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1.

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斎藤秀俊監修 ; 大竹尚登, 中東孝浩編集委員
出版情報: 東京 : エヌ・ティー・エス, 2006.6  2, 13, 601, 5, 20p, 図版6p ; 27 cm
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大竹尚登 [ほか] 編著
出版情報: 東京 : 講談社, 2012.3  iv, 223p ; 21cm
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大竹尚登監修
出版情報: 東京 : シーエムシー出版, 2013.8  7, vii, 306p ; 26cm
シリーズ名: CMCテクニカルライブラリー ; 469 . 新材料・新素材シリーズ||シンザイリョウ シンソザイ シリーズ
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第1章 : 序論
第2章 : 機械的応用
第3章 : 電気的・光学的・化学的応用
第4章 : 次世代応用のためのDLC基盤技術
第5章 : 次世代応用のためのDLC先端技術
第6章 : 総括
第1章 : 序論
第2章 : 機械的応用
第3章 : 電気的・光学的・化学的応用
4.

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帯川利之, 笹原弘之編著 ; 齊藤卓志 [ほか] 著
出版情報: 東京 : 講談社, 2016.6  2冊 ; 21cm
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第1章 : 序論
第2章 : 鋳造
第3章 : プラスチック成形加工
第4章 : 溶接・接合
第5章 : 塑性加工
第6章 : 切削加工
第7章 : 研削加工
第8章 : 研磨加工
第1章 材料と加工
第2章 生産システムと金型の加工
第3章 電気加工
第4章 レーザ加工
第5章 表面処理とコーティング
第6章 アディティブマニュファクチャリング / 付加製造
第7章 : マイクロ加工
第1章 : 序論
第2章 : 鋳造
第3章 : プラスチック成形加工
5.

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東工大Science Techno著
出版情報: 東京 : 主婦の友社, [2016.2]  80p ; 26cm
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第1章 きれい!見る工作 : 虹が作れる!分光器
黒い壁をすり抜ける!?ブラックウォールボックス
鏡の迷宮へようこそ!3D万華鏡ラビリンス
世界がさかさに見える!カメラ・オブスキュラ
ビーズもビー玉もいらない!偏光板万華鏡
第2章 おもしろい!使う工作 : 作って歌おう!エコーマイク
紙コップでかんたん!コップホン
おうちで作れる!入浴剤
第3章 楽しい!動かす工作 : 表面張力で動く!エタノールボート
斜めになってもきれいに回る!マクスウェルのコマ
床をすべるUFO!?ホバーバイク
風に向かって進む!ウインドカー
第4章 スゴイ!飛ばす工作 : 磁石の力で飛び出す!ガウスロケット
驚くほど飛ぶ!サイテク式紙飛行機
飛ばして飛ばして遊ぼう!プラコプター
すべるように飛ぶ!空力翼艇
第1章 きれい!見る工作 : 虹が作れる!分光器
黒い壁をすり抜ける!?ブラックウォールボックス
鏡の迷宮へようこそ!3D万華鏡ラビリンス
概要: 東工大サイエンステクノは、国立東京工業大学の公認サークルです。年間100件近く子ども向けの科学実験と工作のワークショップを開いています。その数多くの工作から17種を厳選して紹介。どれも身近な材料を使い、小学生でも作れるかんたんなものばかり。 作り方はカラー写真とふりがなつきの大きな文字で丁寧に解説。作って遊んで楽しいのはもちろん、科学の基礎知識まで身につきます。夏休みの自由研究にもおすすめです。 続きを見る
6.

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東工大
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東工大
目次DB
吉川昌範, 大竹尚登共著
出版情報: 東京 : オーム社, 1995.6  viii, 179p ; 21cm
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1章 気相合成ダイヤモンドの基本事項に関する1問1答
   1-1 ダイヤモンドは,どのような特性を持っていますか。また,工業用材料としてどのような特徴がありますか 2
   1-2 気相合成ダイヤモンドとは何ですか。天然のダイヤモンドとどう違いますか 4
   1-3 化学気相成長法とは何ですか 6
   1-4 気相からダイヤモンドが成長するためには,どのような環境が必要ですか 8
   1-5 気相合成ダイヤモンドは,どのような色や結晶形をしていますか 10
   1-6 気相合成ダイヤモンドとは,どのようなものですか 13
   1-7 気相からダイヤモンドを合成するには,原子状水素が必要とされています。原子状水素は,どのような役割をしているのですか 16
   1-8 気相合成ダイヤモンドは,どのような製品に使われますか 18
   1-9 ダイヤモンドの同素体にはどのようなものがあり,どのような構造をしていますか 20
   1-10 ダイヤモンド状炭素膜(硬質炭素膜)とは,どのようなものですか 22
2章 気相からダイヤモンド合成技術に関する1問1答
   2-1 ダイヤモンドを気相合成法によってつくるには,どのような方法がありますか 26
   2-2 熱フィラメント法とは,どのような方法ですか 28
   2-3 マイクロ波プラズマ法とは,どのような方法ですか 30
   2-4 高周波プラズマ法とは,どのような方法ですか 33
   2-5 直流放電プラズマ法とは,どのような方法ですか 35
   2-6 アーク放電プラズマジェット法とは,どのような方法ですか 37
   2-7 燃焼炎法とは,どのような方法ですか 40
   2-8 プラズマに電界を加えることは,ダイヤモンド合成に有効ですか 42
   2-9 プラズマに磁界を加えることは,ダイヤモンド合成に有効ですか 44
   2-10 ダイヤモンド合成のための原料気には,どのようものが使われますか 47
   2-11 物理気相合成法でダイヤモンドは合成できますか 49
   2-12 ダイヤモンドの核は基板上で,どのように生成されますか 51
   2-13 核生成密度を増加させるには,どのような方法がありますか 53
   2-14 ダイヤモンドの選択成長は,どのように行われますか 56
   2-15 気相合成法によってダイヤモンド粒はできますか 58
   2-16 ダイヤモンドを高速に合成させる手段には,どのような方法がありますか 60
   2-17 ダイヤモンドを大きな面積に合成するには,どうしたらよいですか 62
   2-18 透明なダイヤモンドは,どのようにすれば合成できますか 64
   2-19 ダイヤモンドを低い基板温度で合成させるには,どのような方法がありますか 66
   2-20 気相合成ダイヤモンドへの不純物添加は,どのようにして行われますか 68
   2-21 ダイヤモンド成長において酸素は,どのような役割をしていますか 70
   2-22 ダイヤモンド合成において気相中や成長表面では,どのような反応が起こっていますか 72
   2-23 ダイヤモンドのエピタキシャル成長は可能ですか 74
   2-24 ダイヤモンド状炭素膜の合成は,どのように行われますか 77
   2-25 ダイヤモンドに似た立方晶窒化ホウ素も,気相合成法で合成することができますか 79
3章 気相合成ダイヤモンドの評価に関する1問1答
   3-1 X線回折によって,どのようなことがわかりますか 82
   3-2 ラマン分光分析によって,どのようなことがわかりますか 84
   3-3 カソードルミネセンス(Cl)によって,どのようなことがわかりますか 87
   3-4 赤外線吸収スペクトルによって,どのようなことがわかりますか 90
   3-5 気相合成ダイヤモンドの可視光,紫外光の吸収スペクトルは,どのようなものですか 93
   3-6 二次イオン質量分析(SIMS)によって,どのようなことがわかりますか 96
   3-7 核磁気共鳴(NMR)によって,どのようなことがわかりますか 98
   3-8 電子スピン共鳴(ESR)によって,どのようなことがわかりますか 101
   3-9 気相合成ダイヤモンドの表面状態および内部組織は,どのようになっていますか 103
   3-10 気相合成ダイヤモンドの微細組織は,どのようなものですか 106
   3-11 気相合成ダイヤモンドは,基板とどのくらいの力で付着していますか 108
   3-12 ダイヤモンド合成中のその場分析で,どのようなことがわかりますか 110
   3-13 気相合成ダイヤモンドの機械的特性は,どのようなものですか 112
   3-14 気相合成ダイヤモンドの電気的特性は,どのようなものですか 114
   3-15 気相合成ダイヤモンドの熱的特性は,どのようなものですか 116
4章 気相合成ダイヤモンドの加工に関する1問1答
   4-1 気相合成ダイヤモンドは,どのようにして切断されますか 120
   4-2 ダイヤモンドは,通常どのようにして磨されますか 122
   4-3 気相合成ダイヤモンドを加熱鉄板で磨く方法とは,どのような方法ですか 124
   4-4 レーザビームによって,ダイヤモンドを加工するには,どうすればよいですか 126
   4-5 イオンビームによって,ダイヤモンドを加工するには,どうすればよいですか 128
5章 気相合成ダイヤモンドの応用に関する1問1答
   5-1 気相合成ダイヤモンドの切削工具には,どのようなものがありますか 132
   5-2 気相合成ダイヤモンドは,砥粒として用いることができますか 135
   5-3 気相合成ダイヤモンドの耐摩耗部品への応用には,どのようなものがありますか 138
   5-4 ダイヤモンド状炭素膜の耐摩耗部材への応用には,どのようなものがありますか 140
   5-5 気相合成ダイヤモンドのスピーカ用振動板とは,どのようなものですか 142
   5-6 気相合成ダイヤモンドの表面弾性波フィルタとは,どのようなものですか 144
   5-7 気相合成ダイヤモンドの熱吸収部品とは,どのようなものですか 146
   5-8 気相合成ダイヤモンドの窓への応用とは,どのようなものがありますか 148
   5-9 気相合成ダイヤモンドを用いたダイオード,トランジスタには,どのようなものがありますか 150
   5-10 気相合成ダイヤモンドの発光素子とは,どのようなものですか 152
   5-11 気相合成ダイヤモンドのセンサへの応用には,どのようなものがありますか 154
6章 気相合成ダイヤモンドの将来展望に関する1問1答
   6-1 材料技術開発の観点から,気相合成ダイヤモンドで今後望まれる研究課題には,どのようなものがありますか 158
   6-2 機械部品応用における技術開発の観点から,気相合成ダイヤモンドで今後望まれる研究課題には,どのようなものがありますか 160
   6-3 電子デバイス応用における技術開発の観点から,気相合成ダイヤモンドで今後望まれる研究課題には,どのようなものがありますか 162
   6-4 光学部品応用における技術開発の観点から,気相合成ダイヤモンドで今後検討される研究課題には,どのようなものがありますか 164
   6-4 気相合成ダイヤモンドは,先端分野の産業を大きく発展させるでしょうか 166
   参考文献 169
   索引 175
1章 気相合成ダイヤモンドの基本事項に関する1問1答
   1-1 ダイヤモンドは,どのような特性を持っていますか。また,工業用材料としてどのような特徴がありますか 2
   1-2 気相合成ダイヤモンドとは何ですか。天然のダイヤモンドとどう違いますか 4
7.

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東工大
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東工大
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大竹尚登監修
出版情報: 東京 : シーエムシー出版, 2007.12  vii, 306p ; 27cm
シリーズ名: 新材料・新素材シリーズ
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   注 : I[G]/I[D]の[G]、[D]は下つき文字
   注 : C[+]の[+]は上つき文字
   注 : sp[3]の[3]は上つき文字
   
第1章 序論
1 DLCとは? DLC標準化の試み 斎藤秀俊 1
    1.1 DLC膜の広がり 1
    1.2 DLC膜分類の歴史 2
    1.3 これからのDLC膜の分類 3
    1.4 DLC膜評価プロジェクト 4
    1.5 リサーチクラスター事業の成果 6
2 プロセストライボロジーにおけるDLCの位置づけ 片岡征二 10
    2.1 潤滑油に代わるDLC膜への期待 10
    2.2 塑性加工工具へ適用するための必要条件 10
    2.3 DLC膜の密着性向上への取組み状況 11
     2.3.1 密着性評価試験法 11
     2.3.2 トライボ試験による密着性評価試験結果 11
    2.4 DLCコーテッドエ具のドライ絞り加工への適用 14
3 DLCのつくり方と評価手法の基礎 大竹尚登,黒田剛史,中川拓,大石竜輔,高島舞 19
    3.1 はじめに 19
    3.2 DLC合成の流れと必要な機材・材料 19
    3.3 DLC成膜の条件 24
    3.4 DLC膜の評価 24
第2章 機械的応用
1 DLCの機械的応用の概観 中東孝浩 29
    1.1 はじめに 29
    1.2 有害化学物質に関連する主な規制 29
    1.3 DLCの用途とその機械的要求性能 32
    1.4 DLCの摩擦・摩耗特性 32
    1.5 無潤滑摺動を狙ったDLCコーティング 33
    1.6 無潤滑切削を狙ったDLCコーティング 34
    1.7 変形する高分子材料へのDLCコーティング 34
    1.8 まとめ 36
2 DLCの応用についての最新動向 西口晃 37
    2.1 金型への応用 37
    2.2 切削工具への応用 38
    2.3 機械部品への応用 38
    2.4 自動車部品への応用 38
    2.5 医療用部品への応用 39
    2.6 太陽電池への応用 39
    2.7 飲料容器への応用 39
    2.8 装飾品への応用 40
    2.9 まとめ 40
3 パルスDCプラズマCVD法によるDLC膜の合成とその応用 河田一喜 41
    3.1 はじめに 41
    3.2 量産型パルスDC-PCVD法で作成したDLC膜の特性 43
    3.4 DLC膜の応用 48
    3.5 おわりに 49
4 UBMS法によるDLCコーティングの各種応用例 赤理孝一郎 50
    4.1 UBMS法の原理と特徴 50
    4.2 UBMS法によるDLCコーティングの特徴 51
     4.2.1 皮膜密着性 51
     4.2.2 硬度制御性 52
     4.2.3 組成制御性 53
    4.3 UBMS法によるDLCコーティングの応用例 54
     4.3.1 部品分野 54
     4.3.2 金型・工具分野 55
5 ホローカソード放電を利用した穴内面へのDLCコーティングとその応用 寺山暢之 58
    5.1 はじめに 58
    5.2 装置開発の経緯 58
    5.3 装置構成 60
    5.4 内面DLCの皮膜特性 62
    5.5 金型への適用 63
    5.6 まとめ 65
6 直流プラズマCVD法によるDLC-Si膜のトライボ特性と低摩擦機構 森広行,中西和之,太刀川英男 67
    6.1 はじめに 67
    6.2 直流プラズマCVD法によるDLC-Si成膜技術 68
    6.3 潤滑油中における低摩擦特性およびその機構 69
    6.4 おわりに 74
7 プラズマブースター法によるDLC合成とその応用 熊谷泰 76
    7.1 はじめに 76
    7.2 成膜装置とプロセス 77
    7.3 複合多層DLC(セルテスDLC)被膜の特性 79
     7.3.1 複合多層構造 79
     7.3.2 密着力 79
     7.3.3 硬さとヤング率 81
     7.3.4 摩擦係数と耐摩耗性 82
     7.3.5 耐焼付性 83
     7.3.6 耐熱性 84
     7.3.7 電気的特性・光学的特性 87
    7.4 おわりに 87
8 PBIID法によるDLC成膜と各種応用 鈴木泰雄 89
    8.1 はじめに 89
    8.2 プラズマイオン注入・成膜(PBIID)技術 89
     8.2.1 PBIID技術 89
     8.2.2 PBIID動作原理 90
     8.2.3 PBIID装置 90
     8.2.4 PBIID技術の特長 91
    8.3 PBIID技術によるDLC成膜 92
     8.3.1 PBIIDによるDLC成膜プロセス 92
     8.3.2 PBIIDによるDLC膜の特性 93
     8.3.3 DLC膜の特長 93
    8.4 各種成膜加工法との比較 95
    8.5 応用 95
     8.5.1 自動車部品 95
     8.5.2 金型部品 96
     8.5.3 機械部品 96
    8.6 技術課題 97
    8.7 まとめ 98
9 DLC-Siコーティングの4WDカップリング用電磁クラッチへの応用 齊藤利幸,安藤淳二 99
    9.1 はじめに 99
    9.2 ITCCの作動原理と要求特性 101
    9.3 電磁クラッチのトライボロジー特性 101
     9.3.1 耐シャダー性評価試験 101
     9.3.2 フルード潤滑下におけるμ-v特性 102
     9.3.3 DLC-Siクラッチの摩耗特性 103
    9.4 DLC-Siクラッチの大量処理技術 104
    9.5 まとめ 105
10 ロータリーエンジンへのDLC薄膜合成の応用 中谷達行,岡本圭司 107
    10.1 はじめに 107
    10.2 ロータリーエンジンの摩耗問題 108
    10.3 DLC膜の特性 108
    10.4 DLC成膜条件 109
    10.5 TOYO-DLCの耐熱性評価 110
     10.5.1 耐熱特性 110
     10.5.2 熱伝導率特性と耐熱特性との関係 111
    10.6 TOYO-DLCの耐摩耗性評価 112
     10.6.1 硬度 112
     10.6.2 Si含有量と水素量の関係 113
     10.6.3 Si含有量とI[G]/I[D]およびヤング率の関係 113
    10.7 ロータリーエンジンへのDLC適応結果 115
    10.8 おわりに 116
11 FCVA法によるDLC薄膜の作製と磁気ヘッドへのコーティング 稲葉宏 117
    11.1 はじめに 117
    11.2 FCVA装置 117
    11.3 ta-C膜 118
    11.4 C[+]イオンとta-C薄膜 118
     11.4.1 C[+]イオンエネルギーとsp[3]結合比率 118
     11.4.2 入射C[+]イオンの挙動 119
    11.5 FCVA法における異物対策 120
     11.5.1 中性異物対策 121
     11.5.2 荷電性異物対策 121
     11.5.3 リアルタイムバーティクルフィルタ 122
    11.6 ta-C薄膜信頼性試験 123
     11.6.1 耐摩耗性評価 123
     11.6.2 耐燃焼性評価 123
     11.6.3 耐腐食性評価 124
    11.7 おわりに 125
12 切削工具における環境問題とドライ加工 安岡学 127
    12.1 はじめに 127
    12.2 ドライ加工用切削工具に適したDLC膜 128
    12.3 各種被膜とアルミニウム合金の摺動特性 128
    12.4 DLCコーティングドリルの切削事例 130
    12.5 今後の切削工具用途の膜開発 133
第3章 電気的・光学的・化学的応用
1 屈折率変化a-C:H膜 松浦尚134
    1.1 はじめに 134
    1.2 回折光学素子 134
    1.3 a-C:H膜の屈折率変化 135
    1.4 屈折率変調型回折光学素子の設計 140
    1.5 おわりに 141
2 アモルファス炭素系膜のLow-K膜としての特性 杉野隆,青木秀充,木村千春 142
    2.1 はじめに 142
    2.2 低誘電率膜への要求 143
    2.3 各種カーボン系低誘電率材料 144
     2.3.1 ダイヤモンドライクカーボン(DLC)膜 144
     2.3.2 アモルファスカーボン 145
     2.3.3 ナノダイヤモンド 145
     2.3.4 CNx膜 145
     2.3.5 BN,BCN膜 145
3 DLCコーティングのカテーテル,ステントヘの適用 長谷部光泉,鈴木哲也 152
    3.1 はじめに 152
    3.2 カテーテルおよびガイドワイヤー 152
    3.3 ステント 155
    3.4 おわりに 158
4 DLCのガスバリア性とその応用 大竹尚登,西英隆 160
    4.1 PETボトルへのガスバリア機能付与技術 160
    4.2 a-C:H膜の利用 161
    4.3 PETフイルムへのアモルファス炭素膜の成膜 162
    4.4 まとめ 166
第4章 次世代応用のためのDLC基盤技術
1 PBII法によるマイクロ部材へのDLCコーティング 馬場恒明 167
    1.1 はじめに 167
    1.2 細管内壁用PBII装置の構成 168
    1.3 細管内壁へのイオン注入とDLC膜作製 168
    1.4 おわりに 171
2 大気圧DLC成膜技術 齊藤隆雄 173
3 真空アーク蒸着(VAD)法による低ドロップレットDLC膜の合成と特性評価 平田敦 177
    3.1 はじめに 177
    3.2 低ドロップレットDLC膜の合成 177
     3.2.1 磁場によるアークプラズマの輸送 178
     3.2.2 磁場による陰極放電点の操舵 179
     3.2.3 物理的・電気的シールドの設置 180
     3.2.4 アーク放電生成条件の制御 180
    3.3 真空アーク蒸着DLC膜の特性評価 180
4 Si-DLC膜の水中でのトライボロジー特性 大花継頼 184
    4.1 はじめに 184
    4.2 水中におけるSi-DLC膜のトライボロジー特性 185
    4.3 DLC膜とSi-DLC膜の多層化膜 186
    4.4 摩耗面の評価 187
    4.5 まとめ 190
5 セグメント構造DLC膜の合成と機械部材への応用  大竹尚登,青木佑一,松尾誠,岩本喜直 192
    5.1 はじめに 192
    5.2 セグメント構造DLC膜の合成 192
    5.3 セグメント構造DLC膜の評価 195
    5.4 DLCの機能複合化 197
    5.5 まとめ 199
6 DLC皮膜の機械的性質と原子構造 藤本真司 200
    6.1 はじめに 200
    6.2 DLC皮膜の機械的性質と原子構造 201
     6.2.1 皮膜の作製 201
     6.2.2 皮膜の構造 201
     6.2.3 皮膜中の水素量 202
     6.2.4 皮膜の硬度 202
     6.2.5 皮膜の摺動特性 203
    6.3 おわりに 205
7 DLCの耐摩耗性評価法の基礎 佐々木信也 207
    7.1 はじめに 207
    7.2 摩擦・摩耗メカニズムから見たDLCの特徴 207
     7.2.1 摩擦のメカニズム 207
     7.2.2 摩耗のメカニズム 208
    7.3 摩耗評価方法 210
     7.3.1 一般的な摩耗評価方法 210
     7.3.2 摩耗特性評価試験で注意すべき点 211
     7.3.3 耐摩耗性と密着性 212
    7.4 おわりに 214
8 プロセス・トライボロジーとしてのDLC膜の適用可能性評価 北村憲彦 216
    8.1 塑性加工プロセスにおけるトライボロジー条件 216
    8.2 最近のDLCの適用例 217
    8.3 鍛造加工へのDLC工具適用の可能性評価 218
    8.4 ボール通し試験 219
    8.5 まとめ 221
9 マイクロ成形加工用金型へのコーティングとその特性評価 楊明 223
    9.1 はじめに 223
    9.2 マイクロ金型へのコーティング 223
    9.3 静押込み荷重試験によるマイクロ領域での密着性評価 225
    9.4 マイクロトライボロジー特性評価 226
    9.5 マイクロ金型に適した多層構造DLC膜 228
    9.6 まとめ 229
10 DLCおよびその関連物質の水素脱吸着特性 斎藤秀俊 230
    10.1 DLC膜のクラスターモデル 230
    10.2 DLC膜からの水素離脱 231
    10.3 DLC膜の吸蔵水素 232
     10.3.1 吸蔵水素測定法 232
     10.3.2 DLCおよび関連物質の水素吸蔵特性 232
11 DLC膜の生体適合性評価 大越康晴,平栗健二 236
    11.1 はじめに 236
    11.2 生体内留置試験によるDLC膜の病理組織学的評価 237
    11.3 生体内留置試験によるDLC膜の安定性評価 239
    11.4 まとめ 241
12 DLC合成用パルス電源 玉置賀宣 243
    12.1 パルス電源の基礎と特徴 243
    12.2 パルス電源の方式と特徴 245
    12.3 DLC合成用パルス電源の現状 247
第5章 次世代応用のためのDLC先端技術
1 フイルタードアーク蒸着法によるDLC膜の合成と特性評価 滝川浩史 251
    1.1 はじめに 251
    1.2 フイルタードアーク蒸着法 252
    1.3 T-FAD生成のDLC膜 256
    1.4 おわりに 258
2 DLC系ナノコンポジット膜の合成とそのトライボロジー特性 渡部修一 260
    2.1 はじめに 260
    2.2 ナノ粒子分散構造膜 260
    2.3 ナノ積層構造膜 261
    2.4 DLC/硫化物系ナノコンポジット膜 262
    2.5 まとめ 266
3 DLC薄膜の水素遮断性 八田章光 268
    3.1 はじめに 268
    3.2 水素遮断性評価試料の作製 268
    3.3 透過法による水素遮断性の評価 270
    3.4 水素透過量測定結果 272
    3.5 拡散方程式による検討 274
    3.6 まとめ 276
4 セグメント構造DLC膜の超音波モータの摩擦駆動面への応用 高崎正也 277
    4.1 はじめに 277
    4.2 弾性表面波リニアモータ 277
    4.3 DLC膜の導入 280
    4.4 駆動特性 280
    4.5 おわりに 282
5 FIBによる自立体DLC膜の加工と応用 竹内貞雄 284
    5.1 はじめに 284
    5.2 内部応力を低減したDLC自立体の製作 284
    5.3 DLC自立体の加工特性 287
    5.4 FIBによるマイクロギヤの加工と組み立て 289
6 集束イオンビームによる立体ナノ構造形成技術とその応用 松井真二 293
    6.1 はじめに 293
    6.2 立体ナノ構造形成方法 294
    6.3 ナノエレクトロメカニクスヘの応用 295
     6.3.1 空中配線の作製と評価 295
     6.3.2 静電ナノマニピュレータ 297
     6.3.3 ナノスプリング 298
    6.4 ナノオプティクス(自然生物の擬似ナノ構造作製とその光学的評価) 299
    6.5 ナノバイオへの応用 301
    6.6 まとめ 302
第6章 総括
1 DLCの未来 305
   注 : I[G]/I[D]の[G]、[D]は下つき文字
   注 : C[+]の[+]は上つき文字
   注 : sp[3]の[3]は上つき文字
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