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1.

学位論文
学位
1. ポリメタクリル酸メチル(PMMA)の機械的性質に及ぼす湿度の影響
石山千恵美
出版情報: 東京 : 東京工業大学, 2003
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2.

図書
図書
2. MEMS用レジスト微小構造部材のための機械的性質評価法の開発
石山千恵美
出版情報: 東京 : 東京工業大学, 2007.3
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3.

図書
図書
3. 小さなものをつくるためのナノ/サブミクロン評価法 : μmからnm寸法のものをつくるための材料,物性,形状,機能の評価法
肥後矢吉編著 ; 谷川紘 [ほか] 共著
出版情報: 東京 : コロナ社, 2015.7  viii, 196p ; 21cm
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目次情報: 続きを見る
1 : シミュレーション
2 : 薄膜の弾性定数の精密計測法
3 : 微小材料や薄膜の材料強度評価法
4 : 3次元マイクロ構造体の形状計測法および信頼性評価
5 : 動特性計測:微細なものの動的変形と振動評価
6 : 微細なものの接着・接合強度評価
1 : シミュレーション
2 : 薄膜の弾性定数の精密計測法
3 : 微小材料や薄膜の材料強度評価法
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