1章 電気電子計測について |
1.1 計測とは 1 |
1.2 計測と測定の関係 2 |
1.3 計測システム 3 |
1.3.1 計測技術 3 |
(a) 信号変換技術 |
(b) センサ技術 |
1.3.2 計測装置 4 |
(a) センサ素子 |
(b) 増幅素子 |
(c) 電気電子計測装置 |
1.4 電気電子計測の関連話題 5 |
1.4.1 不確かさと情報量 5 |
(a) 情報量の表現 |
(b) 計測値の情報量 |
1.4.2 失敗学的整理 6 |
(a) センサ機能不良の場合 |
(b) 計測値に対する信頼性低下の場合 |
1.4.3 安全基準 8 |
(a) 統計的表現 |
(b) 品質管理 |
(c) 安全と安心 |
演習問題 9 |
2章 センシングの技術 |
2.1 センシングの基本機能 11 |
2.2 情報媒体による分類 12 |
2.3 電気・磁気利用のセンシング 13 |
2.3.1 電圧センサ 13 |
(a) 高抵抗 |
(b) 分圧抵抗 |
(c) 計器用変圧器 |
2.3.2 電流センサ 14 |
(a) 低抵抗 |
(b) 分流抵抗(シャント抵抗) |
(c) 計器用変流器 |
(d) ロゴウスキーコイル(カレントトランス) |
2.3.3 磁気センサ 16 |
(a) サーチコイル |
(b) ホール素子 |
(c) 磁気抵抗素子 |
(d) SQUID |
2.4 電波・光利用のセンシング 20 |
2.4.1 電波センサ 20 |
(a) マイクロ波アンテナ |
2.4.2 光センサ 21 |
(a) フォトダイオード |
(b) フォトトランジスタ |
(c) 光導電セル |
(d) 光電子増倍管 |
(e) 分光器 |
2.4.3 イメージセンサ 23 |
(a) CCD素子 |
(b) CMOS素子 |
2.5 変位・力利用のセンシング 24 |
2.5.1 電気量センサ 26 |
(a) 可動コイル形 |
(b) 可動鉄片形 |
(c) 電流力計形 |
(d) 誘導形 |
(e) 静電形 |
2.5.2 圧力センサ 26 |
(a) ブルドン管 |
(b) ダイアフラム |
(c) 圧電素子 |
2.5.3 音・超音波センサ 27 |
(a) マイクロフォン |
(b) 圧電素子(ピエゾ効果) |
2.6 熱利用のセンシング 28 |
2.6.1 温度センサ 30 |
(a) 熱電対 |
(b) サーミスタ |
2.6.2 光センサ 30 |
(a) 焦電素子 |
2.6.3 ガスセンサ 31 |
(a) 熱-抵抗変換形素子 |
(b) 熱電対 |
演習問題 32 |
3章 電気電子計測の対象 |
3.1 分類と相互関係 34 |
3.1.1 大きさの表現 35 |
3.1.2 計測対象の分類 35 |
3.2 信号波形 36 |
3.2.1 直流と交流 37 |
(a) 直流信号 |
(b) 交流信号 |
(c) 電気角と角周波数 |
3.2.2 表示法 37 |
(a) 瞬時値と位相 |
(b) 平均値と実効値 |
(c) 複素ベクトル |
3.3 電気量 39 |
3.3.1 低周波帯域 40 |
(a) 電圧・電流 |
(b) インピーダンス・アドミッタンス |
(c) 直列共振・並列共振 |
(d) 交流電力 |
3.3.2 高周波帯域 40 |
(b) 平均電力 |
(c) 分布インピーダンス |
3.4 磁気量 43 |
3.4.1 磁界 45 |
(a) 右ネジの法則 |
(b) ローレンツ力 |
(c) アンペアの法則 |
3.4.2 磁束密度 45 |
3.4.3 磁気損失 46 |
(a) ヒステリシス曲線 |
(b) ヒステリシス損失とうず電流損 |
3.5 物理化学量 48 |
3.5.1 物理量 50 |
(a) 変位 |
(b) 圧力 |
(c) 音 |
(d) 電磁波・光 |
(e) 熱 |
(f) スペクトル |
3.5.2 化学量 50 |
(a) ガス種 |
(b) ガス濃度 |
演習問題 52 |
4章 測定と評価の方法 |
4.1 国際単位系 52 |
4.1.1 単位と標準化 53 |
4.1.2 メートル条約 53 |
4.1.3 国際単位系 54 |
(a) 時間 |
(b) 長さ |
(c) 質量 |
(d) 熱力学的温度 |
(e) 光度 |
(f) 物質量 |
(g) 電流 |
4.1.4 SIにおける電気磁気単位の組み立て 55 |
4.1.5 SI接頭語 58 |
4.1.6 単位の標記 59 |
4.2 標準器 60 |
4.2.1 単位の標準 60 |
4.2.2 電流の標準器 60 |
4.2.3 量子標準 60 |
(a) 量子電圧標準 : ジョセフソン量子電圧標準 |
(b) 量子抵抗標準 : 量子ホール効果抵抗標準 |
4.2.4 実用標準 63 |
(a) ウインストン標準電池 |
(b) 標準電圧発生装置(ツェナーダイオード) |
(c) トーマス形標準抵抗器 |
4.2.5 トレーサビリティ 66 |
4.3 測定法の分類 66 |
4.3.1 零位法と偏位法 67 |
4.3.2 補償法 68 |
4.3.3 置換法 68 |
4.3.4 直接測定と間接測定 68 |
4.4 信号とノイズ 68 |
4.4.1 ノイズ 68 |
4.4.2 SN比(SNR) 69 |
4.4.3 雑音指数(ノイズフィギュア) 70 |
4.5 信号選択技術 70 |
4.5.1 概要 70 |
4.5.2 時間領域での信号選択 71 |
(a) 時間変動する信号 |
(b) 測定値の変化がゆっくりしていることを活用する : 平滑化 |
(c) 測定値の周期性を取り出す : 相関関数 |
(d) 測定値の特定の周期に注目する : 周期加算 |
(e) 周波数を選別する : フィルタリング |
4.5.3 空間領域での信号選択 76 |
(a) 既知のモデルで影響量の効果を取り除く : 補償 |
(b) 測定値の対称性でノイズを取り除く : 差動 |
4.6 精度の概念 78 |
4.6.1 ばらつきと偏り 78 |
4.6.2 誤差と不確かさ 79 |
4.6.3 分布と標準偏差 79 |
4.6.4 「不確かさ」の表現 82 |
(a) Aタイプ標準不確かさ |
(b) Bタイプ標準不確かさ |
(c) 合成不確かさ |
(d) 拡張不確かさ |
4.6.5 不確かさの標記 82 |
4.6.6 測定機器の精度と等級 84 |
演習問題 85 |
5章 電気電子計測器の機能と種類 |
5.1 基本機能 87 |
5.2 センシング 87 |
5.2.1 電圧センサ 90 |
5.2.2 電流センサ 91 |
(b) 分流抵抗 |
(c) カレントトランス |
(d) ホール素子 |
5.2.3 磁気センサ 92 |
5.2.4 温度センサ 93 |
5.3 信号調節 94 |
5.3.1 インピーダンス整合(impedance matching) 94 |
5.3.2 信号増幅・減衰回路,インピーダンス変換 95 |
(a) 増幅回路 |
(b) 減衰回路 |
(c) インピーダンス変換 |
5.3.3 ノイズ低減回路 98 |
5.4 A/D・D/A変換 100 |
5.4.1 サンプリング定理(sampling theorem) 100 |
5.4.2 量子化(quantization)と量子化誤差(quantization error) 107 |
5.4.3 サンプル&ホールド回路(sample and hold circuit) 108 |
5.4.4 A/D変換 112 |
(a) 二重積分形A/D変換 |
(b) 逐次比較形A/D変換 |
5.4.5 D/A変換 115 |
(a) 重み付け抵抗を用いたD/A変換器 |
(b) R-2Rはしご形抵抗を用いたD/A変換 |
5.5 アナログ計測器 115 |
5.5.1 指示計器の分類 117 |
(a) 可動コイル形計器(moving-coil type instrument) |
(b) 可動鉄片形計器(moving-iron type instrument) |
(c) 電流力計形計器(electrodynamic type instrument) |
(d) 整流形計器(rectifier type instrument) |
(e) 熱電形計器(thermocouple type instrument) |
(f) 誘導形計器(induction type instrument) |
(g) 静電形計器(electrostatic type instrument) |
5.5.2 アナログテスタ(analog tester) 118 |
(a) 測定原理と特徴 |
(b) 測定対象と機能 |
(c) 測定精度による用途 |
5.5.3 高周波計器 119 |
(a) 交流ブリッジ(ac bridge) |
(b) Qメータ |
(c) 電子インピーダンス計(インピーダンスアナライザ) |
5.5.4 アナログオシロスコープ(analog oscilloscope) 122 |
(a) 波形観測の基本原理 |
(b) 二現象観測 |
(c) プローブ(probe) |
5.6 ディジタル計測器 123 |
5.6.1 ディジタルマルチメータ(digital multimeter) 123 |
5.6.2 ディジタルオシロスコープ(digital oscilloscope) 128 |
(a) 波形観測原理と特徴 |
(b) トリガ法 |
(c) FFT機能 |
5.6.3 PCインタフェース 130 |
(a) 種類と概要 |
(b) 用途 |
5.6.4 遠隔計測 133 |
(a) インターネット環境 |
(b) Web計測システムの概要 |
(c) 遠隔計測の例 |
演習問題 134 |
6章 基本的な測定例 138 |
6.1 低域周波数の電気量 140 |
6.1.1 直流の電圧,電流の測定 144 |
(a) 測定器の選定 |
(b) 接続方法 |
(c) 実験手順 |
(d) データ整理 |
(e) 注意点 |
6.1.2 交流の電圧と電流の測定 144 |
(b) 配線図 |
6.1.3 交流電力,力率,インピーダンスの測定 146 |
(a) 交流電力計の選定 |
(b) 交流電力測定の配線図 |
(f) 交流ブリッジによるインピーダンス測定 |
(g) 配線図 |
(h) ブリッジ実験手順 |
6.1.4 周波数,位相の測定 148 |
6.1.5 低抵抗と高抵抗の測定 150 |
(c) 四端子法による低抵抗の測定手順 |
6.2 低周波数の磁気量 150 |
6.2.1 磁束の測定 152 |
(a) 計測器の選択 |
(b) 実験法 -接続図,手順(原理),注意点- |
(c) データ整理 |
6.2.2 磁束密度の測定 154 |
(a) 計測器の選定 |
6.2.3 磁気損失(鉄損)の測定 156 |
6.3 中・高域周波数の電磁気量 160 |
6.3.1 信号波形の測定 162 |
6.3.2 FFTアナライザによる周波数スペクトルの測定 164 |
6.3.3 スペクトルアナライザによる周波数スペクトルの測定 164 |
6.3.4 電流波形の測定 166 |
6.3.5 高周波.マイクロ波の電力測定 167 |
6.3.6 Qの測定 168 |
6.3.7 インピーダンス-周波数特性の測定 170 |
6.4 物理化学量の測定 174 |
6.4.1 長さ.変位の測定 175 |
(b) 干渉計光学系 |
(d) 注意点 |
6.4.2 圧力の測定 176 |
(a) 半導体圧力センサによる測定 |
(b) ピエゾセンサによる測定 |
6.4.3 音の測定 177 |
6.4.4 光の測定 177 |
6.4.5 温度の測定 178 |
(a) 温度センサの選択 |
(b) 熱電対による温度測定 |
(c) 熱電対の使用方法 |
(d) 熱電対使用時の注意点 |
(e) 放射温度計による温度測定 |
6.4.6 プラズマの計測 180 |
6.4.7 ガスの測定 181 |
演習問題 183 |
7章 計測データの表現法 183 |
7.1 データ処理 185 |
7.1.1 有効数字 187 |
7.1.2 測定値の求め方 189 |
(a) データ数とばらつき |
(b) 近似法 |
(c) ノイズ処理 |
7.1.3 グラフ作成の要素 189 |
7.1.4 PCファイルの変換と保存・読み出し 190 |
7.2 グラフ表示(表計算ソフトの活用法,グラフ化技法) 191 |
7.2.1 表計算ソフトの活用法 193 |
7.2.2 グラフ化技法 194 |
7.3 プレゼン技法 195 |
演習問題 201 |
索引 203 |