ナノスケールサーボ制御 : 高速・高精度に位置を決める技術 | 東京工業大学附属図書館蔵書検索

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ナノスケールサーボ制御 : 高速・高精度に位置を決める技術 / 山口高司, 平田光男, 藤本博志編著

資料種別:

図書

出版情報:

東京 : 東京電機大学出版局, 2007.10

形態:

vi, 280p ; 22cm + CD-ROM

著者名:

ISBN:

9784501113506 [4501113502]

書誌ID:

BA83531915

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書誌詳細

その他の標題:	Nanoscale servo control ナノスケールサーボ制御 : 高速高精度に位置を決める技術
注記:	付属資料: CD-ROM (1枚 ; 12cm) 各章末: 関連図書
タイトルのヨミ:	ナノスケールサーボセイギョ : コウソクコウセイドニイチオキメルギジュツ
著者名ヨミ:	ヤマグチ, タカシヒラタ, ミツオフジモト, ヒロシ
主題:	サーボ機構
言語:	日本語

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