　希少物質を使わない強度1000MPaのボルト・ねじ　鳥塚史郎 388
   4.1.3.　冷間圧造の世界最小径のねじ　鈴木宏義 390
   4.1.4.　焼きばめホルダ　森本剛啓 393
   4.1.5.　最近のねじ締結体と適用のポイント　若林克彦 396
   4.2.　軸受および案内要素
   4.2.1.　環境対応型ジェット潤滑アンギュラ玉軸受　古林卓嗣／森正継 401
   4.2.2.　転がり球面軸受けおよびフレキシブル球面軸受け　大川原恭樹 404
   4.2.3.　スプライン付ボールねじ　宮崎一成 406
   4.2.4.　保持器入りリニアガイドウェイ　前田裕慶 408
   4.2.5.　工作機械用油静圧軸受　村井史朗 411
   4.2.6.　超精密空気軸受　田中克敏 414
   4.2.7.　高DN値磁気軸受主軸　中川亨 418
   4.2.8.　磁気浮上型遠心血液ポンプ　中関嗣人 421
   4.3.　動力伝達要素・運動変換要素
   4.3.1.　高効率小型遊星歯車減速機　宮川豊美 424
   4.3.2.　四輪駆動車用ハイポイドギヤ　斎木康平 427
   4.3.3.　油静圧ねじ　嶋稔彦 430
   4.3.4.　世界最小の0.5mmリードボールねじ　大谷雄志 433
   4.3.5.　高速静音ボールねじ　加藤将人 435
   4.3.6.　C/Cコンボジットを使用した自動車用クラッチの特性　石川亨 438
   4.3.7.　転がり接触,直交軸回転駆動機構ローラドライブ　加藤寿尚 442
   4.3.8.　ノンバックラッシ型ボール減速機　今瀬憲司 446
   4.3.9.　ベルトCVT　加藤芳章 449
   4.3.10.　トロイダルCVT　日比利文 452
   4.3.11.　波動歯車装置　鈴木真憲 456
   4.3.12.　パラレルメカニズム　武田行生 458
   4.3.13.　ステアリングギヤ比可変機構　高田暢茂／鈴木博之 462
   4.3.14.　シリング形リニアモータ　星俊行 465
   4.4.　流体関連要素・配管要素・密封要素
   4.4.1.　ペットボトル　兼崎建夫 469
   4.4.2.　TULC缶　今津勝宏 473
   4.4.3.　ヒートパイプ式ヒートシンク　木村裕一 476
   4.4.4.　アスベスト代替ガスケット　姥名武雄 479
   4.5.　検出要素
   4.5.1.　高精度回転振れセンサ　鈴木紀和 482
   4.5.2.　新型圧力センサ　長坂宏 485
   4.5.3.　磁気ディスク装置（HDD）　小野京右 490
   4.6.　動力供給要素（アクチュエータ）
   4.6.1.　超小型ギヤードモータ　中村一也 494
   4.6.2.　マイクロマシニングによる超小型電磁モータの開発　太田斎 497
   4.6.3.　マイクロ超音波モータ　飯野朗弘 500
   4.6.4.　最強磁石NEOMAX　広沢哲 503
   4.6.5.　ポキポキモータ　中原裕治 507
   4.6.6.　電動カミソリ用リニア振動アクチュエータ　中山敏 510
   4.6.7.　楕円振動切削装置　浜田晴司 513
   4.6.8.　超精密小型位置決め装置　増田富雄 519
   4.6.9.　磁気支持型アクチュエータ,圧電素子による高速微細放電加工モジュール　中川孝幸 524
   4.6.10.　人工筋肉　則次俊郎 528
【第5章　最近の実例からみる機械機器要素の加工技術】
   5.1.　鋳造,焼結,造形
   5.1.1.　金属光造形複合加工技術　吉田徳雄 533
   5.1.2.　鋼の連続鋳造における表層組織制御冷却法　加藤徹 536
   5.1.3.　アルミ合金ターゲット材のスプレイフォーミング技術　吉川一男 539
   5.1.4.　凍結鋳型鋳造の生産ライン　松元秀人 542
   5.1.5.　ピンホールフリーアルミニウム砂型鋳物技術　上久保佳則 547 /
   5.1.6.　エアレーション・プリセットスクィーズ方式生型造型機　川合悦蔵 550
   5.2.　成形（樹脂成型,ガラス成型),塑性加工（プレス成型,鍛造）
   5.2.1.　高速精密プレス加工機　服部竜一 553
   5.2.2.　成形型内成膜技術　梅澤隆男 556
   5.2.3.　貨物鉄道用レールの製造技術　上田正治 559
   5.2.4.　屋根瓦形状のチタン成型加工技術　安藤修一 562
   5.2.5.　真空複層ガラス製造技術　皆合哲男 567
   5.2.6.　新幹線先頭の打ち出し加工技術　山下清登 570
   5.2.7.　超精密冷間鍛造順送加工技術　平林巧造 574
   5.2.8.　短納期低価格冷間鍛造技術　西尾眞之 578
   5.2.9.　短納期低価格多工程プレス加工技術　新川邦夫 581
   5.2.10.　ステアリングジョイントの冷間鍛造技術　鬼頭佑治 585
   5.2.11.　多葉状二重管熱交換器の製造技術　石井哲夫 589
   5.2.12.　不焼成漆喰セラミック　行平信義 592
   5.3.　接合,接着
   5.3.1.　フラックス・ボイドレス鉛フリーはんだ技術　岩佐久夫 594
   5.3.2.　マグネシウム合金ねじの瞬間溶接技術　溝口純一 598
   5.3.3.　液晶基板の接着におけるシール材の処理方法　今城康隆／中山幸弘／田中博文／小坂洋平 601
   5.3.4.　航空機用複合材料板　野口元 605
   5.4.　機械加工
   5.4.1.　フライアイレンズ成形金型用全自動研磨技術　石川憲一 609
   5.4.2.　5軸複合加工機　岡田聡 611
   5.4.3.　エアロラップ法による鏡面研磨加工技術　山下健治 614
   5.4.4.　極微小径穴加工技術　中田寛 616
   5.4.5.　極小工具での高精度微細加工自動化　瀬戸島功 621
   5.5.　熱処理,表面処理,成膜
   5.5.1.　真空浸炭と高周波焼入れ装置併用の熱処理技術　大林巧治 624
   5.5.2.　水素フリーDLC膜を成膜したバブルリフター　馬渕豊 627
   5.5.3.　大面積DLC厚膜の成膜技術　西村芳実 630
   5.5.4.　最小ピッチのリードフレーム　池永知加雄 633
   5.5.5.　薄膜太陽電池用プラズマCVDの製造技術　高塚汎 636
   5.5.6.　グラビア印刷　重田龍男 639
   5.5.7.　フイルム太陽電池の製造技術　石川隆正 642
   5.5.8.　CIS系薄膜太陽電池の製造技術　櫛屋勝巳 645
【用語索引】 649
発刊にあたって　吉川昌範
序説　吉川 昌範
【第1章　機械機器要素技術の戦略】
4.

図書
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4. これで使える機能性材料パーフェクトガイド
大竹尚登 [ほか] 編著
出版情報: 東京 : 講談社, 2012.3  iv, 223p ; 21cm
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5.

図書
図書
5. プラズマ溶射利用の化学気相成長法によるハイブリッドコーティング膜の高速合成
大竹尚登
出版情報: 東京 : 東京工業大学, 2003.5
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6.

図書
図書
6. 機械屋のための分析装置ガイドブック
日本塑性加工学会編
出版情報: 東京 : コロナ社, 2012.8  iv, 225p, 図版 [4] p ; 21cm
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7.

図書
図書
7. DLCの応用技術 : 進化するダイヤモンドライクカーボンの産業応用と未来技術. 普及版
大竹尚登監修
出版情報: 東京 : シーエムシー出版, 2013.8  7, vii, 306p ; 26cm
シリーズ名: CMCテクニカルライブラリー ; 469 . 新材料・新素材シリーズ||シンザイリョウ シンソザイ シリーズ
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第1章 : 序論
第2章 : 機械的応用
第3章 : 電気的・光学的・化学的応用
第4章 : 次世代応用のためのDLC基盤技術
第5章 : 次世代応用のためのDLC先端技術
第6章 : 総括
第1章 : 序論
第2章 : 機械的応用
第3章 : 電気的・光学的・化学的応用
8.

図書

東工大
目次DB
図書
東工大
目次DB
8. 図解気相合成ダイヤモンド
吉川昌範, 大竹尚登共著
出版情報: 東京 : オーム社, 1995.6  viii, 179p ; 21cm
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1章 気相合成ダイヤモンドの基本事項に関する1問1答
   1-1 ダイヤモンドは,どのような特性を持っていますか。また,工業用材料としてどのような特徴がありますか 2
   1-2 気相合成ダイヤモンドとは何ですか。天然のダイヤモンドとどう違いますか 4
   1-3 化学気相成長法とは何ですか 6
   1-4 気相からダイヤモンドが成長するためには,どのような環境が必要ですか 8
   1-5 気相合成ダイヤモンドは,どのような色や結晶形をしていますか 10
   1-6 気相合成ダイヤモンドとは,どのようなものですか 13
   1-7 気相からダイヤモンドを合成するには,原子状水素が必要とされています。原子状水素は,どのような役割をしているのですか 16
   1-8 気相合成ダイヤモンドは,どのような製品に使われますか 18
   1-9 ダイヤモンドの同素体にはどのようなものがあり,どのような構造をしていますか 20
   1-10 ダイヤモンド状炭素膜(硬質炭素膜)とは,どのようなものですか 22
2章 気相からダイヤモンド合成技術に関する1問1答
   2-1 ダイヤモンドを気相合成法によってつくるには,どのような方法がありますか 26
   2-2 熱フィラメント法とは,どのような方法ですか 28
   2-3 マイクロ波プラズマ法とは,どのような方法ですか 30
   2-4 高周波プラズマ法とは,どのような方法ですか 33
   2-5 直流放電プラズマ法とは,どのような方法ですか 35
   2-6 アーク放電プラズマジェット法とは,どのような方法ですか 37
   2-7 燃焼炎法とは,どのような方法ですか 40
   2-8 プラズマに電界を加えることは,ダイヤモンド合成に有効ですか 42
   2-9 プラズマに磁界を加えることは,ダイヤモンド合成に有効ですか 44
   2-10 ダイヤモンド合成のための原料気には,どのようものが使われますか 47
   2-11 物理気相合成法でダイヤモンドは合成できますか 49
   2-12 ダイヤモンドの核は基板上で,どのように生成されますか 51
   2-13 核生成密度を増加させるには,どのような方法がありますか 53
   2-14 ダイヤモンドの選択成長は,どのように行われますか 56
   2-15 気相合成法によってダイヤモンド粒はできますか 58
   2-16 ダイヤモンドを高速に合成させる手段には,どのような方法がありますか 60
   2-17 ダイヤモンドを大きな面積に合成するには,どうしたらよいですか 62
   2-18 透明なダイヤモンドは,どのようにすれば合成できますか 64
   2-19 ダイヤモンドを低い基板温度で合成させるには,どのような方法がありますか 66
   2-20 気相合成ダイヤモンドへの不純物添加は,どのようにして行われますか 68
   2-21 ダイヤモンド成長において酸素は,どのような役割をしていますか 70
   2-22 ダイヤモンド合成において気相中や成長表面では,どのような反応が起こっていますか 72
   2-23 ダイヤモンドのエピタキシャル成長は可能ですか 74
   2-24 ダイヤモンド状炭素膜の合成は,どのように行われますか 77
   2-25 ダイヤモンドに似た立方晶窒化ホウ素も,気相合成法で合成することができますか 79
3章 気相合成ダイヤモンドの評価に関する1問1答
   3-1 X線回折によって,どのようなことがわかりますか 82
   3-2 ラマン分光分析によって,どのようなことがわかりますか 84
   3-3 カソードルミネセンス(Cl)によって,どのようなことがわかりますか 87
   3-4 赤外線吸収スペクトルによって,どのようなことがわかりますか 90
   3-5 気相合成ダイヤモンドの可視光,紫外光の吸収スペクトルは,どのようなものですか 93
   3-6 二次イオン質量分析(SIMS)によって,どのようなことがわかりますか 96
   3-7 核磁気共鳴(NMR)によって,どのようなことがわかりますか 98
   3-8 電子スピン共鳴(ESR)によって,どのようなことがわかりますか 101
   3-9 気相合成ダイヤモンドの表面状態および内部組織は,どのようになっていますか 103
   3-10 気相合成ダイヤモンドの微細組織は,どのようなものですか 106
   3-11 気相合成ダイヤモンドは,基板とどのくらいの力で付着していますか 108
   3-12 ダイヤモンド合成中のその場分析で,どのようなことがわかりますか 110
   3-13 気相合成ダイヤモンドの機械的特性は,どのようなものですか 112
   3-14 気相合成ダイヤモンドの電気的特性は,どのようなものですか 114
   3-15 気相合成ダイヤモンドの熱的特性は,どのようなものですか 116
4章 気相合成ダイヤモンドの加工に関する1問1答
   4-1 気相合成ダイヤモンドは,どのようにして切断されますか 120
   4-2 ダイヤモンドは,通常どのようにして磨されますか 122
   4-3 気相合成ダイヤモンドを加熱鉄板で磨く方法とは,どのような方法ですか 124
   4-4 レーザビームによって,ダイヤモンドを加工するには,どうすればよいですか 126
   4-5 イオンビームによって,ダイヤモンドを加工するには,どうすればよいですか 128
5章 気相合成ダイヤモンドの応用に関する1問1答
   5-1 気相合成ダイヤモンドの切削工具には,どのようなものがありますか 132
   5-2 気相合成ダイヤモンドは,砥粒として用いることができますか 135
   5-3 気相合成ダイヤモンドの耐摩耗部品への応用には,どのようなものがありますか 138
   5-4 ダイヤモンド状炭素膜の耐摩耗部材への応用には,どのようなものがありますか 140
   5-5 気相合成ダイヤモンドのスピーカ用振動板とは,どのようなものですか 142
   5-6 気相合成ダイヤモンドの表面弾性波フィルタとは,どのようなものですか 144
   5-7 気相合成ダイヤモンドの熱吸収部品とは,どのようなものですか 146
   5-8 気相合成ダイヤモンドの窓への応用とは,どのようなものがありますか 148
   5-9 気相合成ダイヤモンドを用いたダイオード,トランジスタには,どのようなものがありますか 150
   5-10 気相合成ダイヤモンドの発光素子とは,どのようなものですか 152
   5-11 気相合成ダイヤモンドのセンサへの応用には,どのようなものがありますか 154
6章 気相合成ダイヤモンドの将来展望に関する1問1答
   6-1 材料技術開発の観点から,気相合成ダイヤモンドで今後望まれる研究課題には,どのようなものがありますか 158
   6-2 機械部品応用における技術開発の観点から,気相合成ダイヤモンドで今後望まれる研究課題には,どのようなものがありますか 160
   6-3 電子デバイス応用における技術開発の観点から,気相合成ダイヤモンドで今後望まれる研究課題には,どのようなものがありますか 162
   6-4 光学部品応用における技術開発の観点から,気相合成ダイヤモンドで今後検討される研究課題には,どのようなものがありますか 164
   6-4 気相合成ダイヤモンドは,先端分野の産業を大きく発展させるでしょうか 166
   参考文献 169
   索引 175
1章 気相合成ダイヤモンドの基本事項に関する1問1答
   1-1 ダイヤモンドは,どのような特性を持っていますか。また,工業用材料としてどのような特徴がありますか 2
   1-2 気相合成ダイヤモンドとは何ですか。天然のダイヤモンドとどう違いますか 4
9.

図書
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9. はじめての生産加工学 (1 基本加工技術編 ; 2 応用加工技術編)
帯川利之, 笹原弘之編著 ; 齊藤卓志 [ほか] 著
出版情報: 東京 : 講談社, 2016.6  2冊 ; 21cm
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第1章 : 序論
第2章 : 鋳造
第3章 : プラスチック成形加工
第4章 : 溶接・接合
第5章 : 塑性加工
第6章 : 切削加工
第7章 : 研削加工
第8章 : 研磨加工
第1章 材料と加工
第2章 生産システムと金型の加工
第3章 電気加工
第4章 レーザ加工
第5章 表面処理とコーティング
第6章 アディティブマニュファクチャリング / 付加製造
第7章 : マイクロ加工
第1章 : 序論
第2章 : 鋳造
第3章 : プラスチック成形加工
10.

図書
図書
10. Science and technology of new diamond : proceedings of the 1st International Conference of New Diamond Science and Technology, Tokyo, Japan, October 24-26, 1988
organized by Japan New Diamond Forum (JNDF) ; edited by S. Saito, O. Fukunaga, M. Yoshikawa
出版情報: Tokyo : Scientific Publishers : Terra Scientific Publishing, c1990  483 p. ; 27 cm.
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