1.
|
図書
|
電気学会通信教育会著
出版情報: |
東京 : 電気学会 , 東京 : オーム社 (発売), 1987.12-1988.10 2冊 ; 22cm |
シリーズ名: |
電気学会大学講座 / 電気学会編 |
子書誌情報: |
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所蔵情報: |
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|
2.
|
図書
|
電気学会磁気アクチュエータ調査専門委員会編
出版情報: |
東京 : 電気学会, 1984.3 209p ; 22cm |
子書誌情報: |
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所蔵情報: |
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3.
|
図書
|
電気学会編
出版情報: |
東京 : オーム社, 1987.7 iv, 1570p ; 27cm |
子書誌情報: |
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所蔵情報: |
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|
4.
|
図書
|
電気学会通信教育会著
出版情報: |
東京 : 電気学会 , 東京 : オーム社 (発売), 1970.3 12, 436p ; 22cm |
シリーズ名: |
電気学会大学講座 / 電気学会編 |
子書誌情報: |
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所蔵情報: |
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5.
|
図書
|
[電気学会電気工学ハンドブック改版委員会編]
出版情報: |
東京 : 電気学会, 1988.2 2174p ; 27cm |
子書誌情報: |
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所蔵情報: |
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6.
|
図書
|
電気学会通信教育会著
出版情報: |
東京 : 電気学会 , 東京 : オーム社 (発売), 1988.3 xii, 213p ; 22cm |
シリーズ名: |
電気学会大学講座 / 電気学会編 |
子書誌情報: |
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所蔵情報: |
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7.
|
図書
|
電気学会センサ機能調査専門委員会編
出版情報: |
東京 : 電気学会 , 東京 : オーム社 (発売), 1988.4 275p ; 22cm |
子書誌情報: |
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所蔵情報: |
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8.
|
図書
|
電気学会絶縁試験法ハンドブック改訂委員会編
出版情報: |
東京 : 電気学会 , 東京 : オーム社 (発売), 1983.3 469p ; 22cm |
子書誌情報: |
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所蔵情報: |
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9.
|
図書
|
宅間董, 柳父悟執筆 ; 電気学会通信教育会著
出版情報: |
東京 : 電気学会 , 東京 : オーム社 (発売), 1988.9 xvii, 272p ; 22cm |
シリーズ名: |
電気学会大学講座 / 電気学会編 |
子書誌情報: |
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所蔵情報: |
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10.
|
図書
|
電気学会創立100周年記念出版委員会編
出版情報: |
東京 : 電気学会, 1988 507p ; 27cm |
子書誌情報: |
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所蔵情報: |
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11.
|
図書
|
電気学会編
出版情報: |
東京 : 電気学会, 1952.5 2, 2, 8, 210p ; 22cm |
シリーズ名: |
電気学会大学講座 / 電気学会編 |
子書誌情報: |
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所蔵情報: |
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12.
|
図書
|
電気学会編
出版情報: |
東京 : 電気学会, 1953 350p ; 21cm |
子書誌情報: |
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所蔵情報: |
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13.
|
図書
|
電気学会編集 ; 池田吉尭, 北村覺一, 正田英介執筆委員
出版情報: |
東京 : 電気学会 , 東京 : オーム社 (発売), 1993.4 xii, 232p ; 22cm |
シリーズ名: |
電気学会大学講座 / 電気学会編 |
子書誌情報: |
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所蔵情報: |
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14.
|
図書
|
電気学会編
出版情報: |
東京 : 電気学会, 1939 6,566p ; 30cm |
子書誌情報: |
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所蔵情報: |
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|
15.
|
図書
|
電気学会東京支部、電気通信学会東京支部共編
出版情報: |
東京 : コロナ社, 1957.4 2, 7, 261p ; 22cm |
子書誌情報: |
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所蔵情報: |
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|
16.
|
図書
|
電気学会編
出版情報: |
京都 : 電気書院, 1950.11 9,244,8p ; 18cm |
子書誌情報: |
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所蔵情報: |
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|
17.
|
図書
|
電気学会積層材料技術調査専門委員会編
出版情報: |
東京 : コロナ社, 1989.12 viii, 460p ; 22cm |
子書誌情報: |
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所蔵情報: |
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18.
|
図書
|
電気学会編
出版情報: |
東京 : 電気学会, 1951.9 17, 340, 10p ; 22cm |
シリーズ名: |
電気学会大学講座 / 電気学会編 |
子書誌情報: |
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所蔵情報: |
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19.
|
図書
|
電気学会通信教育会編
|
20.
|
図書
|
文部省, 電気学会 [編]
出版情報: |
東京 : 電気学会 , 東京 : コロナ社 (発売), 1991.7 9, 1097p ; 19cm |
子書誌情報: |
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所蔵情報: |
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|
21.
|
図書
|
電気学会編
出版情報: |
東京 : 電気学会 , 東京 : コロナ社 (発売), 1963.10 2, 2, 7, 1351p ; 27cm |
子書誌情報: |
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所蔵情報: |
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22.
|
図書
|
電気学会編
出版情報: |
東京 : 電気学会, 1931 145p ; 18cm |
子書誌情報: |
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所蔵情報: |
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23.
|
図書
|
電気学会編集
出版情報: |
東京 : 日本電気協会, 1960 293,[88]p ; 26cm |
子書誌情報: |
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所蔵情報: |
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24.
|
雑誌
|
電気学会 = the Institute of Electrical Engineers of Japan
出版情報: |
東京 : 電気学会 , 東京 : オーム社 (会員外発売所), 1987- v. ; 26cm |
巻次年月次: |
107巻1号 (Jan. 1987)- |
子書誌情報: |
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所蔵情報: |
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25.
|
図書
|
高木俊宜執筆委員 ; 電気学会編集
出版情報: |
東京 : 電気学会 , 東京 : オーム社 (発売), 1999.5 xii, 323p ; 22cm |
シリーズ名: |
電気学会大学講座 / 電気学会編 |
子書誌情報: |
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所蔵情報: |
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26.
|
図書
|
電気学会編
出版情報: |
東京 : オーム社, 1998.3 35, 1458p ; 21cm |
子書誌情報: |
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所蔵情報: |
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27.
|
図書
|
電気学会通信教育会 [編]
出版情報: |
東京 : 電気学会 , 東京 : オーム社 (発売), 1984.2 2, 3, 2, 4, 192p ; 22cm |
シリーズ名: |
電気学会大学講座 / 電気学会編 |
子書誌情報: |
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所蔵情報: |
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28.
|
図書
|
電気学会公共施設技術委員会, 中丸修編
出版情報: |
東京 : コロナ社, 1998.10 x, 162p ; 21cm |
子書誌情報: |
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所蔵情報: |
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29.
|
雑誌
|
電気学会
出版情報: |
東京 : 電気学会, 1990- v.; 26cm |
巻次年月次: |
110巻1号 (平2.1)- |
子書誌情報: |
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所蔵情報: |
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30.
|
雑誌
|
電気学会
出版情報: |
東京 : 電気学会, 1990- v. ; 26cm |
巻次年月次: |
110巻1号 (平2.1)- |
子書誌情報: |
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所蔵情報: |
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31.
|
雑誌
|
電気学会
出版情報: |
東京 : 電気学会, 1994.1- 冊 ; 30cm |
巻次年月次: |
114巻1号 (平6.1)- |
子書誌情報: |
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所蔵情報: |
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32.
|
雑誌
|
電気学会 [編]
出版情報: |
東京 : 電気学会, 1995- 冊 ; 26cm |
巻次年月次: |
115巻1号 (1995)- |
子書誌情報: |
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所蔵情報: |
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33.
|
雑誌
|
電氣学會
出版情報: |
東京 |
巻次年月次: |
1卷 (大10/11)-18 (昭13) |
子書誌情報: |
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所蔵情報: |
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34.
|
雑誌
|
電気学会
出版情報: |
[東京] : オーム社 (発売), 1888-1993 冊 ; 30cm |
巻次年月次: |
1輯1號 (明21.7)-113巻13号 (平5.12) |
子書誌情報: |
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所蔵情報: |
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35.
|
雑誌
|
電氣學會
出版情報: |
東京 : 電氣學會, 1939- 冊 ; 29cm |
巻次年月次: |
1巻1號 (昭14.1)- |
子書誌情報: |
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所蔵情報: |
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36.
|
雑誌
|
電氣學會, 電氣通信學會, 照明學會 [編]
出版情報: |
東京 : 電氣學會, 1950-1951 |
巻次年月次: |
24回 (昭25.4)-25回 (昭26.5) |
子書誌情報: |
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所蔵情報: |
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37.
|
雑誌
|
電気学会, 電気通信学会, 照明学会 [編]
出版情報: |
東京 : 電気学会, 1951-1969 |
巻次年月次: |
26回 ( [昭26] )-昭和44年 (昭44) |
子書誌情報: |
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所蔵情報: |
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38.
|
雑誌
|
電気学会 = the Institute of Electrical Engineers of Japan
出版情報: |
東京 : 電気学会 , 東京 : オーム社 [会員外発売所] (発売), 1972-1989 18v. ; 26cm |
巻次年月次: |
92巻1号 (昭47.1)-109巻12号 (平1.12) |
子書誌情報: |
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所蔵情報: |
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39.
|
雑誌
|
電気学会 = the Institute of Electrical Engineers of Japan
出版情報: |
東京 : 電気学会 , 東京 : オーム社 [会員外発売所] (発売), 1972-1989 18v.; 26cm |
巻次年月次: |
92巻1号 (昭47.1)-109巻12号 (平1.12) |
子書誌情報: |
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所蔵情報: |
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40.
|
雑誌
|
電気学会
出版情報: |
東京 : 電気学会 , 東京 : オーム社 [会員外発売所] (発売), 1972-1986 15v.; 26cm |
巻次年月次: |
92巻1号 (昭47.1)-106巻12号 (昭61.12) |
子書誌情報: |
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所蔵情報: |
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41.
|
雑誌
|
電氣學會
出版情報: |
東京 : 電氣學會, 1940-1944 冊 ; 29cm |
巻次年月次: |
1巻1號 (昭15.1)-5巻11・12號 (昭19.11/12) |
子書誌情報: |
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所蔵情報: |
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42.
|
雑誌
|
電気学会, 電気通信学会, 照明学会
出版情報: |
東京 : 電気三学会東京支部 |
巻次年月次: |
昭和25年11月 (昭25.11)-昭和25年11月 (昭25.11) |
子書誌情報: |
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所蔵情報: |
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43.
|
雑誌
|
電気学会 [編]
出版情報: |
東京 : 電気学会全国大会委員会, 1971.3-2017.3 冊 ; 26-30cm |
巻次年月次: |
昭和46年 (昭46)-昭和63年 (昭63) ; 平成元年 (平1)-平成29年 (平29) |
子書誌情報: |
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所蔵情報: |
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44.
|
雑誌
|
電気学会
出版情報: |
東京 : 電気学会, 1987- v. ; 26cm |
巻次年月次: |
107巻1号 (昭62.1)- |
子書誌情報: |
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所蔵情報: |
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45.
|
雑誌
|
電気学会, 電子通信学会, 照明学会, テレビジョン学会, 情報処理学会 = Institutes of Electrical and Information Engineers, Japan
出版情報: |
東京 : 電気・情報関連学会常置連合大会企画委員会, 1985.8-1995 |
巻次年月次: |
昭和60年 (昭60)-昭和63年 (昭63) ; 平成元年 (平1)-平成7年 (平7) |
子書誌情報: |
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所蔵情報: |
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46.
|
図書
|
電気学会高性能高機能パワーデバイス・パワーIC調査専門委員会編
出版情報: |
東京 : コロナ社, 1996.7 xi, 482p ; 27cm |
子書誌情報: |
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所蔵情報: |
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47.
|
図書
|
電気学会ヒューズ用語標準特別委員会, 電気学会電気専門用語標準化委員会, 電気学会電気規格調査会編
|
48.
|
図書
東工大 目次DB
|
電気学会・プラズマイオン高度利用プロセス調査専門委員会編
出版情報: |
東京 : オーム社, 2005.10 xi, 279p ; 22cm |
子書誌情報: |
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目次情報:
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1章はじめに 1 |
2章プラズマの基礎 5 |
2.1ドライプロセスの工具としてのプラズマの特徴 5 |
2.2プラズマの定義とその基本的性質 7 |
2.2.1プラズマの定義 7 |
2.2.2プラズマを特徴づけるパラメータ 9 |
2.2.3電磁界中での荷電粒子の運動 13 |
2.2.4集団現象 18 |
2.3プラズマ中の粒子衝突過程 22 |
2.3.1ボーアの原子模型と軌道電子のエネルギー準位 22 |
2.3.2剛体球同士の衝突 23 |
2.3.3イオンの衝突断面積 25 |
2.3.4さまざまな衝突過程 27 |
2.3.5クーロン衝突 31 |
2.4プラズマを記述する基礎方程式 34 |
2.4.1流体モデル 34 |
2.4.2運動論の基礎 37 |
2.5プラズマの輸送 39 |
2.5.1電界による移動 39 |
2.5.2衝突拡散 40 |
2.5.3両極性拡散 41 |
2.5.4磁界の拡散抑制効果 42 |
参考文献 42 |
3章イオンシースの基礎 45 |
3.1ボーム基準とプレシース 45 |
3.2プラズマと基材との境界層 49 |
3.2.1イオンシースの形成条件 49 |
3.2.2定常チャイルド則シース 53 |
3.3マトリクスシースとチャイルド則一次元イオンシース 55 |
3.4基材に流れる電流とイオン電流 57 |
3.4.1単一イオン種を含むイオン電流 57 |
3.4.2多成分イオン種を含むイオン電流 59 |
3.5イオンシースに対するいろいろな効果 60 |
3.5.1中性粒子との衝突 60 |
3.5.2磁界 62 |
3.5.3絶縁物 63 |
参考文献 65 |
4章プラズマイオンプロセスにおけるプラズマの条件 67 |
4.1三次元形状物とプラズマに要求される条件 67 |
4.1.1粒子のバランス式と密度のスケール則 67 |
4.1.2プラズマ密度の非一様性 70 |
4.2プラズマイオンプロセスとプラズマ特性の表現 73 |
4.3イオンシースの過渡的現象 76 |
4.3.1電圧パルスに対するシースの応答 77 |
4.3.2イオン密度の時間応答 79 |
4.3.3RF電圧に対するイオンシースの応答 80 |
4.3.4RF印加時の反応容器の影響 81 |
4.4イオン注入とスパッタリング 83 |
4.4.1イオンのエネルギー損失 83 |
4.4.2イオン注入 87 |
4.4.3スパッタリング 89 |
4.4.4付着 91 |
参考文献 93 |
5章プラズマ源 95 |
5.1気体プラズマ源 95 |
5.1.1定常プラズマと過渡プラズマ 96 |
5.1.2定常プラズマ生成法 99 |
5.1.3電子の加速と捕捉 100 |
5.1.4パルスグロー放電と複合プラズマ源 129 |
5.2金属プラズマ源 131 |
5.2.1背景 131 |
5.2.2金属プラズマの発生 131 |
5.2.3陰極アーク 132 |
5.2.4マクロパーティクルの除去 138 |
5.2.5いろいろなプラズマ源 141 |
5.2.6金属イオン源 147 |
参考文献 148 |
6章プラズマ計測 153 |
6.1プラズマモニタリングとは 153 |
6.2何を計測するか 154 |
6.3代表的なプラズマ計測法 155 |
6.3.1静電プローブ 155 |
6.3.2プラズマ吸収プローブ 160 |
6.3.3質量分析装置 167 |
6.4処理基材およびその周辺部の計測 170 |
6.4.1シースの挙動 170 |
6.4.2シース挙動の実測例 172 |
6.4.3イオンドーズ量と二次電子放出係数 174 |
参考文献 176 |
7章モデリング 179 |
7.1プラズマ表面相互作用 179 |
7.2PIC/MCCシミュレーション 181 |
7.3分子動力学シミュレーション 185 |
参考文献 191 |
8章機能性薄膜の生成 193 |
8.1PBII&D法による薄膜生成 193 |
8.2高エネルギーイオンによる表面改質 195 |
8.3低エネルギー深部注入 197 |
8.4金属イオン種による堆積・イオン注入システム 201 |
8.4.1背景 201 |
8.4.2MEVVAによる改質 203 |
8.4.3金属プラズマ源を用いたPBII&D法 204 |
8.5DLC膜の生成 211 |
8.5.1背景 211 |
8.5.2パルスグローによるDLC成膜 212 |
8.5.3シャンティングアークによるDLC成膜 213 |
8.5.4いろいろな応用 216 |
8.6円筒材への注入・堆積 218 |
8.6.1パイプへの注入・堆積 218 |
8.6.2ペットボトルの表面改質 220 |
8.7医療への応用 225 |
8.8滅菌 227 |
8.8.1医療現場の滅菌 227 |
8.8.2PBII法を用いた滅菌プロセス装置および滅菌方法 227 |
8.8.3滅菌結果 228 |
8.8.4表面状態の変化 230 |
参考文献 231 |
9章半導体への応用 239 |
9.1背景 239 |
9.2極浅接合の形成 241 |
9.2.1PBII法による極浅接合 241 |
9.2.2BF3/SiF4によるPBII法 243 |
9.2.3水素化物を用いるドーピング 246 |
9.3フラットディスプレイパネル 247 |
9.4SOIの形成 249 |
9.4.1SOIについて 250 |
9.4.2SPIMOX 250 |
9.4.3SPIMOXスマートカットTM/イオンカット 253 |
9.4.4SOI材料 256 |
9.5水素注入シリコンの光学的特性 261 |
9.6直流によるPBII法と半導体応用 266 |
参考文献 269 |
索引 275 |
1章はじめに 1 |
2章プラズマの基礎 5 |
2.1ドライプロセスの工具としてのプラズマの特徴 5 |
|
49.
|
図書
|
電気学会編 ; ナノスケール磁性体の機能調査専門委員会著
出版情報: |
東京 : 共立出版, 2010.6 viii, 279p ; 22cm |
子書誌情報: |
loading… |
所蔵情報: |
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|
50.
|
図書
|
電気学会編
出版情報: |
東京 : オーム社, 2013.9 xix, 2681p ; 27cm |
子書誌情報: |
loading… |
所蔵情報: |
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目次情報:
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