| 1.
図書 |
図書
|
日本学術振興会簿膜第131委員会編
|
|||||||||||||||
| 2.
図書 |
図書
|
日本学術振興会薄膜第131委員会編
|
|||||||||||||||
| 3.
図書 |
図書
|
日本学術振興会薄膜第131委員会編
|
|||||||||||||||
| 4.
図書 |
|
日本学術振興会薄膜第131委員会編集企画 ; 吉田貞史, 近藤高志編著
目次情報:
続きを見る
概要:
薄膜技術は基礎的な技術でありながら、関連する応用分野は広く、とくに今日のナノテクノロジーは微細加工・微細構造作製技術と組み合わされた薄膜技術なしには成り立たない。本書では基本を重視する従来の編集方針はそのままに、近年ますます広がりをみせる薄
…
膜技術に対応すべく、大幅な改訂を行った。薄膜分野に携わる研究者、技術者にとって、基本技術の解説書として最適な一冊である。
続きを見る
|
