| JME材料科学 刊行によせて i |
| JME材料科学 刊行委員会から iii |
| 編訳者序文 v |
| 第1章 イオンビームを用いた材料表面層と薄膜の分析法 |
| 1・1 はじめに 3 |
| 1・2 分析法の基礎概念 4 |
| 1・2・1 表面分析 5 |
| 1・2・2 深さ方向分析 5 |
| 1・2・3 面分析 6 |
| 1・3 分析装置の共通事項 7 |
| 1・3・1 真空系 7 |
| 1・3・2 イオン源 8 |
| 1・3・3 イオンスパッタリング 9 |
| 1・4 分析法 11 |
| 1・4・1 オージェ電子分光法 11 |
| 1・4・2 X線光電子分光法 14 |
| 1・4・3 高エネルギーイオンビーム法 17 |
| 1・4・4 低速イオン散乱法 21 |
| 1・4・5 2次イオン質量分析法 23 |
| 1・4・6 その他の分析法 29 |
| 1・4・7 分析法の将来 30 |
| 1・5 分析法の比較 32 |
| 1・5・1 感度 32 |
| 1・5・2 マトリックス効果 35 |
| 1・5・3 試料の変質と消耗 36 |
| 1・5・4 定量化 37 |
| 1・5・5 化学結合に関する情報 41 |
| 1・5・6 分析速度 42 |
| 1・5・7 絶縁物の分析 43 |
| 1・6 結論 45 |
| SELF-TEST 1 49 |
| ANSWER ＆ STUDY 1 51 |
| 参考文献 53 |
| 第2章 オージェ電子分光法入門 |
| 2・1 はじめに 61 |
| 2・2 コアーレベルのイオン化 64 |
| 2・3 オージェ緩和過程 67 |
| 2・4 特性電子放出 68 |
| 2・5 脱出深さλ(E) 69 |
| 2・6 オージェスペクトル表示 71 |
| 2・7 エネルギーの測定 77 |
| 2・8 実験例の紹介 78 |
| SELF-TEST 2 85 |
| ANSWER ＆ STUDY 2 87 |
| 参考文献 89 |
| 第3章 低速イオン散乱分光法入門 |
| 3・1 はじめに 93 |
| 3・2 原理 95 |
| 3・3 古典力学の妥当性 96 |
| 3・4 熱効果と2体衝突近似 99 |
| 3・5 散乱イオンのエネルギーとターゲット原子の質量との関係 100 |
| 3・6 散乱イオン収量に及ぼす因子 101 |
| 3・7 装置 105 |
| 3・8 試料室と試料保持台 105 |
| 3・9 イオン源とイオンビーム 106 |
| 3・10 エネルギー分析器 107 |
| 3・11 典型的なスペクトル 108 |
| 3・12 単原子層検出感度 109 |
| 3・13 構造に関する情報 110 |
| 3・14 アイソトープ検出(同位体検出) 111 |
| 3・15 深さ分析 112 |
| 3・16 化学結合の情報 113 |
| 3・17 分解能 113 |
| 3・18 他の因子 114 |
| 3・19 まとめ 116 |
| SELF-TEST 3 117 |
| ANSWER ＆ STUDY 3 118 |
| 参考文献 119 |
| 第4章 材料科学と電子顕微鏡法 |
| 4・1 はじめに 123 |
| 4・2 半導体への応用 123 |
| 4・2・1 工業的応用例 123 |
| 4・2・2 科学的応用例 127 |
| 4・2・3 界面の研究 135 |
| 4・3 金属学への応用 138 |
| 4・3・1 工業的応用例 138 |
| 4・3・2 インコネル600の応力腐食割れ 141 |
| 4・3・3 科学的応用例(規則合金中の逆位相域境界チューブ) 143 |
| 4・4 放射線損傷 145 |
| 4・5 その場研究 146 |
| 4・6 おわりに 149 |
| 参考文献 151 |
| 付録 |
| (1) 基礎物理定数 157 |
| (2) 単位換算表 157 |
| (3) 元素の周期表 158 |
| (4) 本書で取り上げた分析法の名称と略語 159 |
| (5) 材料のキャラクタリゼーションと分析法の関係 160 |
| (6) 主な表面分析法の比較 161 |
| (7) エネルギー分析器 162 |
| 索引 169 |
図書
