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1.

図書
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1. 真空技術による高機能コーティング
田畑三郎, 黄燕清編著
出版情報: 東京 : 日刊工業新聞社, 1987.12  x, 278, vp ; 22cm
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2.

図書
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2. 絵とき真空技術基礎のきそ : これだけは知っておきたい必携知識
飯島徹穂著
出版情報: 東京 : 日刊工業新聞社, 2016.4  221p ; 21cm
シリーズ名: Mechatronics series
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第1章 : 真空技術へのファーストステップ
第2章 : 真空技術を活用するために知っておきたい基礎知識
第3章 : 真空環境をつくるための基本的な考え方
第4章 : 真空状態を生成するためのポンプ
第5章 : 真空状態を評価するための真空計
第6章 : 真空排気システムの実際
第1章 : 真空技術へのファーストステップ
第2章 : 真空技術を活用するために知っておきたい基礎知識
第3章 : 真空環境をつくるための基本的な考え方
3.

図書
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3. よくわかる最新真空の基本と仕組み : 基礎から学ぶ真空技術の知識とノウハウ : 真空の常識
飯島徹穂著
出版情報: 東京 : 秀和システム, 2009.6  215p ; 21cm
シリーズ名: How-nual図解入門
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4.

図書
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4. 初歩から学ぶ真空技術 : 基礎から応用まで
日本真空工業会編
出版情報: 東京 : 工業調査会, 1999.7  274p ; 21cm
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5.

図書

東工大
目次DB
図書
東工大
目次DB
5. 真空技術 : 発展の途を探る
辻泰, 齊藤芳男著
出版情報: 東京 : アグネ技術センター, 2008.4  vi, 177p ; 21cm
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まえがき i
1　真空技術発展の軌跡 1
   1.1　はじめに 1
   1.1.1　哲学から自然科学へ 1
   1.1.2　経験から実験へ 2
   1.1.3　気体の状態方程式 2
   1.1.4　分子の運動と電子・原子の発見 4
   1.2　真空技術の発展 5
   1.2.1　真空技術のはじまり 5
   1.2.2　原子物理学とともに 5
   1.2.3　電子管に至る封止系の発展 9
   1.2.4　表面物理の始まり 10
   1.3　排気系の大形化 11
   1.3.1　近代的真空ポンプと真空計の開発 11
   1.3.2　油拡散ポンプと加速器の登場 14
   1.4　超高真空から極高真空へ 16
   1.4.1　超高真空の確認 16
   1.4.2　真空の質の認識 17
   1.4.3　極高真空系の開発 20
   コラム　テプラー・ポンプの使い方 25
2　クヌーセンとスモルコフスキー－分子流領域における長い導管のコンダクタンス－ 31
   2.1　はじめに 31
   2.2　クヌーセンの方法 32
   2.3　スモルコフスキーの方法 34
   2.4　おわりに 37
   Appendix　任意な形状を持つ導管での流量と内部の圧力分布 39
3　1919年の真空計の論文を読む 41
   3.1　世界への窓の再開 41
   3.2　電離真空計 42
   3.3　ピラニ真空計 44
4　ブリアース効果を知っていますか？ 48
   4.1　油拡散ポンプの誕生 48
   4.2　ブリアース効果 49
   4.3　拡散ポンプ油分子 53
5　真空装置の中の水に気付いたのは誰か？ 57
   5.1　テプラー・ポンプの頃 57
   5.2　質量分析計の応用 62
6　電離真空計の発振現象の検討 70
   6.1　超高真空の幕開け 70
   6.2　イオン電流の異常と発振現象 73
7　バルクハウゼン－クルツ発振管見学記－電離真空計の発振現象解明のルーツ 78
   7.1　はじめに 78
   7.2　1941年のイースターエツグフ 78
   7.3　1917年の真空管技術 80
   7.4　バルクハウゼン－クルツ発振 82
   7.5　おわりに 84
8　電離真空計の残留電流と逆X線効果 85
   8.1　電離真空計の残留電流 85
   8.2　軟X線効果とその対策 85
   8.3　変調電極付きB－A真空計に関する思い出 89
   8.4　逆X線効果 91
9　真空ポンプの排気速度測定とテスト・ドーム 95
   9.1　排気速度測定へのテスト・ドームの導入 95
   9.2　現在の規格 99
   9.3　デイトン博士と日本真空協会 100
10　昇温脱離法スタートの頃 104
   10.1　昇温脱離法開発の背景 104
   10.2　フラッシュ・フィラメント法 106
   10.3　昇温脱離法 107
11　ピラニ真空計を高真空で使う 112
   11.1ピラニ真空計による圧力測定 112
   11.2　熱的適応係数について 117
12　ガラス細工の周辺 120
   12.1　はじめに 120
   12.2　ガラス細工との出合い 122
   12.3　軟質ガラスで手ほどきを受ける 123
   12.4　硬質ガラスに移る 124
   12.5　グリースレス・コック 126
   12.6　生産技術研究所に戻って 129
   12.7　水銀の問題その他 132
13　真空の教科書－私の1950年代 124
   13.1　1950年代の状況 134
   13.2　気体分子運動論 135
   13.3　真空技術 137
   13.4　真空用材料 140
   13.5　1960年代以降についての補足 142
14　CERNとジュネーブの気圧計 145
   14.1　CERNの加速器 145
   14.2　17・18世紀の水銀柱気圧計 148
コラム　「アンペールの家」見学記 155
付表1　年表（真空に関連する科学・技術・産業の主なできごと） 163
付表2　圧力単位換算表 167
初出一覧 168
人名索引 169
事項索引 171
まえがき i
1　真空技術発展の軌跡 1
   1.1　はじめに 1
6.

図書
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6. 半導体真空技術 : ポイント解説
宇津木勝著
出版情報: 東京 : 東京電機大学出版局, 2011.5  219p ; 22cm
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7.

図書
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7. ビジュアル真空技術
平谷雄二著
出版情報: 東京 : コロナ社, 2001.10  x, 193p ; 21cm
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8.

図書
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8. 真空でなにができるか
飯島徹穂, 村田信義著
出版情報: 東京 : 日刊工業新聞社, 2001.7  iv, 174p ; 21cm
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9.

図書
図書
9. 薄膜作成の基礎. 第4版
麻蒔立男著
出版情報: 東京 : 日刊工業新聞社, 2005.7  xiii, 352p ; 21cm
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10.

図書
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10. 真空技術とその物理
T.A.Delchar著 ; 石川和雄訳
出版情報: 東京 : 丸善, 1995.9  xi, 265p ; 21cm
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