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1.

図書

図書
電気学会通信教育会著
出版情報: 東京 : 電気学会 , 東京 : オーム社 (発売), 1987.12-1988.10  2冊 ; 22cm
シリーズ名: 電気学会大学講座 / 電気学会編
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2.

図書

図書
電気学会磁気アクチュエータ調査専門委員会編
出版情報: 東京 : 電気学会, 1984.3  209p ; 22cm
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3.

図書

図書
電気学会編
出版情報: 東京 : オーム社, 1987.7  iv, 1570p ; 27cm
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4.

図書

図書
電気学会通信教育会著
出版情報: 東京 : 電気学会 , 東京 : オーム社 (発売), 1970.3  12, 436p ; 22cm
シリーズ名: 電気学会大学講座 / 電気学会編
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5.

図書

図書
Sponsored by the Materials Research Society of Japan and the Magnetics Society of Japan ; in cooperation with the Institute of Electrical Engineers of Japan ... [et al.]
出版情報: Tokyo : Magnetics Society of Japan, c1998  xvi, 455 p. ; 30 cm
シリーズ名: Journal of the Magnetics Society of Japan ; vol. 22, supplement, no. S1(1998)
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6.

図書

図書
sponsored by the Japan Society of Applied Physics ; in cooperation with the Institute of Electronics, Information and Communication Engineers of Japan ... [et al.]
出版情報: Tokyo, Japan : Business Center for Academic Societies Japan, c1988  ix, 679 p. ; 31 cm.
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7.

図書

図書
Hiroaki [i.e. Hiraoki] Morimoto, editor ; sponsored by Photomask Japan, BACUS, [and] SPIE--the International Society for Optical Engineering ; cooperating organizations for symposium, Japan Society of Applied Physics, Japan Society for Precision Engineering, [and] Institute of Electrical Engineers of Japan ; cooperating organization for technical exhibit, SEMI Japan
出版情報: Bellingham, Wash., USA : SPIE, c2000  xv, 750 p. ; 28 cm
シリーズ名: Proceedings / SPIE -- the International Society for Optical Engineering ; v. 4066
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8.

図書

図書
[電気学会電気工学ハンドブック改版委員会編]
出版情報: 東京 : 電気学会, 1988.2  2174p ; 27cm
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9.

図書

図書
電気学会通信教育会著
出版情報: 東京 : 電気学会 , 東京 : オーム社 (発売), 1988.3  xii, 213p ; 22cm
シリーズ名: 電気学会大学講座 / 電気学会編
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10.

図書

図書
電気学会センサ機能調査専門委員会編
出版情報: 東京 : 電気学会 , 東京 : オーム社 (発売), 1988.4  275p ; 22cm
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11.

図書

図書
電気学会絶縁試験法ハンドブック改訂委員会編
出版情報: 東京 : 電気学会 , 東京 : オーム社 (発売), 1983.3  469p ; 22cm
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12.

図書

図書
宅間董, 柳父悟執筆 ; 電気学会通信教育会著
出版情報: 東京 : 電気学会 , 東京 : オーム社 (発売), 1988.9  xvii, 272p ; 22cm
シリーズ名: 電気学会大学講座 / 電気学会編
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13.

図書

図書
電気学会創立100周年記念出版委員会編
出版情報: 東京 : 電気学会, 1988  507p ; 27cm
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14.

図書

図書
電気学会編
出版情報: 東京 : 電気学会, 1952.5  2, 2, 8, 210p ; 22cm
シリーズ名: 電気学会大学講座 / 電気学会編
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15.

図書

図書
電気学会編
出版情報: 東京 : 電気学会, 1953  350p ; 21cm
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16.

図書

図書
電気学会編集 ; 池田吉尭, 北村覺一, 正田英介執筆委員
出版情報: 東京 : 電気学会 , 東京 : オーム社 (発売), 1993.4  xii, 232p ; 22cm
シリーズ名: 電気学会大学講座 / 電気学会編
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17.

図書

図書
電気学会編
出版情報: 東京 : 電気学会, 1939  6,566p ; 30cm
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18.

図書

図書
電気学会東京支部、電気通信学会東京支部共編
出版情報: 東京 : コロナ社, 1957.4  2, 7, 261p ; 22cm
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19.

図書

図書
電気学会編
出版情報: 京都 : 電気書院, 1950.11  9,244,8p ; 18cm
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20.

図書

図書
電気学会積層材料技術調査専門委員会編
出版情報: 東京 : コロナ社, 1989.12  viii, 460p ; 22cm
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21.

図書

図書
電気学会編
出版情報: 東京 : 電気学会, 1951.9  17, 340, 10p ; 22cm
シリーズ名: 電気学会大学講座 / 電気学会編
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22.

図書

図書
電気学会通信教育会編
出版情報: 東京 : 電気学会, 1965.2  174p ; 22cm
シリーズ名: 電気学会大学講座 / 電気学会編 ; . 電気磁気測定 / 電気学会通信教育会著||デンキ ジキ ソクテイ ; 第4巻
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23.

図書

図書
文部省, 電気学会 [編]
出版情報: 東京 : 電気学会 , 東京 : コロナ社 (発売), 1991.7  9, 1097p ; 19cm
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24.

図書

図書
電気学会編
出版情報: 東京 : 電気学会 , 東京 : コロナ社 (発売), 1963.10  2, 2, 7, 1351p ; 27cm
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25.

図書

図書
電気学会編
出版情報: 東京 : 電気学会, 1931  145p ; 18cm
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26.

図書

図書
電気学会編集
出版情報: 東京 : 日本電気協会, 1960  293,[88]p ; 26cm
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27.

図書

図書
[technically co-sponsored by IEEE Power Engineering Society, the Institute of Electrical Engineers of Japan]
出版情報: Piscataway, N.J. : IEEE Operations Center, c2002  3 v. (2377 p.) ; 28 cm
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28.

雑誌

雑誌
電気学会 = the Institute of Electrical Engineers of Japan
出版情報: 東京 : 電気学会 , 東京 : オーム社 (会員外発売所), 1987-  v. ; 26cm
巻次年月次: 107巻1号 (Jan. 1987)-
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29.

図書

図書
editor, Toshinori Takagi ; sponsored by Institute of Electrical Engineers of Japan, Tokyo, Japan
出版情報: Tokyo : Institute of Electrical Engineers of Japan, [1983]  3 v. (1989 p.) ; 31 cm
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30.

図書

図書
sponsored by the Institute of Electric Engineers of Japan ; participator : the Society of Instrument and Control Engineers IEEE Industrial Applications Tokyo Chapter
出版情報: Tokyo : Institute of Electrical Engineers of Japan, c1983  2 v. ; 30 cm
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31.

図書

図書
sponsor, IEEE Electron Devices Society ; co-sponsor, the Institute of Electrical Engineers of Japan
出版情報: Piscataway, NJ : IEEE Service Center, c1999  xxiii, 359 p. ; 28 cm
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目次情報:
VT:99CH36312
VT:99CH36312
32.

図書

図書
sponsored by the Institute of Electrical Engineers of Japan ; co-sponsored by the IEEE Electron Devices Society
出版情報: Piscataway, NJ : IEEE Service Center, c1998  xxiii, 447, 64 p. ; 28 cm
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目次情報:
VT:98CH36212
VT:98CH36212
33.

図書

図書
高木俊宜執筆委員 ; 電気学会編集
出版情報: 東京 : 電気学会 , 東京 : オーム社 (発売), 1999.5  xii, 323p ; 22cm
シリーズ名: 電気学会大学講座 / 電気学会編
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34.

図書

図書
電気学会編
出版情報: 東京 : オーム社, 1998.3  35, 1458p ; 21cm
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35.

図書

図書
電気学会通信教育会 [編]
出版情報: 東京 : 電気学会 , 東京 : オーム社 (発売), 1984.2  2, 3, 2, 4, 192p ; 22cm
シリーズ名: 電気学会大学講座 / 電気学会編
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36.

図書

図書
general chairman, Dr. L. Lorenz ; sponsors, VDE, IEEE Electron Devices Society, IEE Japan, EUREL
出版情報: Piscataway, NJ : IEEE Service Center, c1997  375 p. ; 28 cm
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目次情報:
VT:97CH36086
VT:97CH36086
37.

図書

図書
[chairman, Toshiatsu Tanaka
出版情報: Tokyo : Institute of Electrical Engineers of Japan, c1988  333 p. ; 25 cm
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38.

図書

図書
電気学会公共施設技術委員会, 中丸修編
出版情報: 東京 : コロナ社, 1998.10  x, 162p ; 21cm
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39.

図書

図書
sponsor, IEEE Electron Devices Society ; co-sponsor, the Institute of Electrical Engineers of Japan
出版情報: Piscataway, NJ : IEEE Service Center, c1996  362 p. ; 28 cm
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目次情報:
VT:96CH35883
VT:96CH35883
40.

図書

図書
cosponsored by the IEEE Dielectrics and Electrial Insulation Society, the Institute of Electrical Engineers of Japan
出版情報: Tokyo : Institute of Electrical Engineers of Japan, c1995  510 p. ; 26 cm
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41.

雑誌

雑誌
電気学会
出版情報: 東京 : 電気学会, 1990-  v.; 26cm
巻次年月次: 110巻1号 (平2.1)-
所蔵情報: loading…
42.

雑誌

雑誌
電気学会
出版情報: 東京 : 電気学会, 1990-  v. ; 26cm
巻次年月次: 110巻1号 (平2.1)-
所蔵情報: loading…
43.

雑誌

雑誌
電気学会
出版情報: 東京 : 電気学会, 1994.1-  冊 ; 30cm
巻次年月次: 114巻1号 (平6.1)-
所蔵情報: loading…
44.

雑誌

雑誌
電気学会 [編]
出版情報: 東京 : 電気学会, 1995-  冊 ; 26cm
巻次年月次: 115巻1号 (1995)-
所蔵情報: loading…
45.

雑誌

雑誌
電気学会
出版情報: Hoboken, N.J. : Wiley Subscription Services, 2008-  v. ; 28 cm
巻次年月次: Vol. 91, no. 1 (Jan. 2008)-
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46.

雑誌

雑誌
電気学会
出版情報: [Tokyo] : Institute of Electrical Engineers of Japan  v. ; 28 cm
所蔵情報: loading…
47.

雑誌

雑誌
電氣学會
出版情報: 東京
巻次年月次: 1卷 (大10/11)-18 (昭13)
所蔵情報: loading…
48.

雑誌

雑誌
電気学会
出版情報: [東京] : オーム社 (発売), 1888-1993  冊 ; 30cm
巻次年月次: 1輯1號 (明21.7)-113巻13号 (平5.12)
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49.

雑誌

雑誌
電氣學會
出版情報: 東京 : 電氣學會, 1939-  冊 ; 29cm
巻次年月次: 1巻1號 (昭14.1)-
所蔵情報: loading…
50.

雑誌

雑誌
電氣學會, 電氣通信學會, 照明學會 [編]
出版情報: 東京 : 電氣學會, 1950-1951
巻次年月次: 24回 (昭25.4)-25回 (昭26.5)
所蔵情報: loading…
51.

雑誌

雑誌
電気学会, 電気通信学会, 照明学会 [編]
出版情報: 東京 : 電気学会, 1951-1969
巻次年月次: 26回 ( [昭26] )-昭和44年 (昭44)
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52.

雑誌

雑誌
電気学会 = the Institute of Electrical Engineers of Japan
出版情報: 東京 : 電気学会 , 東京 : オーム社 [会員外発売所] (発売), 1972-1989  18v. ; 26cm
巻次年月次: 92巻1号 (昭47.1)-109巻12号 (平1.12)
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53.

雑誌

雑誌
電気学会 = the Institute of Electrical Engineers of Japan
出版情報: 東京 : 電気学会 , 東京 : オーム社 [会員外発売所] (発売), 1972-1989  18v.; 26cm
巻次年月次: 92巻1号 (昭47.1)-109巻12号 (平1.12)
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54.

雑誌

雑誌
電気学会
出版情報: 東京 : 電気学会 , 東京 : オーム社 [会員外発売所] (発売), 1972-1986  15v.; 26cm
巻次年月次: 92巻1号 (昭47.1)-106巻12号 (昭61.12)
所蔵情報: loading…
55.

雑誌

雑誌
電氣學會
出版情報: 東京 : 電氣學會, 1940-1944  冊 ; 29cm
巻次年月次: 1巻1號 (昭15.1)-5巻11・12號 (昭19.11/12)
所蔵情報: loading…
56.

雑誌

雑誌
電気学会, 電気通信学会, 照明学会
出版情報: 東京 : 電気三学会東京支部
巻次年月次: 昭和25年11月 (昭25.11)-昭和25年11月 (昭25.11)
所蔵情報: loading…
57.

雑誌

雑誌
電気学会 [編]
出版情報: 東京 : 電気学会全国大会委員会, 1971.3-2017.3  冊 ; 26-30cm
巻次年月次: 昭和46年 (昭46)-昭和63年 (昭63) ; 平成元年 (平1)-平成29年 (平29)
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58.

雑誌

雑誌
電気学会
出版情報: 東京 : 電気学会, 1987-  v. ; 26cm
巻次年月次: 107巻1号 (昭62.1)-
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59.

雑誌

雑誌
電気学会, 電子通信学会, 照明学会, テレビジョン学会, 情報処理学会 = Institutes of Electrical and Information Engineers, Japan
出版情報: 東京 : 電気・情報関連学会常置連合大会企画委員会, 1985.8-1995
巻次年月次: 昭和60年 (昭60)-昭和63年 (昭63) ; 平成元年 (平1)-平成7年 (平7)
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60.

図書

図書
sponsored by IEEE Dielectrics and Electrical Insulation Society, Institute of Electrical Engineers of Japan, Waseda University
出版情報: New York : Institute of Electrical and Electronics Engineers, c1991  2 v. ; 28cm
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61.

図書

図書
sponsored by the Japan Society of Applied Physics ; in cooperation with the Institute of Electronics, Information and Communication Engineers of Japan ... [et al.]
出版情報: Tokyo, Japan : Business Center for Academic Societies Japan, c1991  xvi, 770 p. ; 30 cm.
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62.

図書

図書
sponsored by the Technical Committee on Electron Devices: the Institute of Electrical Engineers of Japan ; co-sponsored by the IEEE Electron Devices Society ; in cooperation with the Technical Group on Silicon Devices and Materials of the Institute of Electrics, Information and Communication Engineers of Japan
出版情報: Tokyo : Institute of Electrical Engineers of Japan, c1992  xiii, 344 p. ; 28 cm
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目次情報:
VT:92CH32086
VT:92CH32086
63.

図書

図書
sponsored by the Japan Society of Applied Physics ; in cooperation with the Institute of Electronics, Information and Communication Engineers of Japan ... [et al.]
出版情報: Tokyo, Japan : Business Center for Academic Societies Japan, c1992  xxviii, 772 p. ; 30 cm.
所蔵情報: loading…
64.

図書

図書
Sponsored by the Japan Society of Applied Physics ; in cooperation with the Institute of Electronics, Information and Communication Engineers of Japan ... [et al.]
出版情報: Tokyo, Japan : Business Center for Academic Societies Japan, c1990  xiii, 1247 p. ; 31 cm.
所蔵情報: loading…
65.

図書

図書
Sponsored by the Technical Group on EMC of the Institute of Electronocs ... [et al.]
出版情報: Tokyo, Japan : Institute of Electronics, Information and Communication Engineers , Tokyo, Japan : Institute of Electrical Engineers of Japan , New York, NY : Institute of Electrical and Electronics Engineers, c1989  2 v. ; 29 cm
所蔵情報: loading…
66.

図書

図書
sponsored by the Japan Society of Applied Physics ; in cooperation with the Institute of Electronics, Information and Communication Engineers of Japan ... [et al.]
出版情報: Tokyo, Japan : Business Center for Academic Societies Japan, c1993  xxxiv, 1097 p. ; 30 cm.
所蔵情報: loading…
67.

図書

図書
edited by: Richard K. Williams, B. Jayant Baliga ; sponsored by the IEEE Electron Devices Society ; co-sponsored by the Institute of Electrical Engineers of Japan
出版情報: Piscataway : IEEE Service Center, c1993  xviii, 324 p. ; 28 cm
所蔵情報: loading…
目次情報:
VT:93CH33142
VT:93CH33142
68.

図書

図書
edited by K. Matsuura ; sponsored by Institute of Electrical Engineers of Japan ; co-sponsored by International Thermoelectric Society ; subsidized by Iketani Science & Technology Foundation
出版情報: Tokyo, Japan : Institute of Electrical Engineers of Japan, 1994  xi, 597, 9 p. ; 31 cm
所蔵情報: loading…
69.

図書

図書
Sponsored by the Japan Society of Applied Physics in cooperation with the Institute of Electrical Engineers of Japan, the Institute of Electronics and Communication Engineers of Japan ... [et al.]
出版情報: Tokyo, : Business Center for Academic Societies Japan, c1983  x, 381 p. ; 31 cm
所蔵情報: loading…
70.

図書

図書
sponsored by the Japan Society of Applied Physics ; in cooperation with the Institute of Electronics, Information and Communication Engineers of Japan ... [et al.]
出版情報: Tokyo, Japan : Business Center for Academic Societies Japan, c1994  xxxvi, 1010 p. ; 30 cm.
所蔵情報: loading…
71.

図書

図書
電気学会高性能高機能パワーデバイス・パワーIC調査専門委員会編
出版情報: 東京 : コロナ社, 1996.7  xi, 482p ; 27cm
所蔵情報: loading…
72.

図書

図書
sponsored by IEEJ Technical Committee on Dielectrics and Electrical Insulation, IEEE Dielectrics and Electrical Insulation Society ; in cooperation with Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers ... [et al.]
出版情報: Tokyo : Institute of Electrical Engineers of Japan, c2001  xix, 901 p. ; 30 cm
所蔵情報: loading…
73.

図書

図書
sponsored by IEEE Dielectrics and Electrical Insulation Society ; cosponsored by IEE Japan
出版情報: Piscataway, NJ : IEEE Service Center, c2003  3 v. (xiv, 1244, viii p.) ; 30 cm
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74.

図書

図書
sponsored by the National Capital Area Council, the IEEE Aerospace and Electronic Systems Society, Radar Systms Panel ; associate sponsore, The Institute of Electrical Engineers
出版情報: New York : IEEE Aerospace and Electronic Systems Society, c2000  xvi, 895 p. ; 28 cm
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75.

図書

図書
Sponsored by IEEE Intelligent Transportation Systems Council, the Institute of Electrical Engineers of Japan, Japanese Society of Artificial Intelligence
出版情報: Tokyo, PRCOM International, c1999  XVII, 1017 p. ; 30 cm
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76.

図書

図書
Sponsored by IEEE The Industrial Electronics Society ...[et al.] ; Supported by Aichi Prefecture and Nagoya City ; In cooperation with The Institute of Electrical Engineers of Japan ... [et al.]
出版情報: [New York] : Institute of Electrical and Electronics Engineers, c2000  xxxviii, 635 p. ; 30 cm
所蔵情報: loading…
77.

図書

図書
sponsored by IEEE Electron Devices Society and Institute of Electrical Engineers of Japan
出版情報: [Piscataway, N.J.] : Institute of Electrical and Electronics Engineers, c2000 [i.e. c2005]  xxiii, 377 p. ; 28 cm
所蔵情報: loading…
78.

図書

図書
sponsored by the Institute of Electrical Engineers of Japan ; co-sponsored by the IEEE Electron Devices Society ; in cooperation with the Institute of Electronics Information and Communication Engineers of Japan and the Japan Society of Applied Physics
出版情報: Tokyo, Japan : Institute of Electrical Engineers of Japan, 2004  xxiii, 477 p. ; 28 cm
所蔵情報: loading…
79.

図書

図書
電気学会ヒューズ用語標準特別委員会, 電気学会電気専門用語標準化委員会, 電気学会電気規格調査会編
出版情報: 東京 : コロナ社, 2005.5  72p ; 19cm
シリーズ名: 電気学会電気専門用語集 ; No.10
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80.

図書

東工大
目次DB

図書
東工大
目次DB
電気学会・プラズマイオン高度利用プロセス調査専門委員会編
出版情報: 東京 : オーム社, 2005.10  xi, 279p ; 22cm
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目次情報: 続きを見る
1章はじめに 1
2章プラズマの基礎 5
   2.1ドライプロセスの工具としてのプラズマの特徴 5
   2.2プラズマの定義とその基本的性質 7
   2.2.1プラズマの定義 7
   2.2.2プラズマを特徴づけるパラメータ 9
   2.2.3電磁界中での荷電粒子の運動 13
   2.2.4集団現象 18
   2.3プラズマ中の粒子衝突過程 22
   2.3.1ボーアの原子模型と軌道電子のエネルギー準位 22
   2.3.2剛体球同士の衝突 23
   2.3.3イオンの衝突断面積 25
   2.3.4さまざまな衝突過程 27
   2.3.5クーロン衝突 31
   2.4プラズマを記述する基礎方程式 34
   2.4.1流体モデル 34
   2.4.2運動論の基礎 37
   2.5プラズマの輸送 39
   2.5.1電界による移動 39
   2.5.2衝突拡散 40
   2.5.3両極性拡散 41
   2.5.4磁界の拡散抑制効果 42
   参考文献 42
3章イオンシースの基礎 45
   3.1ボーム基準とプレシース 45
   3.2プラズマと基材との境界層 49
   3.2.1イオンシースの形成条件 49
   3.2.2定常チャイルド則シース 53
   3.3マトリクスシースとチャイルド則一次元イオンシース 55
   3.4基材に流れる電流とイオン電流 57
   3.4.1単一イオン種を含むイオン電流 57
   3.4.2多成分イオン種を含むイオン電流 59
   3.5イオンシースに対するいろいろな効果 60
   3.5.1中性粒子との衝突 60
   3.5.2磁界 62
   3.5.3絶縁物 63
   参考文献 65
4章プラズマイオンプロセスにおけるプラズマの条件 67
   4.1三次元形状物とプラズマに要求される条件 67
   4.1.1粒子のバランス式と密度のスケール則 67
   4.1.2プラズマ密度の非一様性 70
   4.2プラズマイオンプロセスとプラズマ特性の表現 73
   4.3イオンシースの過渡的現象 76
   4.3.1電圧パルスに対するシースの応答 77
   4.3.2イオン密度の時間応答 79
   4.3.3RF電圧に対するイオンシースの応答 80
   4.3.4RF印加時の反応容器の影響 81
   4.4イオン注入とスパッタリング 83
   4.4.1イオンのエネルギー損失 83
   4.4.2イオン注入 87
   4.4.3スパッタリング 89
   4.4.4付着 91
   参考文献 93
5章プラズマ源 95
   5.1気体プラズマ源 95
   5.1.1定常プラズマと過渡プラズマ 96
   5.1.2定常プラズマ生成法 99
   5.1.3電子の加速と捕捉 100
   5.1.4パルスグロー放電と複合プラズマ源 129
   5.2金属プラズマ源 131
   5.2.1背景 131
   5.2.2金属プラズマの発生 131
   5.2.3陰極アーク 132
   5.2.4マクロパーティクルの除去 138
   5.2.5いろいろなプラズマ源 141
   5.2.6金属イオン源 147
   参考文献 148
6章プラズマ計測 153
   6.1プラズマモニタリングとは 153
   6.2何を計測するか 154
   6.3代表的なプラズマ計測法 155
   6.3.1静電プローブ 155
   6.3.2プラズマ吸収プローブ 160
   6.3.3質量分析装置 167
   6.4処理基材およびその周辺部の計測 170
   6.4.1シースの挙動 170
   6.4.2シース挙動の実測例 172
   6.4.3イオンドーズ量と二次電子放出係数 174
   参考文献 176
7章モデリング 179
   7.1プラズマ表面相互作用 179
   7.2PIC/MCCシミュレーション 181
   7.3分子動力学シミュレーション 185
   参考文献 191
8章機能性薄膜の生成 193
   8.1PBII&D法による薄膜生成 193
   8.2高エネルギーイオンによる表面改質 195
   8.3低エネルギー深部注入 197
   8.4金属イオン種による堆積・イオン注入システム 201
   8.4.1背景 201
   8.4.2MEVVAによる改質 203
   8.4.3金属プラズマ源を用いたPBII&D法 204
   8.5DLC膜の生成 211
   8.5.1背景 211
   8.5.2パルスグローによるDLC成膜 212
   8.5.3シャンティングアークによるDLC成膜 213
   8.5.4いろいろな応用 216
   8.6円筒材への注入・堆積 218
   8.6.1パイプへの注入・堆積 218
   8.6.2ペットボトルの表面改質 220
   8.7医療への応用 225
   8.8滅菌 227
   8.8.1医療現場の滅菌 227
   8.8.2PBII法を用いた滅菌プロセス装置および滅菌方法 227
   8.8.3滅菌結果 228
   8.8.4表面状態の変化 230
   参考文献 231
9章半導体への応用 239
   9.1背景 239
   9.2極浅接合の形成 241
   9.2.1PBII法による極浅接合 241
   9.2.2BF3/SiF4によるPBII法 243
   9.2.3水素化物を用いるドーピング 246
   9.3フラットディスプレイパネル 247
   9.4SOIの形成 249
   9.4.1SOIについて 250
   9.4.2SPIMOX 250
   9.4.3SPIMOXスマートカットTM/イオンカット 253
   9.4.4SOI材料 256
   9.5水素注入シリコンの光学的特性 261
   9.6直流によるPBII法と半導体応用 266
   参考文献 269
   索引 275
1章はじめに 1
2章プラズマの基礎 5
   2.1ドライプロセスの工具としてのプラズマの特徴 5
81.

図書

図書
電気学会編 ; ナノスケール磁性体の機能調査専門委員会著
出版情報: 東京 : 共立出版, 2010.6  viii, 279p ; 22cm
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82.

図書

図書
電気学会編
出版情報: 東京 : オーム社, 2013.9  xix, 2681p ; 27cm
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数学
基礎物理
電気・電子物性
電気回路
電気・電子材料
計測技術
制御・システム
電子デバイス
電子回路
センサ・マイクロマシン〔ほか〕
数学
基礎物理
電気・電子物性
83.

図書

図書
organized by Korea Institute of Machinery and Materials (KIMM)
出版情報: Seoul : Korean Society of Precision Engineering, 2006  xi, 259 p ; 30 cm
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84.

図書

図書
sponsored by Korea Institute of Machinery and Materials (KIMM), Technical Committee of Ultra Precision Positioning of JSPE
出版情報: Seoul : Korean Society of Precision Engineering, 2010  xviii, 322 p ; 30 cm
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85.

図書

図書
cosponsored by IEEE Dielectrics and Electrical Insulation Society ... [et al.]
出版情報: Tokyo : Institute of Electrical Engineers of Japan, c1998 , Piscataway, New Jersey : IEEE, c1998  iii, 837 p. ; 30 cm
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86.

図書

図書
電気学会通信教育会 [編]
出版情報: 東京 : 電気学会 , 東京 : オーム社(発売), 1985.4  2, 3, 2, 4, 192p ; 22cm
シリーズ名: 電気学会大学講座 / 電気学会編
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87.

図書

図書
電気学会
出版情報: 東京 : 電気学会 , 東京 : オーム社 (発売), 2001.2  xviii, 2290p ; 27cm
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88.

図書

図書
電気学会放電ハンドブック出版委員会編
出版情報: 東京 : 電気学会, 1974  4, 14, 634, 6, 12p ; 22cm
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89.

図書

図書
電気学会放電管専門委員会
出版情報: 京都 : 電気書院, 1957.10  9, 309p ; 21cm
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90.

図書

図書
電気学会編
出版情報: 東京 : オーム社, 1959.11  1902p ; 22cm
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91.

図書

図書
電気四学会連合大会委員会 ; 電気学会 ; 電気通信学会 ; 照明学会 ; テレビジョン学会
出版情報: 東京 : 電気四学会連合大会委員会, 1957-  冊 ; 26cm
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92.

図書

図書
チョッパ制御方式専門委員会編
出版情報: 東京 : 電気学会, 1976  249p ; 22cm
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93.

図書

図書
電気学会・高電圧電気絶縁技術の歴史調査専門委員会編
出版情報: 東京 : オーム社, 2019.11  xiv, 356p, 図版2枚 ; 21cm
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94.

図書

図書
電気学会編
出版情報: 東京 : 電気学会, 1951.11  2, 2, 10, 350p ; 21cm
シリーズ名: 電気学会大学講座 / 電気学会編 ; . 電気機械工学||デンキ キカイ コウガク ; 3
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95.

図書

図書
電気学会編
出版情報: 東京 : オーム社, 1991.6  x, 201p ; 22cm
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96.

図書

図書
電気学会編
出版情報: 東京 : 電気学会, 1967  10, 2010, 4p ; 27cm
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97.

図書

図書
電気学会通信教育会編
出版情報: 東京 : 電気学会, 1953.3-  2冊 ; 22cm
シリーズ名: 電気学会大学講座 / 電気学会編
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98.

図書

図書
電気学会編
出版情報: 東京 : 電気学会, 1956  2128, 130p ; 21cm
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99.

図書

図書
電氣學會編纂
出版情報: 東京 : 電氣學會, 1931.7  218p ; 23cm
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目次情報: 続きを見る
輻射及びルミネスセンス / 山田幸五郎
電子現象 / 三枝彦雄
原子並に分子構造論 / 仁科芳雄
氣象界に於ける電氣磁氣現象 / 抜山大三
地球大氣に影響すべき太陽面現象と太陽輻射 / 關口鯉吉
輻射及びルミネスセンス / 山田幸五郎
電子現象 / 三枝彦雄
原子並に分子構造論 / 仁科芳雄
100.

図書

図書
電気学会編
出版情報: 東京 : 丸善, 1942.7  1876p ; 19cm
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